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热词
    • 1. 发明申请
    • 쿨란트 분사장치
    • 冷却液注射装置
    • WO2015064866A1
    • 2015-05-07
    • PCT/KR2014/003763
    • 2014-04-29
    • 웅진에너지 주식회사
    • 강인호이영준정재훈오대균한영식최효일김남기김동진배동우정승구이보람신용원
    • B28D7/02B28D1/08
    • B28D5/045B28D5/0076
    • 와이어 소우 장치에서 사용되는 쿨란트 분사장치가 개시된다. 본 발명은 잉곳을 웨이퍼 크기로 절단하는 와이어 소우 장치에서 이중으로 이루어진 관을 통하여 쿨란트가 분사되도록 설계되어 균일한 냉각을 실현함으로써 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 쿨란트 분사장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 쿨란트 분사장치는, 쿨란트 공급관에 연결되어 쿨란트가 내부로 공급되고 상기 쿨란트가 외부로 토출되는 토출구를 구비한 이너 파이프와, 상기 이너 파이프가 내부에 간극을 두고 설치되고 상기 토출구로부터 토출된 쿨란트가 상기 간극에 모인 다음 토출되는 노즐을 구비한 아우터 파이프를 포함한다.
    • 公开了一种用于线锯装置中的冷却剂注入装置。 冷却液喷射装置技术领域本发明涉及一种冷却液注入装置,其特征在于,将冷却剂通过双线管注入钢丝绳装置中,将铸锭切割成晶片尺寸,实现均匀冷却,提高晶片质量。 根据本发明的冷却剂注入装置包括连接到冷却剂供给管以使冷却剂供应到其中并具有形成在其中的排出孔以将冷却剂排出到外部的内管,以及内管为 在其间设置有空间,并且包括通过排出孔排出的冷却剂被收集并然后从其排出的喷嘴。