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1. 发明申请

WO2006131128A1 SPUTTER-MAGNETRON 审中-公开
标题翻译：溅射磁控管
公开(公告)号：WO2006131128A1
公开(公告)日：2006-12-14
申请号：PCT/EP2005/006032
申请日：2005-06-04
申请人： APPLIED MATERIALS GMBH AND CO. KG , LOPP, Andreas , RUSKE, Manfred
发明人： LOPP, Andreas , RUSKE, Manfred
IPC分类号： H01J37/34
CPC分类号： H01J37/3408
摘要： Die Erfindung betrifft ein Magnetron mit einem Planaren Target (20) und einem pla naren Magnetsystem (1). Das planare Magnetsystem weist einen stabförmigen ersten Magnetpol (26) mit vergrößerten Enden und einen rahmenförmigen zweiten Magnetpol (2)auf, wobei eine Punkt des sich bei ortsfestem Target bewegenden Magnetsystems auf einer Kreisbahn bewegt. Ist das Magnetsystem ortsfest, bewegt sich jeder Punkt des Targets auf einer solchen Kreisbahn. Während der Relativbewegung zueinan der befinden sich das Magnetsystem und das Target in parallelen Ebene . Der Durc hmesser (D) der Kreisbahn entspricht dabei dem mittleren Abstand zwisc en zwei pa rallelen Armen eines Plasmaschlauchs, der sich im Sputter-Betrieb zwi chen dem e rsten und dem zweiten Magnetpol ausbildet. Da durch, dass die Magnete im Kurvenbe reich des Plasmaschlauchs so angeordnet sind, dass die Pollinien dort einen Kreibogen oder eine kreisförmDie Erfindung betrifft ein Magnetron mit einem Planaren Target und einem planaren Magnetsystem. Das planare Magnetsystem weist einens förmigen ersten Magnetpol mit vergrößerten Enden und einen rahmenförmigen zwe iten Magnetpol auf, wobei eine Punkt des sich bei ortsfestem Target bewegenden agnetsystems auf einer Kreisbahn bewegt. Ist das Magnetsystem ortsfest, bewegt s ich jeder Punkt des Targets auf einer solchen Kreisbahn. Während der Relativbewe gung zueinander befinden sich das Magnetsystem und das Target in parallelen Eben . Der Durchmesser der Kreisbahn entspricht dabei dem ittleren Abstand zwisc en zwei parallelen Armen eines Plasmaschlauchs, der sich im Sputter-Betrieb zwi chen dem ersten und dem zweiten Magnetpol ausbildet. Dadurch, dass die Magnete im Kurvenbereich des Plasmaschlauchs so angeordnet sind, dass die Pollinien dort e inen Krei bogen oder eine kreisförmige Fläche bilden, werden Löcher im Target vermieden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有平面靶（20）和PLA那仁磁体系统（1）的磁控管。平面磁体系统具有棒状的第一磁极（26）具有扩大的端部和框状的第二磁极（2），其特征在于，与固定磁体系统中的移动目标的点在圆形路径上移动。是磁系统固定的，所述目标的每个点以这样的圆形路径上移动。期间zueinan的相对运动是磁体系统和在平行平面中的目标。所述圆形路径的彼特hmesser（D）对应于平均距离betwe烯PA rallelen的等离子体管的两个臂，位于操作刷e和形成所述第二磁极的临时溅射表面。由于由等离子体管的磁体被布置在Kurvenbe丰富，有花粉块一个Kreibogen或kreisförmDie发明涉及一种具有平面靶材和平面磁体系统的磁控管。平面磁体系统具有形状的第一磁极与扩大的端部和框状的第津巴布韦磁极einens，其中，在一静止目标的运动的点agnetsystems在圆形路径上移动。如果磁系统固定，S I移动这样的圆形路径上的目标的每一点。在Relativbewe供给彼此是磁体系统和在平行平面中的目标。圆形路径的直径对应于距离betwe连接的等离子体管的ittleren两个平行臂，在溅射操作的临时表面形成第一和第二磁极。特征在于，所述磁体被设置在等离子管的弯曲区域，以使弓有花粉块ëINEN Krei或形成圆形表面，孔避免了目标。

