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    • 1. 发明申请
    • TRANSDUCER WITH DECOUPLED SENSING IN MUTUALLY ORTHOGONAL DIRECTIONS
    • 在正交方向上解耦的传感器
    • WO2010056435A3
    • 2010-07-08
    • PCT/US2009059499
    • 2009-10-05
    • FREESCALE SEMICONDUCTOR INCLIN YIZHENMCNEIL ANDREW C
    • LIN YIZHENMCNEIL ANDREW C
    • B81B7/02B81C1/00
    • G01P15/125G01P15/18G01P2015/0814G01P2015/082G01P2015/0831
    • A microelectromechanical systems (MEMS) transducer (90) is adapted to sense acceleration in mutually orthogonal directions (92, 94, 96). The MEMS transducer (90) includes a proof mass (100) suspended above a substrate (98) by an anchor system (116). The anchor system (116) pivotally couples the proof mass (100) to the substrate (98) at a rotational axis (132) to enable the proof mass (100) to rotate about the rotational axis (132) in response to acceleration in a direction (96). The proof mass (100) has an opening (112) extending through it. Another proof mass (148) resides in the opening (112), and another anchor system (152) suspends the proof mass (148) above the surface (104) of the substrate (98). The anchor system (152) enables the proof mass (148) to move substantially parallel to the surface (104) of the substrate (98) in response to acceleration in at least another direction (92, 94).
    • 微机电系统(MEMS)换能器(90)适于感测相互正交的方向(92,94,96)上的加速度。 MEMS换能器(90)包括通过锚固系统(116)悬挂在衬底(98)上方的检验质量块(100)。 锚定系统116在旋转轴线132处将检测质量块100枢转地连接到基板98以使得检测质量块100能够响应于检测质量块100中的加速度而围绕旋转轴线132旋转。 方向(96)。 检测质量块(100)具有穿过其延伸的开口(112)。 另一个检验质量(148)驻留在开口(112)中,另一个锚定系统(152)将检测质量(148)悬挂在衬底(98)的表面(104)上方。 响应于在至少另一个方向(92,94)上的加速度,锚定系统(152)使得检测质量块(148)能够基本平行于衬底(98)的表面(104)移动。