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1. 发明申请

WO2004029689A2 BELEUCHTUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：照明装置
公开(公告)号：WO2004029689A2
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/EP2003/010538
申请日：2003-09-22
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , BISCHOFF, Jörg , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , ERDMANN, Lars , STEINER, Reinhard
发明人： BISCHOFF, Jörg , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , ERDMANN, Lars , STEINER, Reinhard
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G02B27/106 , G02B21/06 , G02B27/123 , G02B27/126 , G02B27/144 , G02B27/145
摘要： Es wird eine Beleuchtungsvorrichtung mit einer Strahlvervielfachungseinrichtung (1), die einen zugeführten kohärenten Strahl (18) in mehrere Teilstrahlen (20, 21) aufteilt und diese nach Durchlaufen von Wegen mit unterschiedlichen optischen Längen zu einem Strahlenbündel (26) zusammenführt, in dem die Teilstrahlen (27, 28, 29, 30) divergieren, und ferner mit einer der Strahlvervielfachseinrichtung (1) nachgeordneten Mikrooptik (3), die eine Veilzahl von rasteratig angeordneten Optikelementen (19) umfasst, vorgesehen, wobei das Strahlenbündel (26) auf die Mikrooptik (3) trifft und dadurch auf jedes Optikelement (19) die Teislstrahlen (27, 28, 29, 30) des Strahlenbündels (26) mit unterschiedlichen Winkeln treffen, so dass von jedem Optikelement (19) mehrere Beleuchtungsteilstrahlen (M1, M2, M3, M4) mit unterschiedlichen Ausbreitungsrichtungen ausgehen, die zur Beleuchtung eines Objektfelds (31) eingesetzt werden können.
摘要翻译：它是一个光束乘法装置（1），包括一个提供相干光束（18）分割为多个部分光束的照明装置（20，21）被分开，并且这些通过路径具有不同的光程的光束（26）后一起，其中子光束（27，28，29，30）发散，并且还包括在所述Strahlvervielfachseinrichtung（1）下游的微光学器件（3），包括rasteratig的Veilzahl布置的光学元件（19），被设置，其中所述光束（26）（在微光学 3）适用，由此（在梁（26）以不同的角度满足的每个光学元件19）的Teislstrahlen（27，28，29，30），以使得（由每个光学元件19）的多个照明子束（M1，M2，M3，M4的）继续进行传播的不同方向，这可以被用于照明物场（31）。

2. 发明申请

WO2003029875A3 BELEUCHTUNGSANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2003029875A3
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010849
申请日：2002-09-27
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , ERDMANN, Lars , STEINER, Reinhard , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , BISCHOFF, Jörg
发明人： ERDMANN, Lars , STEINER, Reinhard , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G02B27/44
摘要： Bei einer Beleuchtungsanordnung mit einem einen Spiegel (2) aufweisenden Kohärenzminderer (1), der mittels des Spiegels (2) einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (10) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (11) abgibt, und mit einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Beleuchtungsoptik zum Beleuchten eines Objektfeldes, die eine Mikrooptik (4; 19) mit einer Vielzahl von Optikelementen (9; 20), die rasterartig angeordnet sind, und eine der Mikrooptik (4; 19) nachgeordnete Abbildungsoptik (5) umfasst, umfasst der Spiegel ein Spiegelelement (2), dessen Oberfläche in mehrere Spiegelteilflächen (8) aufgeteilt ist, die zueinander parallel angeordnet und in Richtung ihrer Flächennormalen versetzt sind, wobei das zugeführte Strahlenbündel (10) an den Spiegelteilflächen (8) derart reflektiert wird, dass von den Spiegelteilflächen (8) Beleuchtungsteilstrahlenbündel (11) ausgehen, die zusammen das Beleuchtungsstrahlenbündel mit den unterschiedlichen Phasenverschiebungen bilden.

