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1. 发明申请

WO2012055989A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER VERBINDUNG ZWISCHEN ZWEI KERAMIKTEILEN, INSBESONDERE VON TEILEN EINES DRUCKSENSORS, UND EIN KERAMISCHES PRODUKT, INSBESONDERE EINEN KERAMISCHEN DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：方法之间连接的两个陶瓷部件，包括压力传感器的部件和陶瓷产品，尤其是陶瓷压力传感器
公开(公告)号：WO2012055989A1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：PCT/EP2011/068943
申请日：2011-10-28
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , ROßBERG, Andreas , PHILIPPS, Michael , HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert
发明人： ROßBERG, Andreas , PHILIPPS, Michael , HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert
IPC分类号： C04B37/00 , B23K35/02 , B23K35/32 , C23C14/34
CPC分类号： H01R43/0235 , B23K1/0008 , B23K1/008 , B23K1/19 , B23K35/0222 , B23K35/32 , C04B37/006 , C04B2235/6581 , C04B2235/72 , C04B2237/122 , C04B2237/127 , C04B2237/128 , C04B2237/343 , C04B2237/592 , C04B2237/60 , C04B2237/708 , G01L7/00 , G01L9/0075
摘要： Ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen umfasst Bereitstellen eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils in der Weise bereitgestellt wird, dass zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mittels einer Gasphasenabscheidung mit der Legierung des Aktivhartlots beschichtet wird.
摘要翻译：产生两个陶瓷构件之间的接头的方法包括提供第一陶瓷部件和第二陶瓷部件; 提供了在所述陶瓷部的至少一个的至少一个表面部分上的Aktivhartlotmaterials; 并在真空钎焊，其特征在于，根据本发明的整个Aktivhartlotmaterial被提供用于连接所述第一和第二陶瓷部件以这样的方式，所述陶瓷部件，优选地，两个陶瓷部件中的至少一个的至少一个表面部分通过气相沉积来涂覆活性钎料的合金加热活性钎料，

2. 发明申请

WO2012119836A1 KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：陶瓷压力测量单元
公开(公告)号：WO2012119836A1
公开(公告)日：2012-09-13
申请号：PCT/EP2012/052429
申请日：2012-02-13
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , DREWES, Ulfert , PHILIPPS, Michael , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , BERLINGER, Andrea
发明人： DREWES, Ulfert , PHILIPPS, Michael , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , BERLINGER, Andrea
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/14
CPC分类号： G01L19/148 , B81B2201/0264 , B81C1/0023 , B81C2203/019 , G01L9/0075
摘要： Ein Drucksensor 1 umfasst eine Druckmesszelle mit einem keramischen Grundkörper 2, einer keramischen Messmembran 3; und einem elektirischen Wandler, wobei die Messmembran mit dem Grundkörper 2 verbunden ist, wobei zwischen dem Grundkörper 2 und der Messmembran eine Messkammer ausgebildet ist, und wobei zumindest eine dem Grundkörper 2 abgewandte Seite der Messmembran mit einem zu messenden Druck beaufschlagbar ist, wobei der Wandler zum Wandeln einer Verformung der Messmembran in ein elektrisches Signal vorgesehen ist; wobei der Drucksensor weiterhin eine elektronische Schaltung 5 zum Betreiben des elektrischen Wandlers und eine Kapsel umfasst, wobei die elektronische Schaltung 5 in der Kapsel angeordnet ist, die durch den Grundkörper 2 und mindestens einem zweiten Kapselkörper gebildet ist, und wobei der zweite Kapselkörper mit dem Grundkörper entlang einer umlaufenden Fügestelle 8, die ein Glaslot umfasst, hermetisch dicht gefügt ist. Die Fügestelle 8 wird bevorzugt mit Laserstrahllöten oder Elektronenstrahllöten präpariert.
摘要翻译：压力传感器1包括压力测量单元具有陶瓷基体2，陶瓷测量膜片3; 和elektirischen转换器，其中，所述测量膜片连接到所述基体2，其特征在于，在基体2和测量膜片，并且其中，所述基体2侧由测量膜背对可以与被加压的至少一个进行测量时，所述换能器之间形成一个测量室提供了一种用于测量膜片的变形转换成电信号; 其中，所述压力传感器进一步包括电子电路5，用于操作所述电动换能器和胶囊，其中所述电子电路5被布置在由基体2和至少一个第二胶囊主体形成的胶囊，并且其中所述第二胶囊主体在基体沿着旋转接头8，它包括一个玻璃焊料，被气密地密封在一起。接合点8优选地与激光钎焊或电子束焊制备的。

