会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明申请
    • 感放射線性樹脂組成物
    • 辐射敏感性树脂组合物
    • WO2007058345A1
    • 2007-05-24
    • PCT/JP2006/323091
    • 2006-11-20
    • JSR株式会社中村 敦王 勇辻 隆幸
    • 中村 敦王 勇辻 隆幸
    • G03F7/039G03F7/20H01L21/027
    • G03F7/2041G03F7/0397
    •  液浸露光方法で得られるパターン形状が良好であり、解像度および焦点深度余裕に優れかつ液浸露光時に接触した屈折率液体(浸漬液)への溶出物の量が少ない。レンズとフォトレジスト膜との間に、波長193nmにおける屈折率が1.44を超え、1.85未満の液浸露光用液体を介して放射線照射する液浸露光リソグラフィ方法に用いられてフォトレジスト膜を形成する感放射線性樹脂組成物であって、該感放射線性樹脂組成物がラクトン構造を有する繰り返し単位を含むアルカリ不溶またはアルカリ難溶で酸の作用によりアルカリ易溶となる樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する。
    • 本发明提供一种通过液浸曝光方法提供的图案形状良好的辐射敏感性树脂组合物,分辨率和焦深度纬度优异,并且洗脱液的量少,成为折射液(浸液) 组合物在液浸期间已经接触。 放射线敏感性树脂组合物用于通过液浸曝光光刻法形成光致抗蚀剂膜,其中在这样一种状态下施加辐射,该液体浸渍曝光的液体的折射率大于1.44且小于1.85, 在透镜和光致抗蚀剂膜之间插入193nm的波长。 辐射敏感性树脂组合物包含树脂和辐射敏感性酸发生剂。 树脂包含具有内酯结构的重复单元,其不溶或微溶于碱,并且易于通过酸的作用溶于碱。
    • 4. 发明申请
    • 液浸型露光システム、液浸型露光用液体のリサイクル方法及び供給方法
    • 浸入式曝光系统及回收方法及液体暴露的供应方法
    • WO2006080250A1
    • 2006-08-03
    • PCT/JP2006/300840
    • 2006-01-20
    • JSR株式会社古川 泰一稗田 克彦宮松 隆王 勇山田 欣司
    • 古川 泰一稗田 克彦宮松 隆王 勇山田 欣司
    • H01L21/027G03F7/038G03F7/20
    • G03F7/70341
    •  投影光学手段121の光学素子と基板111との間に満たされた液体301を介して露光を行う液浸型露光システム1である。この液浸型露光システム1は、液体301の供給をする液体供給部80と、その液体供給部80から供給をされた液体301(301b)が所定方向に沿って連続的に導入をされ投影光学手段121の光学素子と基板111との間を液体301で満たしながら露光を行う露光処理部110と、その露光処理部110の基板111を挟んだ対称の位置において排出をされた液体301(301a)の回収をする液体回収部90と、液体回収部90で回収をされた液体301(301c)の再生をする液体リサイクル部20と、を有する。液浸法を適用した場合に、液浸型露光用液体の性質を安定させることが出来、良好な露光を継続的に行うことが可能であり、且つランニングコストを抑えることが出来る。
    • 公开了一种浸渍曝光系统(1),其中通过填充投影光学装置(121)的光学装置和基板(111)之间的空间的液体(301)进行曝光。 该浸渍曝光系统(1)包括用于供应液体(301)的液体供应部分(80),在填充投影光学装置(121)的光学装置之间的空间的同时进行曝光的曝光处理部分(110) 和从液体供给部(80)供给的液体(301(301b))沿预定方向连续引入液体(301)的基板(111),用于回收排出液体的液体回收部(90) (101a)的与曝光处理部(110)相反的位置处的液体再循环部(301a)),以及用于再循环由液体回收部(90)回收的液体(301(301c))的液体再循环部, 。 利用该系统,能够稳定浸渍曝光用液体的品质,能够在抑制运转成本的同时持续进行良好的曝光。
    • 6. 发明申请
    • 液浸露光用液体および液浸露光方法
    • 液体暴露和暴露暴露方法
    • WO2005114711A1
    • 2005-12-01
    • PCT/JP2005/009128
    • 2005-05-19
    • JSR株式会社宮松 隆根本 宏明王 勇
    • 宮松 隆根本 宏明王 勇
    • H01L21/027
    • G03F7/2041
    •  液浸露光方法において、屈折率が大きく、フォトレジスト膜あるいはその上層膜成分の溶出や溶解を防ぎ、レジストパターンの生成時の欠陥を抑えることができる液浸露光用液体およびその液体を用いた液浸露光方法の提供を目的とする。  投影光学系のレンズと基板との間に満たされた液体を介して露光する液浸露光装置または液浸露光方法に用いられる液体であって、該液体は、液浸露光装置が作動する温度領域において液状であり、脂環式炭化水素化合物または珪素原子を環構造中に含む環式炭化水素化合物である。