3. 发明申请

WO2003029875A2 BELEUCHTUNGSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：照明装置
公开(公告)号：WO2003029875A2
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010849
申请日：2002-09-27
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , ERDMANN, Lars , STEINER, Reinhard , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , BISCHOFF, Jörg
发明人： ERDMANN, Lars , STEINER, Reinhard , BRUNNER, Robert , BURKHARDT, Matthias , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G02B26/06
CPC分类号： G02B27/4244 , G02B27/425 , G02B27/48
摘要： Bei einer Beleuchtungsanordnung mit einem einen Spiegel (2) aufweisenden Kohärenzminderer (1), der mittels des Spiegels (2) einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (10) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (11) abgibt, und mit einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Beleuchtungsoptik zum Beleuchten eines Objektfeldes, die eine Mikrooptik (4; 19) mit einer Vielzahl von Optikelementen (9; 20), die rasterartig angeordnet sind, und eine der Mikrooptik (4; 19) nachgeordnete Abbildungsoptik (5) umfasst, umfasst der Spiegel ein Spiegelelement (2), dessen Oberfläche in mehrere Spiegelteilflächen (8) aufgeteilt ist, die zueinander parallel angeordnet und in Richtung ihrer Flächennormalen versetzt sind, wobei das zugeführte Strahlenbündel (10) an den Spiegelteilflächen (8) derart reflektiert wird, dass von den Spiegelteilflächen (8) Beleuchtungsteilstrahlenbündel (11) ausgehen, die zusammen das Beleuchtungsstrahlenbündel mit den unterschiedlichen Phasenverschiebungen bilden.
摘要翻译：在具有一个反射镜（2），具有相干性减速器的照明装置（1），由反射镜的装置（2）所提供的相干辐射束（10）印象取决于在光束横截面中的位置不同的相移，并作为照明光束（11）的输出，并相干减速器（1）的照明光学部件的下游，用于照明物场，微光学器件（4; 19），其具有多个光学元件（9; 20）（4; 19），其被布置网格状的方式，和一个微光学下游的成像光学器件（5 包括），反射镜包括反射镜元件（2），其表面的多个反射镜表面部分（8）被分割，其被相互平行地布置，并抵消在它们的表面的法线方向，其特征在于，所提供的辐射光束（10）（到反射镜表面部分8）反射的这样是反射镜表面部分（8）的部分照明光束（11）比其它地址，它们共同形成与不同相移的照明光束。

4. 发明申请

WO2003029879A1 ANORDNUNG ZUR VERMINDERUNG DER KOHÄRENZ EINES KOHÄRENTEN STRAHLENBÜNDELS 审中-公开
标题翻译：布置，降低相干光束梁的一致性
公开(公告)号：WO2003029879A1
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010475
申请日：2002-09-18
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , BURKHARDT, Matthias , MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg , STEINER, Reinhard , ERDMANN, Lars
发明人： BURKHARDT, Matthias , MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg , STEINER, Reinhard , ERDMANN, Lars
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B5/0221 , G02B5/0284 , G02B27/48
摘要： Bei einer Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines kohärenten Strahlenbündels (6) ist ein einen Innenraum begrenzender Reflektor (1) mit einer diffus reflektierenden Innenfläche (4) vorgesehen, wobei der Reflektor (1) eine Eintrittsöffnung (2), durch die das Strahlenbündel (6) in den Innenraum einkoppelbar ist, sowie eine Austrittsöffnung (3), durch die Strahlen des Strahlenbündels (6) nach zumindest einmaliger Reflexion an der Innenfläche (4) austreten, aufweist.
摘要翻译：在用于降低相干光束的相干性的装置（6）是一个内部限制反射器（1）设置有漫反射内表面（4），其中，所述反射器（1）的入口开口（2），通过该（光束6 ）可以按照一个出口开口（3），（由光束6）的光线到内表面上的至少一个反射（4）出现，其具有被耦合到内部，和。

5. 发明申请

WO2003029793A3 MESSANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2003029793A3
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010474
申请日：2002-09-18
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , BISCHOFF, Jörg
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G01N21/55
摘要： Bei einer Messanordnung mit einer Strahlungsquelle (1), einer dieser nachgeordneten Ablenkeinrichtung (5), die mit einem von der Strahlungsquelle (1) ausgehenden Strahl (2) beaufschlagbar ist und diesen zeitlich nacheinander in unterschiedliche Richtungen abgelenkt, und weiter mit einer ersten und einer zweiten Optikeinrichtung (9, 10) sowie einem Detektor (6), wobei die erste Optikeinrichtung (9) die von der Ablenkeinrichtung (5) kommenden Strahlen jeweils als Messstrahl auf einen Punkt (P) einer in einer Messposition anzuordnenden Probe (11) derart umlenkt, dass der Einfallswinkel des Messstrahls auf die Probe (11) in Abhängigkeit der Richtung variiert, und wobei von der Probe (11) aufgrund der Wechselwirkung der Messstrahlen mit der Probe ausgehende Probenstrahlen mittels der Wechselwirkung der Messstrahlen mit der Probe ausgehende Probenstrahlen mittels der zweiten Optikeinrichtung (10) auf den Detektor (11) umlenkt werden, weist zumindest eine der beiden Optikeinrichtungen (9, 10) ein diffraktives Element (7) zur Umlenkung auf, das die aus unterschiedlichen Richtungen einfallenden Strahlen derart beugt, dass die gebeugten Strahlen einer vorbestimmten Beugungsordnung in einen Punkt (P, D) fokussiert werden.

