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热词
    • 2. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER STRUKTUR
    • 方法和制造装置的结构
    • WO2011085880A1
    • 2011-07-21
    • PCT/EP2010/069296
    • 2010-12-09
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.WIPPERMANN, FrankDUPARRE, JacquesDANNBERG, PeterBRÄUER, Andreas
    • WIPPERMANN, FrankDUPARRE, JacquesDANNBERG, PeterBRÄUER, Andreas
    • B29C35/08B29D11/00B29C37/00
    • B29D11/00442B29C33/405B29C35/0894B29C37/005B29C2035/0827B29D11/00153
    • Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer Struktur aus aushärtbarem Material durch Abformung beschrieben. In einem ersten Schritt des Verfahren wird ein Abformwerkzeug (310) oberhalb einer Oberfläche (330) angeordnet, so dass in einem Bereich (340) zwischen dem Abformwerkzeug und der Oberfläche das aushärtbare Material (320) an die Oberfläche und eine der Oberfläche zugewandten Abformfläche (312) des Abformwerkzeugs angrenzt, und so dass weiteres aushärtbares Material (321) in den Bereich nachfließen kann. In einem zweiten Schritt wird das aushärtbare Material lokal variierend in dem Bereich bestrahlt, so dass das aushärtbare Material lateral variierend unterschiedlich schnell aushärtet, und Schrumpfungen beim Aushärten des aushärtbaren Materials durch das weitere aushärtbare Material ausgeglichen werden. In einem dritten Schritt des Verfahrens wird ein konstanter Druck an das weitere aushärtbare Material angelegt. Weiterhin werden ein zweites Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer Struktur aus aushärtbarem Material durch Abformung und ein Abformwerkzeug für ein optisches Bauteil beschrieben.
    • 产生通过模制所描述的可固化材料的结构的方法。 在一个表面(330)上述方法中,成形工具(310)的第一步骤被布置成使得在一个区域(340),所述可固化材料(320)的表面与所述成形工具和所述表面成型面之间面对的表面( 模制工具的312)相邻,并且使得另一可固化材料(321)可以流入该区域。 在第二步骤中,可固化材料被局部照射的范围内变化,使得所述可固化材料固化横向以不同的速率变化,并且通过所述多个可固化材料中的可固化材料的固化收缩得到补偿。 在该方法的第三步骤的恒定压力施加到其他可固化材料被施加。 此外,第二制造方法和通过模制制成可硬化材料的结构的装置,以及用于光学部件的成型工具进行说明。
    • 6. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON TRANSLATIONSBEWEGUNGEN ZWISCHEN EINER OBERFLÄCHE UND EINER MESSVORRICHTUNG
    • 用于测量翻译方法及设备移动之间的表面和测量装置
    • WO2003021237A2
    • 2003-03-13
    • PCT/DE2002/002982
    • 2002-08-14
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BRÄUER, AndreasBRUNNER, HerbertDANNBERG, PeterSCHREIBER, PeterSTEEGMÜLLER, UlrichZEITNER, Uwe
    • BRÄUER, AndreasBRUNNER, HerbertDANNBERG, PeterSCHREIBER, PeterSTEEGMÜLLER, UlrichZEITNER, Uwe
    • G01N21/00
    • G01D5/38
    • Zwischen einer Messanordnung (1) und einer Oberfläche (7) werden Translationsbewegungen gemessen, indem eine Lichtquelle (2) einen kohärenten Lichtstrahl (c) mit einer Hauptausbreitungskomponente in z-Richtung auf die sich relativ zu der Messanordnung in der x-y-Ebene bewegende Oberfläche (7) richtet und vor der Oberfläche ein teilreflektierendes Beugungsgitter (4) positioniert wird, das derart ausgebildet ist, dass das daran reflektierte Licht mehrere Beugungsordnungen (r-y, r+y, r-x) Ausbreitungskomponenten in -y - Richtung, in +y - Richtung, in -x - Richtung und in +x - Richtung aufweist, die gleich stark sind, und dass es einen anderen Teil des kohärenten Lichtstrahls (t) durchlässt, um an der Oberfläche (7) gestreut zu werden und sich mit dem am Beugungsgitter reflektierten Licht zu überlagern. Das an der Oberfläche gestreute Licht wird außerdem zirkularpolarisiert. Mehrere Detektoranordnungen (9-y, 9+y, 9-x) empfangen das an dem Beugungsgitter reflektierte Licht, das sich mit dem an der Oberfläche gestreuten Licht (s) überlagert, wobei die Detektoranordnungen jeweils einen Strahlteiler (11) und zwei Detektoren (12, 13) zur Erfassung eines ersten bzw. zweiten Messsignals aufweisen und zwischen den Strahlteilern (11) und den Detektoren (12, 13) eine Vorrichtung (14, 15) zur Erzeugung einer Phasendifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Messsignal vorgesehen ist. Schließlich werden das erste und das zweite Messsignal einer Auswerteschaltung zugeführt, um die Bewegungsrichtung in y-Richtung und in x-Richtung aus den Vorzeichen der Phasendifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Messsignal und den Betrag der Bewegung in y-Richtung und in x-Richtung aus der Frequenz der Amplitudenänderungen des ersten und des zweiten Messsignals zu ermitteln.