3. 发明申请

WO2012113660A1 KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：陶瓷压力测量单元
公开(公告)号：WO2012113660A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/EP2012/052305
申请日：2012-02-10
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , BERLINGER, Andrea , DREWES, Ulfert , PHILIPPS, Michael , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
发明人： BERLINGER, Andrea , DREWES, Ulfert , PHILIPPS, Michael , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/00 , G01L9/0075
摘要： Eine Druckmesszelle 61 umfasst mindestens einen keramischen Messmembrankörper 62; und mindestens einen keramischen Grundkörper 63, wobei der Messmembrankörper 62 entlang einer ringförmigen umlaufenden Fügestelle mit dem Grundkörper 63 verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Fügestelle als Schweißverbindung zwischen dem Messmembrankörper 62 und dem Grundkörper 63 gebildet ist, wobei der Messmembrankörper eine druckabhängig verformbare Messmembran aufweist. Ein Drucksensor 60 umfasst eine erfindungsgemäße Druckmesszelle 61 und ein Gehäuse 70, wobei die Druckmesszelle 61 von dem Gehäuse 70 gehalten ist, und wobei die Druckmesszelle 61 eine Gehäuseöffnung 71 verschließt, durch welche die Druckmesszelle 61 mit einer Umgebung des Gehäuses 70 kommuniziert, wobei zwischen einer die Öffnung 71 umgebenden Dichtfläche 72 des Gehäuses und einer Dichtfläche 64 der Druckmesszelle 61 eine Dichtung 73 eingespannt ist.
摘要翻译：压力测量单元61包括至少一个陶瓷测量膜体62; 和至少一个陶瓷基体63，其中，所述测量膜体62沿着环形旋转接头在基体63相连接，其特征在于所述接头是测量膜片体62之间的焊接连接，并形成在所述基体63，其中，所述测量膜片体具有压力依赖性变形测量膜片，压力传感器60包括压力根据本发明61和壳体70，其中，所述压力测量单元61由壳体70保持测量单元，以及压力测量单元61具有一个壳体开口密封件71，通过该61连通的压力测量单元与壳体70的环境中，一个之间开口密封表面71围绕壳体72和压力测量单元61的密封表面64，密封件被夹紧第七十三

4. 发明申请

WO2009003826A1 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2009003826A1
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/EP2008/057490
申请日：2008-06-13
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
发明人： DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L19/0084
摘要： Ein Drucksensor (1), umfasst einen Grundkörper (2); und eine Messmembran (3), die unter Bildung einer Messkammer mit dem Grundkörper (2) mittels einer ersten Fügestelle (4) die ein Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist; und einen Wandler (5, 6) zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal; sowie einen Primärsignalpfad, der sich von, dem Wandler durch den Grundkörper erstreckt, wobei der Primärsignalpfad mindestens einen elektrischen Leiter umfasst, der in einem Abschnitt durch eine Öffnung (7) durch den Grundkörper verläuft; wobei die Öffnung mittels eines metallischen Körpers (9) verschlossen ist, der eine ebene Fläche aufweist, die der Messkammer zugewandt ist, und die mittels einer die Öffnung (7) umschließenden zweiten Fügestelle (8), die ein Aktivhartlot aufweist, druckdicht mit dem Grundkörper (2) gefügt ist, wobei das Aktivhartlot der zweiten Fügestelle (8) einen Schmelzpunkt aufweist, der nicht mehr als 50°C bzw. 25°C niedriger ist als jener des Aktivhartlots der ersten Fügestelle.
摘要翻译：的压力传感器（1）包括基体（2）; 和测量膜片（3），其通过（4）具有活性钎焊的第一关节的装置形成与所述基体（2）的测量室，是压力密封地连接; 和换能器（5,6），用于将所述测量膜片的压力相关的变形转换成电初级信号; 和穿过基体，其中，所述主信号路径中的至少包括电导体的部分中通过开口从，换能器延伸的主信号路径（7）延伸穿过所述基体; 其中，所述开口装置的金属体（9）的被关闭时，具有面向所述测量室中的平坦表面，并且所述开口的装置（7）围绕所述第二铰链（8），其具有活性钎焊，压力密封的方式与基体（2）接合，其中，所述第二铰链（8）的活性钎料的熔点，其不超过50℃或低于第一活性钎焊接头的低25℃。

