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    • 2. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM WANDELN EINER KRAFT ODER EINES DRUCKS IN EIN ELEKTRISCHES SIGNAL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN VORRICHTUNG
    • 装置用于转换以电信号和方法,力或压力制造这种装置
    • WO2012095304A1
    • 2012-07-19
    • PCT/EP2012/000094
    • 2012-01-11
    • HYDAC ELECTRONIC GMBHBRODE, Wolfgang, KurtKEINER, André
    • BRODE, Wolfgang, KurtKEINER, André
    • G01L1/22G01L9/00
    • G01L1/18G01L1/2231G01L9/006Y10T29/49002
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Wandeln einer Kraft oder eines Drucks in ein elektrisches Signal, wobei die Vorrichtung (1) aufweist einen ersten Verformungskörper (10), insbesondere eine erste Membran (12), über den die Kraft oder der Druck in die Vorrichtung (1) einleitbar ist, und einen zweiten Verformungskörper (20), insbesondere eine zweite Membran (22), durch dessen Auslenkung die Kraft oder der Druck in ein elektrisches Signal wandelbar ist, und wobei der erste Verformungskörper (10) ein erstes Kraftübertragungsmittel (14) und der zweite Verformungskörper (20) ein zweites Kraftübertragungsmittel (24) aufweist zur Übertragung der Kraft von dem ersten Verformungskörper (10) auf den zweiten Verformungskörper (20), dadurch gekennzeichnet, dass das erste Kraftübertragungsmittel (14) an seinem von dem ersten Verformungskörper (10) entfernten Ende mit dem vom zweiten Verformungskörper (20) entfernten Ende des zweiten Kraftübertragungsmittels (24) fest verbunden ist, und dass über das erste und zweite Kraftübertragungsmittel (14, 24) sowohl Druck- als auch Zugkräfte von dem ersten Verformungskörper (10) auf den zweiten Verformungskörper (20) übertragbar sind sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung.
    • 本发明涉及一种装置(1),用于一个力或压力的第一膜(12)转换成电信号,其中所述装置(1)包括第一变形体(10),特别是在其上的力或压力在 (1)可被引入该设备,和一个第二变形元件(20),特别是第二膜(22),通过它的挠度,该力或压力成电信号是可变的,并且其中所述第一变形元件(10)中的第一力传递装置 用于发射第一变形元件(10),所述第二变形元件(20)的力(14)和所述第二变形元件(20)的第二力传递装置(24),其特征在于,其从所述第一力传递装置(14) 第一远程变形体(10)远端从第二到变形体(20)的第二力的端传输装置(24),其固定动词 为原因,以及经由所述第一及第二动力传递装置(14,24)从所述第一变形元件(10),所述第二变形元件(20)二者的压缩力和拉伸力可被发送和制造这种装置的方法。
    • 3. 发明申请
    • ISOLATORSCHICHTSYSTEM FÜR EINEN SENSOR UND SENSOR MIT EINEM SOLCHEN ISOLATORSCHICHTSYSTEM
    • 绝缘层SYSTEM FOR A传感器和传感器这样的绝缘层系统
    • WO2008110244A2
    • 2008-09-18
    • PCT/EP2008/001142
    • 2008-02-15
    • HYDAC ELECTRONIC GMBHBRODE, Wolfgang, Kurt
    • BRODE, Wolfgang, Kurt
    • G01L9/04G01L9/06
    • G01L9/0055G01L1/2287G01L19/04H01B3/10H01B3/12
    • Die Erfindung betrifft ein Isolatorschichtsystem (10) für einen Sensor (1), insbesondere für einen in Dünn- oder Dickschichttechnik hergestellten Druck- oder Kraftsensor, mit einem Schichtsystem (10), das eine erste Schicht und eine zweite Schicht aufweist, wobei die erste Schicht ein erstes Element aufweist und die zweite Schicht ein zweites Element aufweist, das von dem ersten Element verschieden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Übergang zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht durch einen Übergangsbereich (14, 18, 22, 26) gebildet ist, dass die Konzentration des ersten Elements im Übergangsbereich (14, 18, 22, 26) ausgehend von einem der ersten Schicht zugewandten Ende des Übergangsbereichs (14, 18, 22, 26) in Richtung auf ein der zweiten Schicht zugewandtes Ende des Übergangsbereichs (14, 18, 22, 26) mindestens abschnittsweise kontinuierlich zunimmt und/oder abnimmt, und/oder dass die Konzentration des zweiten Elements im Übergangsbereich (14, 18, 22, 26) ausgehend von einem der zweiten Schicht zugewandten Ende des Übergangsbereichs (14, 18, 22, 26) in Richtung auf ein der ersten Schicht zugewandtes Ende des Übergangsbereichs (14, 18, 22, 26) mindestens abschnittsweise kontinuierlich zunimmt und/oder abnimmt, sowie einen Sensor (1) mit einem solchen Isolatorschichtsystem (10).
    • 本发明涉及一种绝缘体层系统(10),用于一个传感器(1),特别是用于薄膜或厚膜技术的压力或力传感器制造的,具有层系统(10),其包括第一层和第二层,所述第一层 具有第一构件和所述第二层具有第二构件,其与所述第一元件不同,其特征在于,形成了由过渡区域(14,18,22,26)的第一层和第二层之间的过渡, 的是,在过渡区中的第一元件(14,18,22,26)的浓度,开始面向过渡区域在面向过渡区域的第二层端的方向上的移位(14,18,22,26)的第一端部中的一个(14, 18,22,26)至少部分地连续地增加和/或减小,和/或所述第二构件的浓度(在过渡区域14,18,22,26)一 usgehend面朝所述过渡区域(14,18,22,26)的至少部分换档的第一端面向所述过渡区域(14,18,22,26)的移位的所述第二端中的一个的,连续地增加和/或降低,以及一个 传感器(1)具有这样的绝缘体层系统(10)。