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热词
    • 1. 发明申请
    • ネガ型感放射線性樹脂組成物
    • 负辐射敏感性树脂组合物
    • WO2005091072A1
    • 2005-09-29
    • PCT/JP2005/005417
    • 2005-03-24
    • JSR株式会社西川 耕二木村 徹岩永 伸一郎
    • 西川 耕二木村 徹岩永 伸一郎
    • G03F7/033
    • G03F7/40G03F7/033Y10S430/107Y10S430/111Y10S430/117Y10S430/119Y10S430/12Y10S430/121Y10S430/126
    •  本発明は、バンプあるいは配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法、この製造方法に好適な感度、解像度などに優れるネガ型感放射線性樹脂組成物、および該組成物を用いた転写フィルムを提供することを課題とする。  上記課題の解決手段は、(A)下記一般式(1)および/または(2)で表される構造単位を含有する重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)感放射線性ラジカル重合開始剤を含有するネガ型感放射線性樹脂組成物およびこの組成物を用いたネガ型感放射線性樹脂膜を製造することである。 [化1]                                                                               
    • 一种用于高精度成型的电镀成型件,例如凸块或布线的工艺; 适用于该工艺的灵敏度,分辨能力等优异的负辐射敏感性树脂组合物; 以及利用该组合物的转印膜。 提供一种负辐射敏感性树脂组合物,其包含(A)含有由以下通式(1)和/或(2)表示的结构单元的聚合物,(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物和(C) 辐射敏感自由基聚合引发剂。 此外,提供了由该组合物生产负辐射敏感性树脂膜。
    • 2. 发明申请
    • 感光性樹脂膜およびこれからなる硬化膜
    • 光敏树脂膜和固化膜
    • WO2004090637A1
    • 2004-10-21
    • PCT/JP2004/004155
    • 2004-03-25
    • JSR株式会社岩永 伸一郎木村 徹西川 耕二
    • 岩永 伸一郎木村 徹西川 耕二
    • G03F7/033
    • G03F7/031C08L33/04G03F7/029G03F7/033Y10S430/111Y10S430/121Y10S430/124C08L2666/02
    •  本発明の未硬化状態の感光性樹脂膜は、(A)特定のアルカリ可溶性共重合体と、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、(C)乾燥膜厚70μmの未硬化状態の塗膜を形成したときに該塗膜の365nmの放射線透過率が10%以上であり、かつ405nmの放射線透過率が60%以上となるような放射線ラジカル重合開始剤とを含有してなり、 前記(A)成分100重量部に対して、前記放射線ラジカル重合開始剤(C)を20~40重量部の量で含み、乾燥膜厚が50μm以上であることを特徴としており、これによれば、従来、形成することが困難であった、高さ50μm以上の高バンプをチップ基材上に高精度かつ容易に形成でき、素子の接続不良を抑制し、素子の信頼性を向上することができる。
    • 由(A)特定碱溶性共聚物,(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物组成的组合物制成的未固化的感光性树脂膜和(C)能够形成 在365nm处具有10%以上的透射率,在405nm下的透射率为60%以上的干膜厚度为70μm的未固化涂膜,其特征在于,所述引发剂(C)的含量为20〜40 相对于共聚物(A)100重量份,该膜的干膜厚度为50μm以上。 本发明能够在芯片基板上容易且精确地形成高达50um或更高的凸块,这在现有技术中是困难的,因此提供了防止互连故障并具有增强的可靠性的装置。
    • 3. 发明申请
    • 感放射線性樹脂組成物
    • 辐射敏感性树脂组合物
    • WO2003069410A1
    • 2003-08-21
    • PCT/JP2002/013072
    • 2002-12-13
    • ジェイエスアール株式会社岩永 伸一郎岩本 聡木村 徹西村 洋子西川 耕ニ
    • 岩永 伸一郎岩本 聡木村 徹西村 洋子西川 耕ニ
    • G03F7/027
    • G03F7/033G03F7/405
    • A radiation-sensitive resin composition comprising (A) an alkali-soluble resin having unsaturated groups which is obtained by reacting 100 parts by weight of a copolymer comprising 1 to 40 wt% of constituent units derived from a radical -polymerizable compound (a) having a carboxyl group, 1 to 50 wt% of constituent units having phenolic hydroxyl groups which are derived from a radical-polymerizable compound (b-1) having a phenolic hydroxyl group or a radical-polymerizable compound (b-2) having a functional group which can be converted into phenolic hydroxyl after the formation of the copolymer, and the balance of constituent units derived from other radical -polymerizable compound (c) with 0.1 to 20 parts by weight of a radical-polymerizable compound (d) having an epoxy group, (B) a compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, and (C) a polymerization initiator for radiation- initiated radical polymerization. The composition is characterized by forming a radiation-sensitive resin coating film having a thickness larger than the height of a deposit and high resolution.
