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1. 发明申请

WO2011037327A2 스캐닝 마이크로미러 审中-公开
标题翻译：扫描微镜
公开(公告)号：WO2011037327A2
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/KR2010/005749
申请日：2010-08-26
申请人： 엘지전자 주식회사 , 최동준 , 이병구 , 김태식 , 임태선
发明人： 최동준 , 이병구 , 김태식 , 임태선
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B26/105
摘要： 광원으로부터 출사된 빔을 1차원 또는 2차원의 영역에 주사하여 화상을 결상하거나 데이터를 읽어들이는 스캐닝 마이크로미러에 관한 것으로, 오픈영역을 갖는 기판과, 오픈영역에 위치하는 미러판과, 기판과 미러판 사이의 오픈영역에 위치하여 오픈영역의 X축을 따라, 미러판 방향으로 굴곡되는 제 1 굴곡부를 갖는 제 1 짐벌(gimbal)과, 제 1 짐벌과 미러판 사이의 오픈영역에 위치하여 제 1 짐벌의 제 1 굴곡부를 따라 형성되는 제 2 굴곡부를 갖는 제 2 짐벌과, 기판과 제 1 짐벌의 제 1 굴곡부를 연결하는 제 1 탄성체와, 오픈영역의 Y축을 따라, 제 1 짐벌과 제 2 짐벌 사이를 연결하는 제 2 탄성체와, 오픈영역의 Y축을 따라, 제 2 짐벌과 미러판을 연결하는 제 3 탄성체를 포함하여 구성될 수 있다.
摘要翻译：
涉及从光源到一维或二维的出射光束的扫描微镜扫描区域上形成图像，或从中读取，具有开放区域和开放区域的基板的数据位于该位置的镜板和所述基板和所述镜板沿着开口面积，所述第一万向节（万向）具有第一弯曲部，其在镜板的方向弯曲的轴线X之间的开放区域，所述第一万向节和镜板之间在开放区域中的位置沿着所述第一弹性体和所述开口区域和具有沿着所述第一万向节的一第一弯曲形成的第二弯曲部的第二万向节的轴线Y上的第一，连接所述基板的所述第一弯曲部和第一万向节第二弹性体连接在第一万向接头和第二万向接头之间，第三弹性体沿着开口区域的Y轴连接第二万向接头和镜面板。

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