6. 发明申请

WO2003029793A2 MESSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：测量装置
公开(公告)号：WO2003029793A2
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010474
申请日：2002-09-18
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , BISCHOFF, Jörg
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01N21/55 , G01N21/211 , G01N21/4788 , G01N2021/4711 , G01N2021/4714 , G01N2021/4735 , G01N2021/4792 , G01N2201/0635
摘要： Bei einer Messanordnung mit einer Strahlungsquelle (1), einer dieser nachgeordneten Ablenkeinrichtung (5), die mit einem von der Strahlungsquelle (1) ausgehenden Strahl (2) beaufschlagbar ist und diesen zeitlich nacheinander in unterschiedliche Richtungen abgelenkt, und weiter mit einer ersten und einer zweiten Optikeinrichtung (9, 10) sowie einem Detektor (6), wobei die erste Optikeinrichtung (9) die von der Ablenkeinrichtung (5) kommenden Strahlen jeweils als Messstrahl auf einen Punkt (P) einer in einer Messposition anzuordnenden Probe (11) derart umlenkt, dass der Einfallswinkel des Messstrahls auf die Probe (11) in Abhängigkeit der Richtung variiert, und wobei von der Probe (11) aufgrund der Wechselwirkung der Messstrahlen mit der Probe ausgehende Probenstrahlen mittels der Wechselwirkung der Messstrahlen mit der Probe ausgehende Probenstrahlen mittels der zweiten Optikeinrichtung (10) auf den Detektor (11) umlenkt werden, weist zumindest eine der beiden Optikeinrichtungen (9, 10) ein diffraktives Element (7) zur Umlenkung auf, das die aus unterschiedlichen Richtungen einfallenden Strahlen derart beugt, dass die gebeugten Strahlen einer vorbestimmten Beugungsordnung in einen Punkt (P, D) fokussiert werden.
摘要翻译：与辐射源（1），这些下游导流器（5）中的一个，输出与（1）光束（2）的作用时和偏转这些一个接一个地在不同的方向后，辐射源的一个，和另外的第一与一个和一个测量装置第二光学装置（9，10）和一个检测器（6），其中，所述第一光学装置（9）的偏转器（5）的射线分别来作为测量光束的一个点（P）在一个测量位置被安装样品（11）偏转以这样的方式使得测量光束的入射在样品（11）的角度的变化取决于方向，并且其中所述样品（11）由于通过样品试样光束射出与样品由测量光束的相互作用的装置发射的测量辐射的相互作用由第二光学装置标本光束（10）偏转到所述检测器（11）包括所述两个光学器件（9中的至少一个，10 ）用于偏转上的衍射元件（7）衍射光束入射从不同的方向，使得衍射的预定顺序的衍射光束（在点P，D）被聚焦。