5. 发明申请

WO2011117014A2 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2011117014A2
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：PCT/EP2011/051740
申请日：2011-02-07
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , HAUPTVOGEL, Karl-Peter , SCHMIDT, Elke , ROßBERG, Andreas , DREWES, Ulfert
发明人： HAUPTVOGEL, Karl-Peter , SCHMIDT, Elke , ROßBERG, Andreas , DREWES, Ulfert
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L19/0084
摘要： Ein Drucksensor (1) umfasst einen Grundkörper (2) und mindestens eine Messmembran (3), die unter Bildung einer Messkammer mit dem Grundkörper mittels einer ersten Fügestelle (4), die ein erstes Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist, und einen Wandler (5, 6a, 6b) zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal, sowie einen Primärsignalpfad, der sich von dem Wandler durch mindestens eine Bohrung (8a, 8b) durch den Grundkörper erstreckt, wobei der Primärsignalpfad mindestens eine elektrisch leitfähige Beschichtung (7a, 7b) umfasst, die sich entlang der Wand der Bohrung (8a, 8b) erstreckt, ohne die Bohrung zu verschließen, wobei erfindungsgemäß die Bohrung (8a, 8b) mittels einer zweiten Fügestelle (10a, 10b) mit einem zweiten Aktivhartlot verschlossen ist, wobei das zweite Aktivhartlot die Bohrung freitragend verschließt, und wobei das zweite Aktivhartlot eine weichlotfähige Oberfläche aufweist.
摘要翻译：的压力传感器（1）包括基体（2）和至少一个测量膜片（3），其通过第一接头的装置形成与所述基体的测量室（4）具有第一活性钎焊，是压力密封地连接，并且换能器（5 ，6A，6B），用于将所述测量膜片的压力相关的变形转换为电主信号包括通过至少一个孔图8a延伸的主信号路径（从换能器，图8b）延伸穿过基体，其中，所述主信号路径中的至少一个导电涂层（7a中，7b）的沿所述孔的壁（8A，8B）延伸，而不通过第二关节8b）的封闭的孔中，其特征在于，根据本发明的孔（8a中，（10A，10B）被关闭与第二活性钎焊，其中所述第二活性钎焊封闭孔自支撑的，且其中所述第二活性钎焊包括weichlotfähige表面。

6. 发明申请

WO2012123199A1 KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：陶瓷压力测量单元及其制造方法
公开(公告)号：WO2012123199A1
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：PCT/EP2012/052310
申请日：2012-02-10
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , DREWES, Ulfert , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , BERLINGER, Andrea , UEHLIN, Ralf
发明人： DREWES, Ulfert , ROßBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , BERLINGER, Andrea , UEHLIN, Ralf
IPC分类号： G01L9/00 , C04B37/00
CPC分类号： G01L9/0048 , B23K1/0016 , B23K1/008 , B23K26/211 , B23K26/32 , B23K35/302 , B23K35/32 , B23K2201/40 , B23K2203/172 , B23K2203/52 , C04B35/111 , C04B37/006 , C04B2235/6565 , C04B2235/6581 , C04B2235/665 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , C04B2237/122 , C04B2237/124 , C04B2237/126 , C04B2237/127 , C04B2237/343 , C04B2237/592 , C04B2237/60 , C04B2237/708 , C22C16/00 , C22C30/02 , G01L9/0075
摘要： Verfahren zum Herstellen einer Druckmesszelle 1, welche einen keramischen Grundkörper 2 und eine keramische Messmembran 3 aufweist, wobei die Messmembran mittels eines Aktivhartlots 4 mit dem Grundkörper druckdicht gefügt ist, wobei das Verfahren umfasst: Bereitstellen des Grundkörpers 2 und der Messmembran 3 und des Aktivhartlots 4; Positionieren des Aktivhartlots, zwischen dem Grundkörper und der Messmembran; Schmelzen des Aktivhartlots durch Bestrahlen des Aktivhartlots mittels eines Lasers 10, wobei das Bestrahlen des Aktivhartlots durch die Messmembran hindurch erfolgt; und Erstarrenlassen des Aktivhartlots durch Abkühlen.
摘要翻译：一种制造压力测量单元1，其具有陶瓷基体2和陶瓷测量膜片3，其特征在于，通过活性钎焊4压力密闭的方式向基体的手段测量膜接合的方法，所述方法包括：提供基体2和测量膜片3和活性钎焊4 ; 定位所述活性钎料，基体和测量膜之间; 通过照射激光10，其中，活性钎焊料的照射是通过测量膜进行的活性钎焊装置中的活性钎焊材料熔化; 并通过冷却固化该活性钎料。