    • 一种辐射敏感性树脂组合物,其包含(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂,其通过使100重量份的共聚物与100重量%的衍生自可自由基聚合的化合物(a)的构成单元共聚而成, 羧基,1〜50重量%的具有酚羟基的构成单元衍生自具有酚羟基的自由基聚合性化合物(b-1​​)或具有官能团的自由基聚合性化合物(b-2) 其可以在形成共聚物后转化为酚羟基,其余由其它可自由基聚合的化合物(c)衍生的结构单元与0.1〜20重量份具有环氧基的自由基聚合性化合物(d) ,(B)具有至少一个烯键式不饱和双键的化合物,和(C)用于辐射引发自由基聚合的聚合引发剂。 该组合物的特征在于形成厚度大于沉积物的高度和高分辨率的辐射敏感性树脂涂膜。
    • 4. 发明申请
    • 共重合体および上層膜形成組成物
    • 共聚物和上胶膜组合物
    • WO2006035790A1
    • 2006-04-06
    • PCT/JP2005/017790
    • 2005-09-28
    • JSR株式会社千葉 隆木村 徹宇高 友広中川 大樹榊原 宏和堂河内 寛
    • 千葉 隆木村 徹宇高 友広中川 大樹榊原 宏和堂河内 寛
    • C08F220/10G03F7/11H01L21/027
    • G03F7/11C08F220/18C08F220/26C08F220/38C08F228/00G03F7/2041
    • Disclosed is an upper film-forming composition which enables to form a coating film on a photoresist without causing intermixing with the photoresist film and to maintain a stable coating film without dissolving into a medium used during immersion exposure. The upper film-forming composition is also capable to form an upper layer which enables to obtain a pattern shape that is not inferior to the one obtained by a process other than immersion exposure, namely a dry exposure and can be easily dissolved in an alkaline developer. Also disclosed is a copolymer containing a repeating unit having a group represented by the general formula (1) below, a repeating unit having a group represented by the general formula (2) below, at least one repeating unit (I) selected from repeating units having a carboxyl group, and a repeating unit (II) having a sulfo group, and having a weight average molecular weight of 2,000-100,000 determined by gel permeation chromatography. (1) (2) At least one of R
    • 公开了一种能够在光致抗蚀剂上形成涂膜而不会与光致抗蚀剂膜混合并且保持稳定的涂膜而不溶解于浸渍曝光期间使用的介质的上成膜组合物。 上部成膜组合物也能够形成上层,其能够获得不劣于通过浸渍曝光以外的方法获得的图案形状,即干燥曝光并且可以容易地溶解在碱性显影剂中 。 还公开了含有具有下述通式(1)所示基团的重复单元,具有下述通式(2)所示基团的重复单元,至少一个选自重复单元 具有羧基的重复单元(II)和具有磺基的重复单元(II),并且通过凝胶渗透色谱测定其重均分子量为2,000-100,000。 (1)(2)至少有一个R
    • 7. 发明申请
    • 光学素子ユニット、光ピックアップ装置並びに光学素子ユニットの製造方法
    • 光学元件,光学拾取器件和光学元件制造方法
    • WO2008114640A1
    • 2008-09-25
    • PCT/JP2008/054283
    • 2008-03-10
    • コニカミノルタオプト株式会社和田 一啓木村 徹
    • 和田 一啓木村 徹
    • G11B7/135G11B7/22
    • G11B7/13922G11B7/1374G11B2007/0006