    • 的测量装置(1)和一个表面(7)之间的平移运动是由一个光源(2)相干光束(c)与在z方向上的相对于xy平面表面测量装置移动主传播成分(测量 7)对齐,并且表面部分反射衍射光栅(4)被定位时,其被设计为使得光在其上的光的多个衍射级的反射之前(RY,R + Y,RX)散布在-y部件 - 在+ y方向 - 方向, 具有方向,这也同样强,并且所述相干光束的另一部分(t)的传递,在所述表面(7)中扩散,并通过衍射光栅反射的光 - 在-x - 方向和在+ x 为叠加。 散射光的表面上的光被圆也极化。 多个检测器安排(-9-基,9 + Y,9-X)接收所述衍射光栅的反射光与散射的光(S)的表面上的光,其中,所述检测器组件(每一个分束器(11)和两个检测器干扰 12,13),用于检测第一和第二测量信号,以及(分束器11)和用于产生第一和第二测量信号之间的相位差的检测器(12,13)的装置(14,15)之间设置。 最后,第一和第二测量信号来评估电路被馈送到运动的在y方向上和在与所述第一和第二测量信号和运动的沿y方向和x方向上的量之间的相位差的正负号x方向上的方向 从第一和第二测量信号的振幅变化的频率来确定。
    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER STRUKTUR, OPTISCHES BAUTEIL, OPTISCHER SCHICHTSTAPEL
    • 一种用于生产结构,光学元件,光学薄膜叠堆
    • WO2011085879A1
    • 2011-07-21
    • PCT/EP2010/069293
    • 2010-12-09
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.WIPPERMANN, FrankDUPARRE, JaquesDANNBERG, PeterBRÄUER, Andreas
    • WIPPERMANN, FrankDUPARRE, JaquesDANNBERG, PeterBRÄUER, Andreas
    • B29C33/52B29D11/00
    • G02B3/00B29C33/52B29D11/00009B29L2011/00G02B13/0085
    • Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellen einer Struktur aus aushärtbaren Material. Dabei wird eine erste Struktur (220) aus einem ersten aushärtbaren Material auf einem Substrat (210) abgeformt und ausgehärtet. Weiterhin wird eine zweite Struktur (230) aus einem zweiten aushärtbaren Material auf einer dem Substrat abgewandeten ersten Oberfläche der ersten Struktur abgeformt und ausgehärtet, so dass sich an der ersten Oberfläche der ersten Struktur eine Grenzfläche zwischen der ersten Struktur und der zweiten Struktur ausbildet und so, dass die erste Struktur von der zweiten Struktur an einem Durchgangsbereich (240) nicht bedeckt ist. Ferner wird ein Lösungsmittel in den Durchgangsbereich eingebracht, um das erste aushärtbare Material der ersten Struktur zu lösen, so dass ein Leerraum (270) zwischen der zweiten Struktur und der ersten Oberfläche des Substrates gebildet wird, wobei das erste aushärtbare Material nach Aushärtung löslich für das Lösungsmittel ist und das zweite aushärtbare Material nach Aushärtung unlöslich für das Lösungsmittel ist. Weiterhin werden ein optisches Bauteil aus aushärtbarem Material, sowie ein optischer Schichtstapel aus aushärtbarem Material beschrieben.
    • 本发明描述了一种用于制造由可硬化材料制成的结构的方法。 在这种情况下,从基板(210)上的第一可固化材料的第一结构(220)被成形和固化。 此外,从一个第二可固化材料的第二结构(230)从所述第一结构的所述衬底第一表面模制的遥控器上并固化,从而使所述第一结构和这样的第一表面上形成的第一结构和第二结构之间的边界表面 从所述第二结构在一个通道部分(240)所述第一结构不被覆盖。 此外,溶剂被引入到通道区域,以解决所述第一结构的所述第一可固化材料,从而使一个空的空间(270)的所述第二结构和所述衬底的所述第一表面之间形成,其中,所述第一可固化材料的可溶性固化后 溶剂和固化后的第二可固化材料是不溶于该溶剂。 此外,可固化的材料的光学部件,和可固化材料的光学堆叠层进行说明。