    • 公开了一种具有高折射率的浸渍曝光用液体,其能够防止光刻胶膜成分或光致抗蚀剂膜上层的膜成分的溶出或溶解,并抑制浸渍曝光方法中的抗蚀剂图案形成时的缺陷。 还公开了使用这种液体的浸渍曝光方法。 具体公开了在浸渍曝光装置中使用的液体或浸渍曝光方法,其中通过填充在投影光学系统的透镜和基板之间的空间中的液体进行曝光。 该液体在浸渍曝光装置的工作温度范围内为液态,由环状结构中含有硅原子的脂环族烃化合物或环状烃化合物构成。
    • 10. 发明申请
    • 酸発生剤、スルホン酸、スルホニルハライド化合物および感放射線性樹脂組成物
    • 酸发生器,磺酸,磺酰胆碱和辐射敏感性树脂组合物
    • WO2004078703A1
    • 2004-09-16
    • PCT/JP2004/001973
    • 2004-02-20
    • JSR株式会社江幡 敏王 勇西村 功
    • 江幡 敏王 勇西村 功
    • C07C309/23
    • C07C309/19C07C309/17C07C309/23C07C381/12C07C2602/42C07C2603/86C07D207/46G03F7/0045G03F7/0382G03F7/0392G03F7/0397G03F7/0757Y10S430/106Y10S430/111Y10S430/115Y10S430/122Y10S430/126
    • The invention provides novel acid generators which are unproblematic in combustibility and accumulation inside the human body and can generate acids having high acidities and high boiling points and exhibiting properly short diffusion lengths in resist coating films and which permit the formation of resist patterns excellent smoothness with little dependence on the denseness of a mask pattern; sulfonic acids generated from the acid generators; sulfonyl halides useful as raw material in the synthesis of the acid generators; and radiation-sensitive resin compositions containing the acid generators. The acid generators have structures represented by the general formula (I): (I) [wherein R is a monovalent substituent such as alkoxycarbonyl, alkylsulfonyl, or alkoxysulfonyl; R to R are each hydrogen or alkyl; k is an integer of 0 or above; and n is an integer of 0 to 5]. Among the radiation-sensitive resin compositions, a positive one contains a resin having acid-dissociable groups in addition to the above acid generator, while a negative one contains an alkali-soluble resin and a crosslinking agent in addition to the acid generator.
    • 本发明提供了新颖的酸产生剂,其在人体内的可燃性和积聚中是无问题的,并且可以产生具有高酸度和高沸点的酸,并且在抗蚀剂涂膜中显示适当短的扩散长度,并且允许形成抗蚀剂图案,具有极好的平滑性 依赖于掩模图案的致密度; 酸产生器产生的磺酸; 用于合成酸发生剂的原料的磺酰卤; 和含有酸发生剂的辐射敏感性树脂组合物。 酸产生剂具有由通式(I)表示的结构:(I)[其中R 1是一价取代基,例如烷氧基羰基,烷基磺酰基或烷氧基磺酰基; R 2至R 4各自为氢或烷基; k为0以上的整数; n为0〜5的整数]。 在辐射敏感性树脂组合物中,除了上述酸发生剂之外,阳性物质还含有具有酸解离性基团的树脂,而除酸产生剂之外,还含有碱溶性树脂和交联剂。