    •  複数種類の光情報記録媒体に対応した光ピックアップ装置用の光学素子であって、収差の低減によって高精度の結像を可能にする光学素子を提供するために、第1対物レンズ部及び第2対物レンズ部によって、異なる2種類以上の光ディスクに対して簡易に情報の再生・記録を行うことができる。この光学素子ユニットでは、第2取付基準面の法線、第3取付基準面の法線、若しくは光学面頂点の法線を、第1取付基準面の法線に対して必要な傾斜角だけ傾斜させる。これにより、第1対物レンズ部に対して第2対物レンズ部を所望の角度だけ傾斜させた状態に簡易にアライメントして固定することができ、第1対物レンズ部と第2対物レンズ部との相対的な3次コマ収差を低減することが可能になる。
    • 适用于多种类型的光学信息记录介质的用于光学拾取装置的光学元件通过减小像差来执行高精度的成像。 光学元件通过第一物镜部分和第二物镜部分从两个或多个不同类型的光盘执行信息再现和记录。 在光学元件单元中,第二安装基准面的法线或第三附着基准面或光学面顶面的法线的法线从第一附着基准的法线倾斜所需的倾斜角 表面。 因此,光学元件可以容易地对准和固定成第二物镜部分从第一物镜部分以期望的角度倾斜的状态,并且第一物镜部分和第二物镜的相对第三彗形像差 透镜部分可以减少。
    • 9. 发明申请
    • 多焦点対物レンズ、光ピックアップ装置及び光情報記録再生装置
    • 多焦点对象镜头,光学拾取装置和光信息记录/再现装置
    • WO2005098840A1
    • 2005-10-20
    • PCT/JP2005/006453
    • 2005-04-01
    • コニカミノルタオプト株式会社木村 徹橋村 淳司
    • 木村 徹橋村 淳司
    • G11B7/135
    • G11B7/1374G02B3/08G02B3/10G11B7/1275G11B7/1353G11B7/1367G11B7/1378G11B7/13922G11B2007/0006G11B2007/13727
    •  本発明の構成は、第1回折構造を少なくとも1つの光学面上に有し、波長λ 1 の光束が前記第1回折構造に入射した場合に発生するm次回折光とn次回折光(m≠n)とを、保護層の厚さが互いに異なる2種類の光ディスクの情報記録面上に集光させる光ピックアップ装置に用いられる多焦点対物レンズであって、前記m次回折光を保護層の厚い方の光ディスクの保護層を介して集光させた際の波面の球面収差値SA m と、前記n次回折光を保護層の厚い方の光ディスクの保護層を介して集光させた際の波面の球面収差値SA n との差の絶対値および前記SA m 及び前記SA n のうち、何れか一方の絶対値が所定の値であるとともに、前記第1回折構造は微細な段差により分割された複数の輪帯から構成され、前記回折次数mは1以上の整数であって、所定の式を満たす多焦点対物レンズを提供する。
    • 一种用于光拾取装置的多焦点物镜,其在至少一个光学平面上具有第一衍射结构,并且会聚在第一衍射结构的第一和第 波长λ1将第一衍射结构进入保护层厚度不同的两种光盘的信息记录面上,其中m阶衍射光之间的波前的球面像差值SAm之间的差绝对值为 通过具有较厚保护层的光盘的保护层和绝对值的N级衍射光凝结经由较厚保护层的光盘的保护层和波前的球面像差值SAn而凝结 SAm和SAn中的任一个是规定值,上述第一衍射结构由多个分割的环形区域构成 上述衍射级m为1以上的整数,满足规定的表达式。
    • 10. 发明申请
    • 光ピックアップ装置及び対物光学素子
    • 光学拾取器件和目标光学元件
    • WO2008136242A1
    • 2008-11-13
    • PCT/JP2008/056932
    • 2008-04-08
    • コニカミノルタオプト株式会社中村 健太郎木村 徹
    • 中村 健太郎木村 徹
    • G11B7/135
    • G11B7/1353G11B7/1374G11B7/13922G11B2007/0006
    •  コンパクトでありながら、異なる種類の光情報記録媒体に対して良好に情報の記録及び/又は再生を行える光ピックアップ装置、及びそれに用いる対物光学素子を提供するために、対物光学素子の光学機能面は、光軸を含む中央領域と、該中央領域を囲む周辺領域との少なくとも2つの領域を有し、中央領域の光路差付与構造は、段差で区切られた輪帯状の構造である第1中央基礎構造と、第2中央基礎構造とを重ね合わせた構造とし、周辺領域の光路差付与構造は、段差で区切られた輪帯状の構造である第1周辺基礎構造と、第2周辺基礎構造とを重ね合わせた構造とする。
    • 尽管紧凑性能够令人满意地记录和/或再现关于不同种类的光学信息记录介质的信息的光学拾取装置,以及用于光学拾取装置的物镜光学元件。 物镜光学元件的光学功能表面具有包括光轴和围绕中心区域的周围区域的中心区域的至少两个区域。 中心区域的光路差分赋予结构是通过将彼此分离的圆形和纬向结构的第一中心基本结构和第二中心基本结构叠加而得到的结构。 周边区域的光路差分赋予结构是通过将彼此分离的圆形和分层结构彼此之间的第一周围基本结构和第二周围基本结构叠加而获得的结构。