2. 发明申请

WO2009027905A2 SPUTTERING SYSTEM 审中-公开
标题翻译：喷射系统
公开(公告)号：WO2009027905A2
公开(公告)日：2009-03-05
申请号：PCT/IB2008/053354
申请日：2008-08-21
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. , PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH , HENNINGER, Georg , HUNSCHE, Berno , SELL, Konrad , RUSKE, Manfred , DIEDERICH, Thomas
发明人： HENNINGER, Georg , HUNSCHE, Berno , SELL, Konrad , RUSKE, Manfred , DIEDERICH, Thomas
IPC分类号： C23C14/34 , H01J37/34
CPC分类号： H01J37/3408 , H01J37/32678
摘要： The invention relates to a device (10) for sputtering at least one selected materialonto a substrate (5) and bringing about a reaction of this material, comprising a vacuum chamber (11), in which a substrate holder (12) is arranged, at least one magnetron sputtering mechanism (15), which is arranged in a workstation close to the substrate holder (12) and which has a target of the selected material which is suitable for producing a first plasma for sputtering at least one material onto the substrate (5), as well as a secondary plasma mechanism (16) for producing a secondary plasma, which is arranged in the workstation close to the magnetron sputtering mechanism (15) and close to the substrate holder (12), the sputtering mechanism (15) and the secondary plasma mechanism (16) forming a sputtering zone and an activation zone. At least two electromagnets (1, 3) and/or radiallymagnetized toric magnets as well as at least one magnetic multipole (2), which is formed from a plurality of permanent magnets, are arranged to produce magnetic fields to include the secondary plasma. The invention also relates to a method for coating a substrate, in which firstly materialis deposited on a substrate by means of a sputtering process and the deposited materialthen reacts in a plasma, which contains the necessary reactive species, to form a compound, wherein the plasma density and the degree of ionization of the plasma are increased with the aid of magnetic fields, which are produced by at least two electromagnets (1, 3) and/or radially magnetized toric magnets as well as at least one magnetic multipole (2), which is formed from a plurality of permanent magnets.
摘要翻译：本发明涉及一种用于溅射至少一种选定材料的衬底（5）的装置（10），并引起该材料的反应，该材料包括其中布置有衬底保持器（12）的真空室（11），该真空室至少一个磁控溅射机构（15），其设置在靠近所述衬底保持器（12）的工作站中并且具有适于产生用于将至少一种材料溅射到所述衬底上的第一等离子体的所选材料的靶溅射机构（15），以及用于生产二次等离子体的次级等离子体机构（16），其布置在靠近磁控溅射机构（15）并靠近基板保持器（12）的工作站中，和次级等离子体机构（16）形成溅射区和激活区。布置有至少两个电磁体（1,3）和/或径向磁化的复曲面磁体以及由多个永久磁体形成的至少一个磁性多极（2），以产生包括二次等离子体的磁场。本发明还涉及一种用于涂覆基材的方法，其中首先通过溅射方法将材料沉积在基底上，并且沉积的材料在包含必需的反应物质的等离子体中反应以形成化合物，其中等离子体通过由至少两个电磁体（1,3）和/或径向磁化的复曲面磁体以及至少一个磁性多极（2）产生的磁场来增加等离子体的密度和离子化程度，其由多个永磁体形成。

3. 发明申请

WO2010055458A1 LAMP 审中-公开
标题翻译：灯
公开(公告)号：WO2010055458A1
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：PCT/IB2009/054972
申请日：2009-11-09
申请人： PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH , KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N. V. , SCHOENFELDER, Bernd , WESTEMEYER, Manfred , SCHOELLER, Klaus , BAEUMGES, Kirsten, G. , RUSKE, Manfred , SELL, Konrad
发明人： SCHOENFELDER, Bernd , WESTEMEYER, Manfred , SCHOELLER, Klaus , BAEUMGES, Kirsten, G. , RUSKE, Manfred , SELL, Konrad
IPC分类号： H01J61/40 , H01K1/32
CPC分类号： H01K1/32 , H01J61/40
摘要： It is provided a lamp, particularly halogen lamp, for a headlight of a motor vehicle, comprising a light source (12) for emitting mainly white light, a mainly transparent envelope (14) encapsulating the light source (12) and a filter element (22) provided at the envelope (14), wherein the filter element (22) is adapted for deflecting visible light of a predefined wavelength interval such, that mainly blue light can be provided above a bright/dark-cutoff (28). Since the deflected bluish light is above the bright/dark-cutoff(28) an oncoming driver recognizes earlier the light. At the same time the oncoming driver is not blinded by the blue light above the bright/dark-cutoff (28), since not the whole emitted light (40) but only a smaller wavelength interval is directed above the bright/dark-cutoff (28).
摘要翻译：提供一种用于机动车辆的前灯的灯，特别是卤素灯，包括用于发射白光的光源（12），封装光源（12）的主要透明的外壳（14）和过滤元件（ 22），其中所述过滤元件（22）适于偏转预定波长间隔的可见光，使得主要可以在亮/暗截止（28）之上提供蓝光。由于偏转的蓝光高于亮/暗截止（28），迎面而来的驾驶员更早地识别光。同时，即将到来的驾驶员不被明/暗截止（28）之上的蓝光蒙蔽，因为不是整个发射光（40），而是仅较小的波长间隔被指向亮/暗截止（ 28）。

