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    • 2. 发明申请
    • 노즐 헤드, 노즐 헤드의 제조방법 및 노즐 헤드를 포함하는 액체공급장치
    • 喷嘴头,包括喷嘴头的喷嘴头和液体供应装置的制造方法
    • WO2016098984A1
    • 2016-06-23
    • PCT/KR2015/007980
    • 2015-07-30
    • 한국생산기술연구원
    • 이상호신권용강경태강희석황준영조관현강민규
    • H01L51/56H01L21/67H01L21/02
    • H01L21/02H01L21/67H01L51/56
    • 본 발명은 노즐 헤드, 노즐 헤드의 제조방법 및 노즐 헤드를 포함하는 액체공급장치에 관한 것으로, 노즐기판; 상기 노즐기판의 하면에서 아래쪽으로 돌출형성되며 노즐 홀이 상하로 관통 형성되는 노즐팁; 상기 노즐팁을 중심으로 외주 반경둘레에 형성되며 상기 노즐기판의 하면으로부터 상면을 향하여 오목하게 형성되는 회피홈; 상기 노즐팁과 이격되게 배치되어 있으며 상기 노즐기판의 상,하면을 관통형성되는 진공작용 홀; 상기 노즐기판의 하면에 오목하게 형성되어 상기 진공작용 홀과 회피홈 사이를 연통시키는 이동홈; 및 상기 노즐기판의 하면에 부착되며 상기 노즐팁에 대향하는 일부분이 관통되는 글래스를 포함하는 것을 특징으로 하므로 액체 줄기가 분사 초기부터 미세하게, 그리고 연속적으로 분사될 수 있도록 하고 노즐에서 분사되는 액체의 공급 및 차단을 자유롭게 조절할 수 있다는 이점이 있다.
    • 本发明涉及喷嘴头,喷嘴头的制造方法以及包括喷嘴头的液体供给装置,喷嘴头包括喷嘴基板; 从喷嘴基板的下表面向下突出形成的喷嘴头,并且具有垂直形成的喷嘴孔; 避开槽,其围绕喷嘴头形成在外径向周向,并且从喷嘴基板的下表面向其上表面凹入地形成; 设置成与喷嘴头间隔开的真空动作孔,并通过喷嘴基板的上表面和下表面形成; 所述移动槽凹入地形成在所述喷嘴基板的下表面上并且连通所述真空动作孔和所述回避槽之间的空间; 以及附接到喷嘴基板的下表面的玻璃,并且其与喷嘴头相对的部分被穿孔。 因此,具有能够在喷雾开始时精细地连续地喷射液体流的优点,并且可以自由地控制从喷嘴喷射的液体的供给和堵塞。