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1. 发明申请

WO2008149940A1 分光モジュール审中-公开
标题翻译：光谱模块
公开(公告)号：WO2008149940A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060378
申请日：2008-06-05
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 鈴木智史 , 柴山勝己 , 能野隆文 , 伊藤将師 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
发明人：鈴木智史 , 柴山勝己 , 能野隆文 , 伊藤将師 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/04
摘要：　分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光検出素子４における本体部２側の後面４ａには、光通過孔４２の光出射開口４２ｂを囲むように溜部４３が形成されている。
摘要翻译：分光模块（1）包括用于传输光（L1，L2）的主体部分（2），用于分散从前表面（2a）进入主体部分（2）的光（L1）的分光部分（3）），并且将分散的光反射到前面（2a）;光检测元件（4），具有光检测部（41），用于检测被分光部分分散和反射的光（L2）（3），并且通过面朝下接合与主体部分（2）的前表面（2a）上形成的布线（9）电连接;以及填充到主体部分（2）上的部分中的底部填充材料（12）光检测元件（4）的一侧，用于传输光（L1，L2）。光检测元件（4）具有通过分光部（3）的光（L1）通过的通光孔（42），在该光检测元件（4）的背面（4a）上形成有聚光部所述光检测元件（4）的主体部分（2）侧围绕所述光通过孔（42）的发光开口（42b）。

2. 发明申请

WO2008149928A1 分光モジュール审中-公开
标题翻译：光谱模块
公开(公告)号：WO2008149928A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060361
申请日：2008-06-05
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 柴山勝己 , 能野隆文 , 鈴木智史 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
发明人：柴山勝己 , 能野隆文 , 鈴木智史 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
摘要：　分光モジュール１では、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔６ａ、及び光検出素子４の光検出部４ａに進行する光Ｌ２が通過する光通過孔６ｂを有する光吸収層６がパターニングによって一体成形される。そのため、光通過孔６ａと光通過孔６ｂとの相対的な位置関係にずれが生じるのを防止することができる。しかも、光吸収層６によって、迷光の発生が抑制され、また、迷光が吸収されるため、光検出素子４の光検出部４ａに迷光が入射するのを抑制することができる。従って、分光モジュール１によれば、信頼性を向上させることが可能となる。
摘要翻译：在分光模块（1）中，具有通过光通过孔（6a）的光通过孔（6a）的光吸收层（6）穿过光束（3）通过的光通过孔（6b） L2）行进到光检测元件（4）的光检测部分（4a）通过图案化一体地形成。因此，可以防止光通过孔（6a）和光通过孔（6b）之间的相对位置关系的位移发生。此外，光吸收层（6）减少杂散光的发生并吸收杂散光，从而可以防止杂散光进入光检测元件（4）的光检测部分（4a）。因此，分光模块（1）能够提高可靠性。

3. 发明申请

WO2008149948A1 分光モジュール审中-公开
标题翻译：光谱模块
公开(公告)号：WO2008149948A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060389
申请日：2008-06-05
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 柴山勝己 , テイチマンヘルムート , 能野隆文 , 鈴木智史 , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
发明人：柴山勝己 , テイチマンヘルムート , 能野隆文 , 鈴木智史 , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
摘要：　分光モジュール１は、本体部２が板状であるため、本体部２の薄型化により小型化を図ることができる。しかも、本体部２が板状であるため、例えば、ウェハプロセスを利用して分光モジュール１を製造することができる。つまり、多数の本体部２となるガラスウェハに対し、マトリックス状にレンズ部３、回折層４、反射層６及び光検出素子７を設け、当該ガラスウェハをダイシングすることで、分光モジュール１を多数製造することができる。このようにして、分光モジュール１を容易に大量生産することが可能となる。
摘要翻译：由于分光模块（1）具有板状主体部（2），所以可以通过减小主体部（2）的厚度来减小分光模块的尺寸。此外，由于主体部（2）是板状的，所以可以例如通过使用晶片工艺来制造分光模块（1）。更具体地说，通过在成为许多主体部分（2）的玻璃晶片上提供矩阵形式的透镜部分（3），衍射层（4），反射层（6）和光检测元件（7），并将玻璃晶片，可以制造许多光谱模块（1）。这使得能够容易地批量生产光谱模块（1）。

