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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HOHLKÖRPERN FÜR RESONATOREN
    • 用于生产空心体FOR RESONATORS
    • WO2007062829A1
    • 2007-06-07
    • PCT/EP2006/011464
    • 2006-11-29
    • DEUTSCHES ELEKTRONEN-SYNCHROTRON DESYSINGER, XeniaSINGER, WaldemarSCHWELLENBACH, JohannesPEKELER, Michael
    • SINGER, XeniaSINGER, WaldemarSCHWELLENBACH, JohannesPEKELER, Michael
    • H01P11/00H05H7/20H01L39/24
    • H05H7/18H01P11/008
    • Dargestellt und beschrieben ist ein Verfahren zur Herstellung von Hohlkörpern (8) insbesondere für Hochfrequenzresonatoren. Die Aufgabe, Hohlkörper bzw. einen Resonator herzustellen, die verbesserte Eigenschaften aufweisen, wird durch ein Verfahren mit den folgenden Schritten gelöst: Bereitstellen eines Substrats mit einem einkristallinen Bereich, Festlegen einer Schnittfläche durch das Substrat, Anbringen von Markierungen (3, 3‘) beidseitig der Schnittfläche, Herstellen von zwei Scheiben durch Schneiden entlang der Schnittfläche, wobei die Scheiben vollständig dem einkristallinen Bereich entnommen sind, Umformen der Scheiben zu Halbzellen (5, 5‘), wobei die Halbzellen eine Fügefläche (6, 6‘) aufweisen, und Zusammenfügen der Halbzellen zu einem Hohlkörper (8), wobei die Fügeflächen aneinander anliegen und wobei die Markierungen auf den Halbzellen auf beiden Seiten der Fügefläche so zueinander orientiert sind, wie auf beiden Seiten der Schnittflächen.
    • 公开了一种用于生产特别是中空体(8),用于高频谐振器的方法。 提供衬底具有单晶区域,通过该衬底限定的截面积,将标记(3,3“)在两侧上:空心体的任务或产生具有改进性能的谐振器是通过包括以下步骤的方法来实现 晶片具有形成到半电池(5,5“),其中,所述半电池的配合面(6,6”)的切割区域中,通过沿剖面,其中,所述盘完全从单晶区域除去切削产生两个光盘,并接合 半电池的中空体(8),其中,所述接合表面抵靠彼此,并且其中所述半电池的标记被定向在接合面的两侧以彼此为对切断面的两侧。
    • 2. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SCHWEISSNAHTLOSEN HOCHFREQUENZRESONATOREN
    • 生产无静噪高频谐振器的方法和装置
    • WO2009021698A2
    • 2009-02-19
    • PCT/EP2008/006577
    • 2008-08-08
    • DEUTSCHES ELEKTRONEN-SYNCHROTRON DESYSINGER, WaldemarZHELEZOV, Igor
    • SINGER, WaldemarZHELEZOV, Igor
    • H05H7/00H05H7/18
    • H05H7/00H05H7/18
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines nahtlosen Hochfrequenzresonator-Hohlkörpers, der zwei rohrförmige Endabschnitte (12) und einen zwischen diesen angeordneten, gegenüber den Endabschnitten aufgeweiteten Resonatorhohlraumabschnitt (16) aufweist. Zunächst wird ein nahtloses Rohr (1) aus einem durch Innenhochdruckumformen umformbaren Material mit einem Innendurchmesser bereitgestellt, der zwischen dem maximalen Innendurchmesser der Endabschnitte (12) und dem maximalen Innendurchmesser des Resonatorhohlraumabschnitts (16) des herzustellenden Hohlkörpers (29) liegt. Das Rohr (1) wird mit einem Umformwerkzeug (8) in jeweils einem Bereich (12) an seinen beiden Enden durch mechanisches Drücken auf die Außenseite so umgeformt, dass der Querschnittsdurchmesser in diesen beiden Endbereichen (12) relativ zu einem mittleren Bereich (16) des Rohrs (1) verringert wird. Anschließend wird das Rohr (1) durch Innenhochdruckumformen so umgeformt, dass der Querschnittsdurchmesser des mittleren Bereichs (16) des Rohrs (1) relativ zu dem Querschnittsdurchmesser der zuvor umgeformten beiden Endbereiche (12) vergrößert und das Rohr (1) zu dem Hohlkörper (29) umgeformt wird. Die Vorrichtung weist zur Umformung des Rohrs (1) in dieser Weise mindestens ein Umformwerkzeug (8) für die mechanische Querschnittsverringerung und eine Innenhochdruckumformeinrichtung (14, 34) auf.
    • 本发明涉及一种用于制造高频谐振器空心中空体的方法和装置,该中空空心体包括两个管状端部(12)和设置在它们之间的谐振腔部分(16),并且朝向端部 )了。 首先,在要制造的中空体(29)的端部(12)的最大内径和谐振器腔体部分(16)的最大内径之间提供具有内径的液压成形材料的无缝管(1)。 管(1)在其两端通过机械按压在其两端通过成型工具(8)重新成形,使得这两个端部区域(12)中的相对于中央部分(12)的横截面直径 管(1)的区域(16)减小。 随后,通过液压成形使管(1)变形,使得管(1)的中心部分(16)的横截面直径相对于先前形成的两个端部(12)和管(1)的横截面直径增加 )被转换成空心体(29)。 该设备包括至少一个用于机械减小横截面的成形工具(8)和用于以这种方式形成管(1)的内部高压成形装置(14,34)