7. 发明申请

WO2003029770A1 SCATTEROMETRISCHE MESSANORDNUNG UND MESSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译： Scatterometric测定装置及测定方法
公开(公告)号：WO2003029770A1
公开(公告)日：2003-04-10
申请号：PCT/EP2002/010476
申请日：2002-09-18
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , MASCHKE, Gunter , BISCHOFF, Jörg
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , MASCHKE, Gunter , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G01J4/00
CPC分类号： G01J4/00 , G01J3/28 , G01N21/211 , G01N21/47
摘要： Bei einer Messanordnung mit einer Optikeinrichtung, in die zur Messung ein von einer Probe ausgehendes, divergierendes Strahlenbündel (10) eingekoppelt wird, und weiter mit einem der Optikeinrichtung nachgeordneten Detektor (13), der eine Vielzahl von in einer Ebene angeordneten, unabhängig voneinander auswertbaren Detektorpixeln aufweist, wobei die Optikeinrichtung (11) das divergierende Strahlenbündel (10) in einer ersten Richtung quer zur Ausbreitungsrichtung des Strahlenbündels (10) spektral zerlegt und auf den Detektor (13) lenkt, parallelisiert die Optikeinrichtung das Strahlenbündel auch noch, bevor es auf den Detektor (13) trifft, in einer zweiten Richtung quer zur Ausbreitungsrichtung derart, dass in der zweiten Richtung benachbarte Strahlen des auf den Detektor (13) treffenden Strahlenbündels zueinander parallel verlaufen.
摘要翻译：在用光学设备的测量装置，耦合到所述测量出射的发散的辐射束（10），并且还包括在平面中布置的多个光学系统的下游检测器（13），彼此独立地评价的检测器像素的样本，其中所述光学装置（11）在第一方向上横向于所述辐射光束（10）的传播方向分割发散光束（10）的光谱和到检测器（13）引导所述光学装置的并行化，光束仍然检测器之前（13）施加，在第二方向上横向于所述传播方向，以便在所述检测器（13）上的相邻波束的第二方向上的每个撞击光束平行延伸。

8. 发明申请

WO2004031838A1 ANAODNUNG ZUR VERMINDERUNG DER KOHÄRENZ EINES LICHTBÜNDELS 审中-公开
标题翻译： ANAODNUNG以减少光束的协调性
公开(公告)号：WO2004031838A1
公开(公告)日：2004-04-15
申请号：PCT/EP2003/010075
申请日：2003-09-11
申请人： CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg
发明人： MENCK, Alexander , BISCHOFF, Jörg
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B27/144 , G02B27/143 , G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines Lichtbündels, insbesondere eines Laserlichtbündels zur Beleuchtung einer Bildfläche oder einer Probe. Erfindungsgemäß umfaßt eine solche Anordnung einen Strahlteiler (2), an dem ein einfallendes Lichtbündel (1) in zwei orthogonale Teilbündel (4,6) aufgespalten wird, und zwei reflektierende Elemente, von denen mindestens eines als Umkehrprisma (7) ausgebildet ist. Dabei ist jeweils ein Teilbündel (4,6) auf ein reflektierendes Element gerichtet und wird von dort zum Strahlteiler (2) zurückgeworfen. Die reflektierenden Elemente sind in unterschiedlichen Abständen vom Strahlteiler (2) positioniert, so daß die Teilbündel (4,6) den Strahlteiler (2) in umgekehrter Richtung wieder passieren und dabei zu einem abgehenden Lichtbündel (8) vereinigt werden, in dem die Kohärenz vermindert ist.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于减少光束的相干性，特别是激光束用于照射的图像区域或样品。根据本发明，这样的装置包括在其上的入射光束（1）被划分为两个正交子光束（4,6），和两个反射元件，它们被作为反向棱镜（7）的至少一种形成的分束器（2）。在此，子光束（4,6）是在每种情况下针对一个反射元件并且从那里向分束器（2）反射。反射元件被定位在从分束器（2）不同的距离，从而使子光束（4,6）穿过在相反方向上的光束分离器（2）再次，从而出射光束（8）相结合，在降低的一致性是。

