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    • 3. 发明申请
    • HALBLEITERBAUELEMENT MIT GESCHÜTZTER FUNKTIONSSCHICHT
    • 具有受保护功能层的半导体元件
    • WO2014032655A2
    • 2014-03-06
    • PCT/DE2013/100307
    • 2013-08-23
    • JACOBS UNIVERSITY BREMEN GGMBH
    • KALINOVICH, NataliyaORTEL, MarlisRÖSCHENTHALER, Gerd-VolkerWAGNER, VeitKAZAKOVA, Olesya
    • C09D5/00H01L31/02161H01L31/02167Y02E10/50
    • Die Erfindung betrifft elektronische Bauelemente, insbesondere Halbleiterbauelemente und ein Verfahren zu deren Herstellung. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Möglichkeit bereit zu stellen, metalloxidische Funktionsschichten elektronischer Bauelemente besser als bisher zu schützen bzw. zu stabilisieren. Hierzu stellt die vorliegende Erfindung ein elektronisches Bauelement, insbesondere ein Halbleiterbauelement, bereit, welches eine aus Metalloxiden bestehende oder Metalloxide umfassende Funktionsschicht umfasst, wobei die Funktionsschicht beschichtet ist mit einer Schutzschicht, die eine Verbindung der allgemeinen Formel (Ia) und/oder ein Umlagerungsprodukt davon gemäß der allgemeinen Formel (Ib) umfasst, oder aus der Verbindung (Ia) und/oder dem Umlagerungsprodukt (Ib) besteht, wobei a) R 1 , R 2 , R 3 und R 4 , jeweils unabhängig, X oder C n X 2n+1 ist, X, für jeden und innerhalb der Reste R 1 , R 2 , R 3 und R 4 unabhängig, H, F, Cl, Br oder I ist, n, für jeden der Reste R 1 , R 2 , R 3 und R 4 unabhängig, 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 oder 10 ist, mit der Maßgabe, dass nicht alle X gleichzeitig H sind, oder b) R 1 und R 3 jeweils H sind und R 2 C(O)R 5 ist, so dass eine Verbindung der allgemeinen Formel (Ib 1 ) resultiert, wobei R 4 und R 5 gleich oder verschieden sein können und unabhängig voneinander einen cyclischen, acyclischen, geradkettigen oder verzweigtkettigen, substituierten oder unsubstituierten, aliphatischen oder aromatischen Rest repräsentieren, oder miteinander unter Ausbildung eines aliphatischen oder aromatischen, substituierten oder unsubstituierten, ein- oder mehrgliedrigen Ringsystems verbunden sind.
    • 本发明涉及电子部件,特别是半导体部件及其制造方法。 本发明的目的是提供比迄今为止更好地保护或稳定电子器件的金属氧化物功能层的机会。 为此,本发明提供了一种电子元件,尤其是半导体器件,其包括金属氧化物或金属氧化物的综合功能层,所述功能层由覆盖有包括(Ia)的通式的化合物的保护层和/或它们的重排产物 宝石BEAR ROAD 包含,或由化合物(Ia)和/或重排产物(Ib)中,将通式(Ib)其中a)R 1 ,R 2 ,R < SUP> 3 和R 4 ,在每种情况下独立承担ngig,X,或C <子>名词 X <子> 2n + 1个,X,F导航用途 每个R和在基团R 1,R 2,R 3和R 4中是独立的, 对于R 1,R 2,R 3和R中的每一个,H,F,Cl,Br或I,n, 4是独立的,1,2,3,4,5,6,7,8,9或10,条件是并非所有的X同时为H,或b) R 1和R 3分别为H和R 2 C(O)R 5,使得a 通式(Ib 1)的化合物产生,其中R 4和R 5可以相同或不同并且彼此独立地 环状,无环,直链或支链,取代或未取代的脂肪族 代表芳族或芳族基团,或相互连接形成脂族或芳族取代或未取代的单元或多元环体系。