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1. 发明申请

WO2006121096A1 新規化合物および重合体、ならびに感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：新型化合物，聚合物和辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：WO2006121096A1
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：PCT/JP2006/309446
申请日：2006-05-11
申请人： JSR株式会社 , 永井智樹 , 米田英司 , 江畑琢磨 , 川上峰規 , 杉浦誠 , 下川努 , 志水誠
发明人：永井智樹 , 米田英司 , 江畑琢磨 , 川上峰規 , 杉浦誠 , 下川努 , 志水誠
IPC分类号： C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C309/20 , C07C381/12 , C07D209/76 , C08F20/38 , C08F28/02 , C08F220/12 , C08L33/04 , C08L41/00 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C09D133/14 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C309/20 , C07C381/12 , C07D209/76 , C08F20/38 , C08F28/00 , C08F28/02 , C08F214/18 , C08F220/12 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F220/28 , C08F228/02 , C09D141/00 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397
摘要：　放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に高解像度でＤＯＦが広くＬＥＲに優れる感放射線性樹脂組成物、その組成物に利用できる重合体およびこの重合体合成に用いられる新規化合物を提供する。新規化合物は、下記式（２）で表される。　式（２）において、Ｒ 4 はメチル基、トリフルオロメチル基、または水素原子を表し、Ｒfの少なくとも１つはフッ素原子または炭素数１～１０の直鎖状もしくは分岐状のパーフルオロアルキル基を表し、Ａは２価の有機基または単結合を表し、Ｇはフッ素原子を含有する２価の有機基または単結合を表し、Ｍｍ＋は金属イオンもしくはオニウム陽イオンを表し、ｍは１～３の自然数を、ｐは１～８の自然数をそれぞれ示す。
摘要翻译：公开了一种对辐射高度透明而对抗蚀剂的基本物理性质如灵敏度，分辨率和图案形状优异的辐射敏感性树脂组合物。该辐射敏感性树脂组合物的分辨率特别高，DOF大，LER优异。还公开了适用于这种组合物的聚合物和用于合成这种聚合物的新型化合物。该新化合物由下式（2）表示。（2）式（2）中，R 4表示甲基，三氟甲基或氢原子; Rf的至少一个表示氟原子，或具有1-10个碳原子的直链或支链全氟烷基; A表示二价有机基团或单键; G表示含有氟原子或单键的二价有机基团; M + H +表示金属离子或鎓阳离子; m表示1-3的自然数; 而p代表1-8的自然数。

2. 发明申请

WO2005108444A1 ラクトン系共重合体および感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译： LACTONE共聚物和辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：WO2005108444A1
公开(公告)日：2005-11-17
申请号：PCT/JP2005/008288
申请日：2005-05-02
申请人： JSR株式会社 , 中島浩光 , 宇高友広 , 千葉隆 , 米田英司 , 中村敦
发明人：中島浩光 , 宇高友広 , 千葉隆 , 米田英司 , 中村敦
IPC分类号： C08F220/28
CPC分类号： C08F220/28 , C08F220/18 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397
摘要： A radiation-sensitive resin composition that not only excels in fundamental properties as resist, such as sensitivity and resolution, but also with respect to both of line-and-space pattern and isolated space pattern, realizes extensive depth of focus (DOF) and is less in the line width change attributed to alteration of baking temperature, the limit line width free from any phenomenon of line pattern collapse of the radiation-sensitive resin composition being small. Further, there is provided a lactone copolymer being useful as a resin component of the radiation-sensitive resin composition. This lactone copolymer is represented by a copolymer of compound of the following formula (1-1), compound of the following formula (2-1) and compound of the following formula (3-1). This radiation-sensitive resin composition comprises the lactone copolymer (a) and radiation-sensitive acid generating agent (b).
摘要翻译：不仅优异的抗光敏性和分辨率等基本特性的射线敏感性树脂组合物，而且对于线和空间图案和隔离空间图案两者都实现了广泛的焦点深度（DOF），并且是由于烘烤温度的变化导致的线宽变化较小，所以不存在辐射敏感性树脂组合物的线型塌陷的任何现象的极限线宽小。此外，提供了可用作辐射敏感性树脂组合物的树脂组分的内酯共聚物。该内酯共聚物由下式（1-1）的化合物，下式（2-1）的化合物和下式（3-1）的化合物的共聚物表示。该辐射敏感性树脂组合物包含内酯共聚物（a）和辐射敏感性酸产生剂（b）。

3. 发明申请

WO2004061525A1 感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：WO2004061525A1
公开(公告)日：2004-07-22
申请号：PCT/JP2003/016640
申请日：2003-12-24
申请人： JSR株式会社 , 西村功 , 藤原考一 , 小林英一 , 下川努 , 中村敦 , 米田英司 , 王勇
发明人：西村功 , 藤原考一 , 小林英一 , 下川努 , 中村敦 , 米田英司 , 王勇
IPC分类号： G03F7/004
CPC分类号： G03F7/039 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2006
摘要：　アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる特定の構造を有し、リビングラジカル重合により得られる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、　上記酸解離性基含有樹脂の重量平均分子量と数平均分子量との比（重量平均分子量／数平均分子量）が１．５よりも小さい感放射線性樹脂組成物。
摘要翻译：一种辐射敏感性树脂组合物，其特征在于，具有不溶解或易溶于碱的具有酸解离性基团的树脂，具有通过酸作用使树脂碱溶性的特定结构，通过活性自由基聚合得到; 和辐射敏感性酸产生剂，其中重均分子量与具有酸解离基的树脂的数均分子量的比[（重均分子量）/（数均分子量）] 为1.5以下。

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