7. 发明申请

WO2008148779A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器
公开(公告)号：WO2008148779A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/EP2008/056880
申请日：2008-06-04
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , DREWES, Ulfert , SCHMIDT, Elke , STOLLE, Sabine , KRETSCHMAR, Christel , HENTSCHE, Melanie
发明人： HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , DREWES, Ulfert , SCHMIDT, Elke , STOLLE, Sabine , KRETSCHMAR, Christel , HENTSCHE, Melanie
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L13/025 , Y10T29/49117
摘要： Ein Drucksensor umfasst einen Grundkörper (1) und eine elastische Messmembran (2), die unter Bildung einer am Rand dicht abgeschlossenen Messkammer (3) mit einer Oberfläche des Grundkörpers (1) gefügt ist, wobei der Grundkörper (1) und/oder die Messmembran (2) Keramik, Glas oder ein einkristallines Material als Werkstoff aufweisen, die Messmembran mindestens eine erste Elektrode (6) aufweist, die der Oberfläche des Grundkörpers (2) zugewandt ist, die Oberfläche des Grundkörpers (1) mindestens eine zweite Elektrode (5) aufweist, die der der Messmembran (2) zugewandt ist, wobei die Kapazität zwischen der ersten Elektroden und der zweiten Elektrode ein Maß für den zu messenden Druck ist; wobei ferner mindestens eine der ersten und zweiten Elektroden eine leitfähige Schicht aufweist, die Metall und Glas enthält, wobei das Metall mindestens zwei Edelmetall-Elemente umfasst.
摘要翻译：一种压力传感器，包括一个基体（1）和弹性测量膜片（2），其被连接以形成密封的边缘测量室（3）与所述基体的表面（1），其特征在于，所述基体（1）和/或所述测量膜片（2）包括陶瓷，玻璃或单晶材料作为材料，测量膜片具有至少（6）的面向基体的表面（2），所述基体的表面（1）的至少一个第二电极的第一电极（5）具有，面对测量膜片（2），所述第一电极和所述第二电极之间的电容是用于将被测量的压力的测量值; 进一步地，其中所述第一和第二电极中的至少一个包括包含金属和玻璃的导电层，其中，所述金属包括至少两个贵金属元素。

8. 发明申请

WO2010133402A1 KERAMISCHES BAUTEIL MIT MINDESTENS EINER ELEKTRISCHEN DURCHFÜHRUNG, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG UND DRUCKSENSOR MIT EINEM SOLCHEN BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：与至少电气实现陶瓷元件，及其制造方法压力传感器具有这样的COMPONENT
公开(公告)号：WO2010133402A1
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：PCT/EP2010/054744
申请日：2010-04-12
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , DREWES, Ulfert
发明人： DREWES, Ulfert
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0042 , G01L9/0075 , G01L19/0069 , Y10T428/12361
摘要： Ein keramisches Bauteil mit mindestens einer elektrischen Durchführung, umfasst einen keramischen Körper (1), durch den sich eine Bohrung (2) erstreckt, einen metallischen Leiter (3), welcher zumindest abschnittsweise in der Bohrung (2) angeordnet und mittels eines Aktivhartlots (4) unter Abdichtung der Bohrung in derselben befestigt ist, wobei das Aktivhartlot einen Ringspalt zwischen dem metallischen Leiter und den keramischen Körper ausfüllt, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktiv-Hart-Lot eine radial veränderliche chemische Zusammensetzung aufweist.
摘要翻译：具有至少一个电馈通的陶瓷组分包括（1），延伸的陶瓷体，通过该孔（2），在该孔布置（3），其在部分至少一个金属导体（2）和（4通过活性钎焊的方法）通过密封所述孔，其中，所述活性钎焊材料填充的金属导体和陶瓷体之间的环形间隙地固定在相同的，其特征在于，具有沿径向变化的化学组合物中的活性硬焊料。

