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1. 发明申请

WO2006056296A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN BAUTEILS AUS QUARZGLAS, SOWIE ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETER ROHLING 审中-公开
标题翻译：方法光学零件制造由石英玻璃以及实施合适的空白
公开(公告)号：WO2006056296A1
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：PCT/EP2005/011735
申请日：2005-11-03
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , HENGSTER, Stefan
发明人： HENGSTER, Stefan
IPC分类号： C03B19/14 , C03B32/00 , C03C23/00
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/108 , C03B2201/21 , C03C23/007 , C03C2201/21 , C03C2201/23
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils aus Quarzglas, wird ein Rohling bereitgestellt, der die Aussenkontur des herzustellenden optischen Bauteils mit Übermass umfasst, und der einer Temperbehandlung unterworfen wird, und aus dem anschliessend durch Abtragen des Übermasses das Bauteil erhalten wird. Um hiervon ausgehend ein kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines optischen Bauteils mit hoher Homogenität anzugeben, sowie einen Rohling bereitzustellen, aus dem derartige optische Bauteile erhalten werden können, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass das Bereitstellen des Rohlings Verfahrensschritte umfasst, bei denen ein Basiskörper aus einem homogenen, transparenten Quarzglas erzeugt wird, der Basiskörper mit einem in einem separaten Verfahrensschritt erzeugten SiO 2 -Mantelglas umhüllt und verschmolzen wird, und der Schmelzverbund aus Basiskörper und Mantelglas der Temperbehandlung unterworfen wird. Der zur Durchführung des Verfahrens geeignete Rohling (6) ist erfindungsgemäss als Schmelzverbund aus einem Basiskörper (1) aus homogenem, transparenten Quarzglas und einem SiO 2 -Mantelglas (5) aus Quarzglas mit geringerer Homogenität ausgebildet.
摘要翻译：在用于制造石英玻璃的光学部件的已知方法中，提供一个空白，其包括用过量的光学部件的外轮廓，并进行退火处理，并从随后通过除去过量的组分而获得。为了此基础上提供用于生产具有高的均匀性的光学部件的成本有效的方法，并提供一个空白，这样的光学元件可以从获得，根据它建议，所述坯件的规定包括其中基体由一种均匀的步骤的发明，透明石英玻璃产生时，在基体2 _{笼罩-Mantelglas和与在单独的工艺步骤的SiO _{产生的信号融合，及熔融复合材料是由基体和退火处理的包层玻璃进行。适合于空白（6）是根据本发明的作为基体的熔体复合执行该方法的装置（1）均相的，透明石英玻璃和SiO _{2 -Mantelglas（5）由具有较小均匀性形成石英玻璃的。}}}

2. 发明申请

WO2011006759A1 MENISKUSLINSE AUS SYNTHETISCHEM QUARZGLAS UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：半月板镜头合成石英玻璃和方法生产
公开(公告)号：WO2011006759A1
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：PCT/EP2010/059340
申请日：2010-07-01
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , HENGSTER, Stefan
发明人： HENGSTER, Stefan
IPC分类号： C03B19/14 , C03B23/049 , C03B23/051
CPC分类号： C03B19/1469 , C03B23/0493 , C03B23/051
摘要： Zur Herstellung einer Meniskuslinse aus synthetischem Quarzglas für den Einsatz in einem Mikrolithographiegerät, die eine erste optische Oberfläche (7) und eine zweite optische Oberfläche (8) mit gleicher Krümmungsrichtung wie die erste optische Oberfläche (7) aufweist, werden SiO 2 -Partikel durch Oxidation oder Flammenhydrolyse einer siliziumhaltigen Ausgangsverbindung gebildet und schichtweise auf einem Träger unter Bildung eines zylinderförmigen SiO 2 -Rohlings abgeschieden, der Schichten mit einer sich in Aufwachsrichtung erstreckenden Flächennormalen enthält. Um derartige Schichten zulassen zu können, die aber eine möglichst geringe Beeinträchtigung optischer oder mechanischer Eigenschaften bewirken, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Rohling in einem Heißverformungsprozess unter Einwirkung einer Verformungskraft zu einer Vorform (6) plastisch umgeformt wird, die mindestens die erste gekrümmte Oberfläche (7) aufweist und in der die Schichten in Krümmungsrichtung gekrümmt verlaufen, und dass aus der Vorform die Meniskuslinse erhalten wird.
摘要翻译：为了产生合成石英玻璃的弯月形透镜为具有第一光学表面（7）和第二光学表面（8）的曲率相同的方向上的第一光学表面（7）在微光刻装置中使用的SiO 2颗粒通过氧化产生的或含硅起始化合物的火焰水解形成并沉积在层上的载体上以形成圆筒形坯料含SiO 2的层，在生长表面法线的方向上延伸。为了允许这样的层，但是这会导致光学和机械性质的最小可能的损失，本发明提出，坯件在热成型过程塑性变形的变形力的作用下，以一个预成型件（6），它（至少在第一弯曲表面 7）和在弯曲方向在各层是弯曲的，并且被从所述预型件获得的弯月形透镜。

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