9. 发明申请

WO2003098316A3 OPTISCHE ANORDNUNG ZUR HOMOGENISIERUNG EINES ZUMINDEST TEILWEISE KOHÄRENTEN LICHTFELDES 审中-公开
公开(公告)号：WO2003098316A3
公开(公告)日：2003-11-27
申请号：PCT/EP2003/005275
申请日：2003-05-20
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , STEINER, Reinhard , RUDOLF, Klaus , BRUNNER, Robert , BISCHOFF, Jörg , TRAEGER, Stefan , KOWARSCHIK, Richard , ZÖLLNER, Friedrich , ECKARDT, Peter , DARSCHT, Maxim , DOBSCHAL, Hans-Jürgen
发明人： STEINER, Reinhard , RUDOLF, Klaus , BRUNNER, Robert , BISCHOFF, Jörg , TRAEGER, Stefan , KOWARSCHIK, Richard , ZÖLLNER, Friedrich , ECKARDT, Peter , DARSCHT, Maxim , DOBSCHAL, Hans-Jürgen
IPC分类号： G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Homogenisierung eines zumindest teilweise kohärenten Lichtfeldes, insbesondere von einem Laser, vorzugsweise einem Excimer-Laser. Erfindungsgemäss ist eine Anordnung vorgesehen, die im wesentlichen besteht aus einem optischen Umlauf, mindestens einem Einkoppelelement zur Einkopplung eines Lichtfeldes in des optischen Umlauf und mindestens einem Auskoppelelement, wobei das eingekoppelte Lichtfeld (1) oder ein Teil dieses Lichfeldes (1) wiederholt den optischen Umlauf durchläuft und dabei die Wellenfront des Lichtfeldes (1) zumindest teilweise deformiert wird, und wobei Teile des Lichfeldes (1) ausgekoppelt werden, wenn sie den optischen Umlauf ein oder mehrere Male durchlaufen haben. Dabei wird das Lichtfeld (1) mit einer gegebenen Wellenfront in den optischen Umlauf eingekoppelt. Während des Ständig wiederholten Durchlaufens des optischen Umlaufes werden Anteile des Lichfeldes (1) deren Wellenfronten voneinander abweichen, aus dem Umlauf ausgekoppelt. Handelt es sich um gepulste Laserstrahlung, sind die Weglängen, die die Einzelnen Anteile des Lichtfeldes zurücklegen, grösser als die zeitliche Kohärenzlänge.

10. 发明申请

WO2003098316A2 OPTISCHE ANORDNUNG ZUR HOMOGENISIERUNG EINES ZUMINDEST TEILWEISE KOHÄRENTEN LICHTFELDES 审中-公开
标题翻译：光学系统，均匀化至少部分相干光场
公开(公告)号：WO2003098316A2
公开(公告)日：2003-11-27
申请号：PCT/EP2003/005275
申请日：2003-05-20
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , STEINER, Reinhard , RUDOLF, Klaus , BRUNNER, Robert , BISCHOFF, Jörg , TRAEGER, Stefan , KOWARSCHIK, Richard , ZÖLLNER, Friedrich , ECKARDT, Peter , DARSCHT, Maxim
发明人： STEINER, Reinhard , RUDOLF, Klaus , BRUNNER, Robert , BISCHOFF, Jörg , TRAEGER, Stefan , KOWARSCHIK, Richard , ZÖLLNER, Friedrich , ECKARDT, Peter , DARSCHT, Maxim
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Homogenisierung eines zumindest teilweise kohärenten Lichtfeldes, insbesondere von einem Laser, vorzugsweise einem Excimer-Laser. Erfindungsgemäss ist eine Anordnung vorgesehen, die im wesentlichen besteht aus einem optischen Umlauf, mindestens einem Einkoppelelement zur Einkopplung eines Lichtfeldes in des optischen Umlauf und mindestens einem Auskoppelelement, wobei das eingekoppelte Lichtfeld (1) oder ein Teil dieses Lichfeldes (1) wiederholt den optischen Umlauf durchläuft und dabei die Wellenfront des Lichtfeldes (1) zumindest teilweise deformiert wird, und wobei Teile des Lichfeldes (1) ausgekoppelt werden, wenn sie den optischen Umlauf ein oder mehrere Male durchlaufen haben. Dabei wird das Lichtfeld (1) mit einer gegebenen Wellenfront in den optischen Umlauf eingekoppelt. Während des Ständig wiederholten Durchlaufens des optischen Umlaufes werden Anteile des Lichfeldes (1) deren Wellenfronten voneinander abweichen, aus dem Umlauf ausgekoppelt. Handelt es sich um gepulste Laserstrahlung, sind die Weglängen, die die Einzelnen Anteile des Lichtfeldes zurücklegen, grösser als die zeitliche Kohärenzlänge.
摘要翻译：本发明涉及一种用于通过激光，优选受激准分子激光器均化至少部分相干的光场，特别是布置。根据提供了一种布置中，本发明基本上由光学循环，至少一个耦接元件，用于在光循环和至少一个去耦元件，其中，所述耦合光盒（1）或该Lichfeldes（1）的一部分重复往返光耦合的光场正在运行，并且由此光场的波前（1）至少部分变形，并且其中所述Lichfeldes的部件时，他们已通过光学循环一次或多次通过（1）以耦合。光盒（1）耦合于一个给定的波前在光学循环。的（1）Lichfeldes比例，其波前是不同的，光轮的不断反复通过期间耦合出流通。如果是脉冲激光辐射的路径长度，其覆盖所述光场的比时间相干长度大的各个组件。

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