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    • 2. 发明申请
    • 감광성 수지 조성물, 그로부터 형성된 경화막, 및 경화막을 갖는 소자
    • 感光性树脂组合物,由其形成的固化膜,具有固化膜的装置
    • WO2017073935A1
    • 2017-05-04
    • PCT/KR2016/011429
    • 2016-10-12
    • 삼성에스디아이 주식회사
    • 백택진김우한김태수김하늘박종희백윤희송규석
    • G03F7/022G03F7/075G03F7/039
    • G03F7/022G03F7/039G03F7/075
    • (Α) 하기 화학식 1로 표시되는 실록산 화합물; (B) 퀴논디아지드 화합물, 및 (C) 용제를 포함하는 감광성 수자조성물로서, 상기 화학식 1로 표시되는 실록산 화합물은 하기 (i) 및 (ii) 의 실록산 화합물 중 하나 이상과, 하기 (iii)의 실록산 화합물의 흔합물을 포함하는 감광성 수지 조성물: [화학식 1] (R 1 R 2 R 3 SiO 1/2 ) M (R 4 R 5 SiO 2/2 ) D (R 6 SiO 3/2 ) T1 (O 3/2 Si-Y-SiO 3/2 ) T2 (Si0 4/2 ) Q (상기 화학식 1에서, R 1 내지 R 6 , Y, M, D, T1, T2, 및 Q에 대한 정의는 발명의 상세한 설명에 기재된 것과 같다.) (i) 겔투과크로마토그래피 (GPC: Gel Permeation Chromatography)에 의해 측정한 폴리스티렌 표준시료 환산 중량평균분자량 3,000 g/mole 이하이고 프리베이크 후 막의 2.38 중량% TMAH 수용액에 대한 용해 속도가 1,500 Å/초 이상인 실록산 화합물; (ii) 겔투과크로마토그래피에 의해 측정한 폴리스티렌 표준시료 환산 중량평균분자량은 3,000 g/mole 이상 6,000 g/mole 이하이고 프리베이크 후 막의 2.38 중량% TMAH 수용액에 대한 용해 속도가 200 Å/초 이상 1,500 Å/초 이하인 실록산 화합물; 및 (iii) 겔투과크로마토그래피에 의해 측정한 폴리스티렌 표준시료 환산 중량평균분자량은 6,000 g/mole 이상이고 프리베이크 후 막의 5.0 중량% TMAH 수용액에 대한 용해 속도가 200 Å/초 이상 3,000 Å/초 이하인 실록산 화합물.
    • (A)由下式(1)表示的硅氧烷化合物; (B)重氮醌化合物,以及(C)一种感光性Souza的组合物,包括溶剂,一种或多种硅氧烷化合物(i)和(ii)由式(1)和,(ⅲ)的硅氧烷化合物 R 2 R 3 3 SiO 1/2 / 2)M 4 Y 3 3/2 Si-Y-Si (Si0 / 4/2)QQ其中R