4. 发明申请

WO2005097697A1 GLASS COATING 审中-公开
标题翻译：玻璃涂料
公开(公告)号：WO2005097697A1
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/EP2004/003570
申请日：2004-04-03
申请人： APPLIED FILMS GMBH & CO. KG. , KLEIDEITER, Gerd , ZMELTY, Anton , REUS, Armin , RUSKE, Manfred , GEISLER, Michael
发明人： KLEIDEITER, Gerd , ZMELTY, Anton , REUS, Armin , RUSKE, Manfred , GEISLER, Michael
IPC分类号： C03C17/34
CPC分类号： C03C17/3435 , Y10T428/2495 , Y10T428/265
摘要： The invention relates to a coating for temperable substrates, in particular of glass panes. This coating comprises for example directly on the substrate an Si 3 N 4 layer, thereon a CrN layer, thereon a Ti0 2 layer and lastly an Si 3 N 4 layer.
摘要翻译：本发明涉及一种用于可调节基材，特别是玻璃板的涂层。该涂层例如直接在衬底上包含Si 3 N 4层，其上具有CrN层，其上具有TiO 2层，最后包括Si 3 N 4层。

5. 发明申请

WO2008057105A1 SYSTEM AND METHOD FOR HIGH-ENERGY SPUTTERING USING RETURN CONDUCTORS 审中-公开
标题翻译：使用返回导体进行高能量溅射的系统和方法
公开(公告)号：WO2008057105A1
公开(公告)日：2008-05-15
申请号：PCT/US2006/045808
申请日：2006-11-30
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , STOWELL, Michael, W. , RUSKE, Manfred
发明人： STOWELL, Michael, W. , RUSKE, Manfred
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/32
CPC分类号： H01J37/34 , H01J37/32082 , H01J37/3244 , H01J37/3438
摘要： A system and method for sputtering is described. One embodiment includes a sputtering system that includes a vacuum chamber; a gas box secured to the inner surface of the vacuum chamber; a plurality of return conductors engaged with the gas box, the plurality of return conductors extending through the vacuum chamber; and a plurality of seals configured to engage corresponding ones of the plurality of return conductors, the plurality of seal configured to maintain the vacuum inside the vacuum chamber.
摘要翻译：描述了用于溅射的系统和方法。一个实施例包括一个包括真空室的溅射系统; 固定在真空室的内表面上的气箱; 与所述气箱接合的多个返回导体，所述多个返回导体延伸穿过所述真空室; 以及多个密封件，其构造成接合所述多个返回导体中的相应的一个，所述多个密封件构造成将所述真空保持在所述真空室内。

6. 发明申请

WO2007063453A2 AN ELECTRIC LAMP 审中-公开
标题翻译：电动灯
公开(公告)号：WO2007063453A2
公开(公告)日：2007-06-07
申请号：PCT/IB2006/054381
申请日：2006-11-22
申请人： PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH , KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. , KUEPPER, Lukas , DOHMEN, Hans-Alo , RUSKE, Manfred
发明人： KUEPPER, Lukas , DOHMEN, Hans-Alo , RUSKE, Manfred
IPC分类号： H01J61/40
CPC分类号： H01J61/40 , H01K1/325
摘要： The present invention relates to an electric lamp (1) for vehicle headlights with low-beam function comprising a light source (2) emitting visible light (4), a transparent envelope (3) having an exterior surface (3 ') and an interior surface (3'') enclosing said light source (2), at least one multilayer structure (7) provided on the exterior surface (3') of the envelope (3), wherein a first light (5) substantially with a bluish- white color transmits the multilayer structure (7) directly and a second light (6) substantially with a yellowish color transmits the multilayer structure (7) after being reflected at the multilayer structure (7), wherein the multilayer structure (7) being of none light absorbing materials is provided in such a way, that the color of light of a standard light source A being reflected at the multilayer structure (7) lies within a triangle in the CIE 1931 Yxy color space defined by the x, y coordinates (0.58; 0.42), (0.58; 0.30) and (0.70; 0.30) wherein the lightness Y is in the range of 2.5 ≤ Y ≤ 17.5, wherein none of the emitted visible light (4) is absorbed by the multilayer structure (7).
摘要翻译：本发明涉及一种具有近光功能的汽车前灯的电灯（1），其包括发射可见光（4）的光源（2），具有外表面（3'）和内表面（3'）的透明外壳包围所述光源（2）的表面（3“），设置在所述外壳（3）的外表面（3'）上的至少一个多层结构（7），其中基本上具有蓝色 - 白色直接透过多层结构（7），基本上呈淡黄色的第二光（6）在多层结构（7）反射后透过多层结构（7），其中多层结构（7）为无以这样的方式提供光吸收材料，即在多层结构（7）处反射的标准光源A的光的颜色位于由x，y坐标（0.58）定义的CIE 1931 Yxy色空间中的三角形内 ; 0.42），（0.58; 0.30）和（0.70; 0.30）其中光 y在2.5 = Y = 17.5的范围内，其中发射的可见光（4）都没有被多层结构（7）吸收。

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