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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM KRISTALLISIEREN EINES MATERIALS, HALBLEITERMODUL UND BESTRAHLUNGSANLAGE
    • 结晶的材料时,半导体模块和辐射系统的方法
    • WO2015180759A1
    • 2015-12-03
    • PCT/EP2014/060977
    • 2014-05-27
    • MASDAR PV GMBH
    • FRIJNTS, TimZOLLONDZ, Hendrik
    • H01L31/18H01L21/02
    • H01L21/02691H01L21/02422H01L21/02532H01L21/02678H01L21/02683H01L21/02689H01L31/1872Y02E10/50Y02P70/521
    • Erläutert wird unter anderem ein Verfahren zum Kristallisieren eines Materials: - wobei ein erster Strahl (12a) mit mindestens einer Strahlungsquelle erzeugt wird, - wobei ein zweiter Strahl (12b) mit mindestens einer weiteren Strahlungsquelle oder mit der mindestens einen Strahlungsquelle erzeugt wird, - wobei der erste Strahl (12a) und der zweite Strahl (12b) auf ein zu kristallisierendes Material derart gerichtet werden, dass sich der erste Strahl (12a) und der zweite Strahl (12b) überlappen (U), wobei der erste Strahl (12a) ein Strahl mit linienförmigem (15a) Intensitätsprofil (I) ist, und wobei eine Linie (15a) größter Intensität (I) des ersten Strahls (12a) zu einer relativen Bewegungsrichtung (16) zwischen dem ersten Strahl (12a) und dem zu kristallisierendem Material einen Winkel (W1) bildet, der im Bereich von 91 Winkelgrad bis 165 Winkelgrad oder im Bereich von 100 Winkelgrad bis 135 Winkelgrad liegt.
    • 进行了说明,除其他外,结晶材料的方法,包括: - 一个第一光束(12A)与至少一个辐射源形成, - 其中第二光束(12b)的制备与至少一种另外的辐射源或所述至少一个辐射源, - 其中 第一光束(12A)和第二光束(12b)的被引导到一个结晶材料,使得所述第一光束(12A)和第二光束(12b)的重叠(U),所述第一光束(12A)一个 是光束具有线性(15A)的强度分布(I),以及其中,所述第一光束(12A)的第一光束之间的相对移动方向(16)(12a)的最高强度(I)的和结晶材料的线(15A) 角(W1),其是在91度角至165度角的或在100度角至135度角的区域的范围内。