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1. 发明申请

WO2008000630A1 VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN VERMESSUNG VON OBJEKTEN 审中-公开
标题翻译：设备对于对象进行光学测量
公开(公告)号：WO2008000630A1
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/EP2007/055888
申请日：2007-06-14
申请人： BREMER INSTITUT FÜR ANGEWANDTE STRAHLTECHNIK GMBH , BOTHE, Thorsten , GESIERICH, Achim , SCHULTE, Michael
发明人： BOTHE, Thorsten , GESIERICH, Achim , SCHULTE, Michael
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： G01B11/25
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur optischen Vermessung von Objekten. Ein Bilderzeuger (1) erzeugt ein flächiges Muster (M), insbesondere ein flächiges Streifenmuster, welches von einem Objekt (O) reflektiert wird, das sich in einer Vermessungsposition (V) befindet. Die reflektierte Strahlung wird vom Bildaufnehmer (2) aufgenommen und eine Auswerteeinheit (4) ermittelt die Struktur des Objekts (O). Auf der Vermessungsachse (A), die Bildaufnehmer (2) und Vermessungsposition (V) auf dem Objekt (O) verbindet, befindet sich eine optische Abbildungseinheit (3,3'), insbesondere ein Strahlteiler, der das Licht mit dem Muster (M) so reflektiert, dass es aus Richtung des Bildaufnehmers (2) zu kommen scheint, und somit ein virtuelles Bild (M') des Musters (M) auf der Vermessungsachse (A) erzeugt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于物体的光学测量的方法。图像生成器（1）生成一个两维图案（M），其中位于一测量位置（V）尤其是扁平的条带图案，其由对象（O）反射。所反射的辐射由图像传感器（2）以及评估单元接收（4）决定了对象的结构（O）。在测量轴线（A），图像传感器（2）和物体（O）的测量位置（V）连接，有一个光学成像单元（3,3“），特别是一个分束器，与所述图案的光（M）反射，从而它似乎来自所述图像传感器（2）的方向，从而生成虚拟图像上的测量轴线（A）的模式（M）的（M“）。

2. 发明申请

WO2005031251A1 OPTISCHES VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN DER STRUKTUR EINER OBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：用于表示一个面确定光学结构的方法和装置
公开(公告)号：WO2005031251A1
公开(公告)日：2005-04-07
申请号：PCT/EP2004/052362
申请日：2004-09-29
申请人： BIAS BREMER INSTITUT FÜR ANGEWANDTE STRAHLTECHNIK , BOTHE, Thorsten
发明人： BOTHE, Thorsten
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： G01B11/306 , G01B11/2536
摘要： Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Bestimmen der Struktur einer Oberfläche, bei dem ein flächiges Muster von einem Bilderzeuger (12) z.B. TFT-LCD-Bildschirm, erzeugt wird, bei dem das Muster an einer Oberfläche (11) gespiegelt wird, bei dem das gespiegelte Muster von einer Optik auf einen Bildaufnehmer (14), z.B. CCD-Kamera, abgebildet wird, und bei dem das von dem Bildaufnehmer (14) aufgenommene Bild von einer Steuerung (17) ausgewertet wird, lässt sich ein robustes, einfaches, kostengünstiges sowie schnelles und flächenhaftes Vermessen der Oberfläche eines Objektes dadurch erzielen, dass aufeinander folgend mehrere flächige Muster, z.B. sinusförmige Streifenmuster mit flächigen Strukturen bildpunktweise von dem Bilderzeuger erzeugt werden, dass die Strukturen zweier Muster voneinander verschiedene Abmessungen haben, und dass die einzelnen Bildpunkte zweier Muster jeweils eine definierte Position aufweisen.
摘要翻译：在方法和用来确定一个表面的结构的装置，其中图像发生器的平面图案（12），例如 TFT-LCD中产生，其中所述图案是镜像的表面（11），其中，所述镜像图案由光学系统在图像传感器（14），例如在显示CCD摄像机，并且其中由控制器采取所述图象摄取装置（14）的图像（17）被评估可以通过对象的健壮的，简单，廉价且快速和面积测量表面来实现该连续以下几个平面图案，例如，被成像通过的两个图案的结构具有相互不同的尺寸的成像器产生具有二维结构的正弦条纹图案，而两个模式的各个图像点每一个都具有限定的位置。

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