9. 发明申请

WO2011072959A1 KERAMISCHES PRODUKT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：陶瓷制品和方法及其
公开(公告)号：WO2011072959A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/EP2010/067158
申请日：2010-11-10
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , BERLINGER, Andrea , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHLEIFERBÖCK, Detlef , SCHMIDT, Elke
发明人： BERLINGER, Andrea , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHLEIFERBÖCK, Detlef , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00 , C04B37/00 , C04B35/00
CPC分类号： G01L9/0075 , C04B37/006 , C04B2237/122 , C04B2237/343 , C04B2237/403 , C04B2237/708 , C04B2237/72
摘要： Ein Keramisches Produkt (1) umfasst ein erstes Keramikteil (2) und ein zweites Keramikteil (3), wobei das erste Keramikteil (2) mit dem zweiten Keramikteil (3) über eine Fügestelle verbunden ist, wobei die Fügestelle ein Aktivhartlot aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Fügestelle eine inhomogene Verteilung der Komponenten das Aktivhartlots aufweist, wobei zumindest an einer Grenzfläche zwischen dem Aktivhartlot und der Keramik die mindestens aktive Komponente des Aktivhartlots angereichert ist. Zur Herstellung des Produkts wird das Aktivhartlotmaterial in der Weise bereitgestellt, dass zunächst zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, mit mindestens einer aktiven Komponente des Aktivhartlots beschichtet wird, und dass auf dem beschichteten Abschnitt eine Legierung bereitgestellt wird, die durch das Aufschmelzen der Legierung während des Erhitzens mit der Beschichtung legiert und eine metallische Fügestelle zwischen den beiden Keramikteilen bildet.
摘要翻译：的陶瓷产品（1），包括第一陶瓷件（2）和第二陶瓷部件（3），其中，所述第一陶瓷部件（2）与所述第二陶瓷部件（3）经由接头，其中，所述接头具有的活性钎焊料，其特征在于该接头具有活性钎焊的部件的不均匀分布，其特征在于，至少在活性钎焊和活性钎料的陶瓷至少有源部件之间的界面处富集。为了制备产物时，Aktivhartlotmaterial在最初的陶瓷部件中的至少一个的至少一个表面部分，涂有所述活性硬焊料中的至少一种活性组分的方式设置，并在涂覆部分中，提供了一种合金，它同时由合金的熔化加热合金化与涂层并形成两个陶瓷部件之间的金属接头。

10. 发明申请

WO2011061006A1 KAPAZITIVE KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：电容式陶瓷压力测量单元
公开(公告)号：WO2011061006A1
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：PCT/EP2010/064997
申请日：2010-10-07
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , BERLINGER, Andrea , DREWES, Ulfert , SCHMIDT, Elke , SELDERS, Peter
发明人： BERLINGER, Andrea , DREWES, Ulfert , SCHMIDT, Elke , SELDERS, Peter
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L9/0044
摘要： Eine Druckmesszelle (1) umfasst einen keramischen Grundkörper (3); und eine keramische Messmembran (2), wobei die Messmembran (2) mit dem Grundkörper (3) entlang einer ringförmig umlaufenden Fügestelle (7) druckdicht verbunden ist, wobei die Fügestelle (7) einen Randbereich der Messmembran (2) unterstützt, wobei der Grundkörper (2) fluchtend mit dem Randbereich mindestens eine Vertiefung (8) gegenüber einer Basisfläche für die Fügestelle (7) aufweist, wobei die Vertiefung zumindest teilweise mit Aktivhartlot gefüllt ist.
摘要翻译：压力测量单元（1）包括陶瓷基体（3）; 和陶瓷测量膜片（2），其中，所述测量膜片（2）与所述基体（3）沿环形周向接头（7）是压力密封地与所述安装点（7）连接支持测量膜片（2）的边界区域，其中，所述基体（2）与所述边缘区域中的至少一个凹部（8）相对的接头（7）的基面，所述凹部至少部分地填充有活性钎焊料齐平。

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