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1. 发明申请

WO2010136319A1 KORRELATIVE OPTISCHE UND TEILCHENSTRAHL-MIKROSKOPIE 审中-公开
标题翻译：相关光学和观测粒子
公开(公告)号：WO2010136319A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/EP2010/056229
申请日：2010-05-07
申请人： CARL ZEISS AG , SIEVERS, Torsten , HOERING, Lutz
发明人： SIEVERS, Torsten , HOERING, Lutz
IPC分类号： G02B21/36 , G01N1/06 , G01N1/28 , H01J37/28
CPC分类号： G02B21/367 , G01N1/06
摘要： Es wird beschrieben ein System zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe (3, 17), das umfaßt: ein SPI-Mikroskop (1) zur optischen Abbildung der Probe (3), das die Probe (3) entlang einer z-Richtung abbildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, wobei das SPI-Mikroskop eine Probenbewegungseinrichtung (12), welche die Probe (3) so bewegt, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, zur Abbildung kommen, und eine Steuereinrichtung (13) aufweist, die Koordinatendaten erfaßt, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe (3) detektierten Strukturen zugeordnet sind, eine Probenschneidevorrichtung (10, 11; 19, 20), die auf Basis der Koordinatendaten die Probe (3) schneidet, und ein Teilchenstrahlmikroskop (15) zur Teilchenstrahlmikroskopie der nach dem Abschneiden verbliebenen Probe (17).
摘要翻译：它被描述为相关光学显微镜和Teilchenstrahlmikroskopie的样品（3，17）的系统，包括：SPI-显微镜（1）用于样品的光学成像（3），所述样品映射（3）沿着z方向并且基本上以照亮垂直，其中，所述SPI显微镜的样品移动装置（12），以便移动的试样（3），不同的样品的区域，它们是沿着在不同层中的移动开始前的z方向上至少，来成像，并且具有控制装置（13）检测的坐标数据所定义的，至少在该样品的z方向位置（3）检测到的结构与样品切割机相关联;该坐标数据的基础上（10，11 19，20）样本（3）切割，以及粒子束（15），用于所述Teilchenstrahlmikroskopie切割样品（17）之后剩余的。

2. 发明申请

WO2006056178A1 OBJEKTIV-TISCH-SYSTEM FÜR MIKROSKOPE 审中-公开
标题翻译： LENS表SYSTEM FOR显微镜
公开(公告)号：WO2006056178A1
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：PCT/DE2005/002099
申请日：2005-11-21
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , NOLTE, Andreas , HOERING, Lutz
发明人： NOLTE, Andreas , HOERING, Lutz
IPC分类号： G02B7/02 , G02B21/00 , G02B21/24 , G02B21/26
CPC分类号： G02B21/26
摘要： Bei einem Objektiv-Tisch-System für Mikroskope besteht die Aufgabe, die mechanische Stabilität mit einem kompakten kostengünstigen Aufbau zu erhöhen, um Fokusschwankungen, bedingt durch eine thermische Drift aber auch durch eine Schwingungsanfälligkeit der optischen und/oder mechanischen Mikroskop-Komponenten entgegen zu wirken. Das Objektiv (15) ist von einer in den Tisch (1) eingearbeiteten Führung (14) aufgenommen und in der Führung (14) entlang der senkrecht zur Oberfläche des Tisches gerichteten optischen Achse (0-0) verschiebbar. Das Objektiv-Tisch-System ist insbesondere für Mikroskope von Bedeutung, die für automatische Messaufgaben vorgesehen sind.
摘要翻译：与显微镜透镜系统表，目的是提高机械稳定性与紧凑廉价的结构来有条件作用由于热漂移和也由光学和/或机械部件的显微镜是相遇的振动易感性焦点的变化。所述透镜（15）由在（1）导向件（14）沿垂直引导件（14）在接收到面对光轴（0-0）可滑动的表面的表并入。透镜表系统是特别重要的显微镜，其旨在用于自动测量任务。

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