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    • 3. 发明申请
    • SYSTEM AND METHOD FOR CREATING A SURFACE PATTERN
    • 用于创建表面图案的系统和方法
    • WO2006076302A3
    • 2007-01-11
    • PCT/US2006000708
    • 2006-01-10
    • BIOFORCE NANOSCIENCESHENDERSON ERIC RMOSHER CURTIS L
    • HENDERSON ERIC RMOSHER CURTIS L
    • H01L21/302C12M1/00G01N15/06
    • G03F7/0002B82Y10/00B82Y40/00
    • Some embodiments of the disclosed surface patterning systems and methods utilize a surface patterning tool coupled to a support and adapted to deposit material onto a substrate, a controller, and first, second, and third actuators electrically coupled to and controlled by the controller. In some embodiments, the first, second, and third actuators are operable to move the substrate in X, Y, and Z directions, respectively, with respect to the surface patterning tool, wherein the substrate is movable by the first, second, and third actuators to different positions with respect to the surface patterning tool, and wherein material is transferable from the surface patterning tool to the substrate in each of the different positions to define the desired surface pattern. One or more of the actuators in some of the disclosed embodiments are piezoelectric actuators.
    • 所公开的表面图案形成系统和方法的一些实施例利用耦合到支撑件并适于将材料沉积到衬底,控制器以及电耦合到控制器并由控制器控制的第一,第二和第三致动器的表面图案形成工具。 在一些实施例中,第一,第二和第三致动器可操作以分别相对于表面图案形成工具在X,Y和Z方向上移动衬底,其中衬底可通过第一,第二和第三 致动器相对于表面图案形成工具到不同的位置,并且其中材料可以从表面图案形成工具转移到每个不同位置中的衬底以限定所需的表面图案。 一些所公开的实施例中的一个或多个致动器是压电致动器。