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    • 3. 发明申请
    • トリクロロシラン製造装置
    • 生产三氯硅烷的装置
    • WO2010103632A1
    • 2010-09-16
    • PCT/JP2009/054665
    • 2009-03-11
    • 電気化学工業株式会社松尾 靖史竹村 晃一松倉 誠和久田 裕介
    • 松尾 靖史竹村 晃一松倉 誠和久田 裕介
    • C01B33/107
    • C01B33/1071B01J19/24B01J2219/00108B01J2219/00123B01J2219/0236B01J2219/0272C01B33/10757
    • 本発明は、トリクロロシラン製造装置に関し、テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスからトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスを生成する略円筒状の反応容器と、反応容器を加熱するヒータと、反応容器およびヒータを収容し反応容器とは反応容器底部のみで接触する外筒容器とを備える反応炉と、反応生成ガスを冷却する急冷塔と、反応炉と急冷塔との間を連結する連結筒と、反応容器の外周面に略垂直に接続され連結筒内部を通って急冷塔に至るように配され反応生成ガスを反応炉から急冷塔に導出する抜出管と、連結筒内部において抜出管を覆うように略同軸に配され、一端が連結筒の内周に接合され、他端が抜出管の外周に接合されたベローズ管とを備える。
    • 本发明公开了一种三氯硅烷的制造装置,其特征在于,具备:反应器,该反应器具有通常为圆筒状的反应室,由含有四氯硅烷和氢的原料气体制造含有三氯硅烷和氯化氢的反应产物气体, 以及容纳反应室和加热器并且仅在反应室底部与反应室接触的外圆筒形壳体; 用于冷却反应产物气体的淬火塔; 用于连接反应器和淬火塔的连接圆筒; 通常垂直地连接到反应室的外周表面的抽出管,并且布置成通过连接筒的内部到达淬火塔,用于将反应产物气体从反应器引导到淬火塔; 以及在连接筒内与抽出管大致同轴配置的波纹管,以覆盖抽出管,同时其一端与连接筒的内周面接合,另一端与提取物的外周面接合 管。
    • 5. 发明申请
    • 反応炉
    • 反应堆
    • WO2010113265A1
    • 2010-10-07
    • PCT/JP2009/056674
    • 2009-03-31
    • 電気化学工業株式会社松尾 靖史竹村 晃一和久田 裕介
    • 松尾 靖史竹村 晃一和久田 裕介
    • B01J12/00C01B33/107
    • B01J12/005B01J19/24B01J2219/00135C01B33/1071H05B3/42
    •  本発明は、内部温度をより均一に保つことができる、特にテトラクロロシランと水素とを反応させてトリクロロシランに転換するための反応炉に関する。原料ガスを高温で反応させて反応生成ガスを生成する反応容器と、有底の略円筒状の本体およびこの本体の上端開口部に被着される天蓋を有し反応容器を内部に収容する外筒容器と、外筒容器の天蓋から外筒容器の本体と反応容器との間の空間を外筒容器の底部に向かって延び、長手方向に垂直な断面の面積が外筒容器の底部側ほど小さくなる断面積勾配を備えた長尺の抵抗発熱体を備えるヒータとを有する。
    • 公开了一种特别用于通过与氢反应将四氯硅烷转化为三氯硅烷的反应器,其中可以更均匀地保持内部温度。 反应器包括用于通过在高温下使原料气体反应生成反应产物气体的反应室; 用于容纳反应室的外圆柱形壳体,其具有大致圆柱形的有底主体和顶盖,以装配到主体的上开口; 以及加热器,其包括长外部圆柱形壳体的顶盖通过外圆柱形壳体的主体和反应室之间的空间从外圆筒形壳体的底部延伸的长电阻加热体。 长电阻加热体具有这样的横截面梯度,使得与纵向方向垂直的横截面越小越接近外圆柱形壳体的底部。