4. 发明申请

WO2008149930A1 分光モジュール审中-公开
标题翻译：光谱模块
公开(公告)号：WO2008149930A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060364
申请日：2008-06-05
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 鈴木智史 , 柴山勝己 , 飯田孝 , 能野隆文 , 伊藤将師 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
发明人：鈴木智史 , 柴山勝己 , 飯田孝 , 能野隆文 , 伊藤将師 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/14 , G01J3/02 , G01J3/0256
摘要：　分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光通過孔４２の光入射開口４２ａの一部は、光透過板１６によって覆われている。
摘要翻译：分光模块（1）包括用于传输光（L1，L2）的主体部分（2），用于分散从前表面（2a）进入主体部分（2）的光（L1）的分光部分（3）），并且将分散的光反射到前面（2a）;光检测元件（4），具有光检测部（41），用于检测由分光部分分散和反射的光（L2）（3），并且通过面朝下接合与主体部分（2）的前表面（2a）上形成的布线（9）电连接;以及填充到主体部分（2）上的部分中的底部填充材料（12）光检测元件（4）的一侧，用于传输光（L1，L2）。光检测元件（4）具有通过分光部（3）的光（L1）通过的光通过孔（42），光通过孔（42）的光入射开口（42a）的一部分，被透光板（16）覆盖。

5. 发明申请

WO2009110110A1 分光モジュール审中-公开
标题翻译：光谱模块
公开(公告)号：WO2009110110A1
公开(公告)日：2009-09-11
申请号：PCT/JP2008/060574
申请日：2008-06-10
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 柴山勝己 , 能野隆文 , 鈴木智史 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
发明人：柴山勝己 , 能野隆文 , 鈴木智史 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
摘要：　回折層８と一体的に形成された周縁部１１の平面１１ａにアライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを形成し、基板２にレンズ部７を実装する際に、これらのアライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを基板２に対して位置合わせすることによって、例えばレンズ部７の曲率半径の誤差などによらず、回折層８を光検出素子４の光検出部４ａに対して正確にアライメントする。特に、アライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを平面１１ａに形成することで、画像認識によってこのアライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを正確に位置検出し、これによって正確なアライメントを可能とする。
摘要翻译：当在与衍射层（8）整体形成的圆周部分（11）上的平面表面（11a）上形成对准标记（12a，12b，12c，12d），并且透镜部分（7）安装在基板（2）中，对准标记（12a，12b，12c，12d）与基板（2）对准。在这种方法中，衍射层（8）与光学检测器元件（4）上的光学检测器部分（4a）精确对准，而不依赖于例如透镜部分（7）等的曲率半径的误差。特别是通过在平面（11a）上形成对准标记（12a，12b，12c，12d），可以通过图像识别精确地检测对准标记（12a，12b，12c，12d）的位置，从而允许精确对准。

6. 发明申请

WO2008149941A1 分光モジュール审中-公开
标题翻译：光谱模块
公开(公告)号：WO2008149941A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060379
申请日：2008-06-05
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 鈴木智史 , 柴山勝己 , 能野隆文 , 伊藤将師 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
发明人：鈴木智史 , 柴山勝己 , 能野隆文 , 伊藤将師 , テイチマンヘルムート , ヒラルディエトマル , スタルケルウルリッチ
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/04
摘要：　分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光検出素子４における本体部２側の後面４ａには、光通過孔４２の光出射開口４２ｂを囲むように矩形環状の凸部４３が形成されている。
摘要翻译：分光模块（1）包括用于传输光（L1，L2）的主体部分（2），用于分散从前表面（2a）进入主体部分（2）的光（L1）的分光部分（3）），并且将分散的光反射到前面（2a）;光检测元件（4），具有光检测部（41），用于检测由分光部分分散和反射的光（L2）（3），并且通过面朝下接合与主体部分（2）的前表面（2a）上形成的布线（9）电连接;以及填充到主体部分（2）上的部分中的底部填充材料（12）光检测元件（4）的一侧，用于传输光（L1，L2）。光检测元件（4）具有通过分光部（3）的光（L1）通过的光通过孔（42），在背面（4a）上形成有矩形的环状部（43）所述光检测元件（4）的主体部分（2）侧围绕所述光通过孔（42）的发光开口（42b）。

7. 发明申请

WO2005103777A1 光導波路チップ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：光波导芯片及其制造方法
公开(公告)号：WO2005103777A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：PCT/JP2005/007631
申请日：2005-04-21
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 能野隆文 , 柴山勝己
发明人：能野隆文 , 柴山勝己
IPC分类号： G02B6/122
CPC分类号： G02B6/30 , G02B6/13 , G02B2006/12147 , Y10T83/04
摘要：　　この発明は、ウェハを切断する際の光導波路層の剥離を効果的に回避又は抑制するための構造を備えた光導波路チップ等に関する。当該光導波路チップは、主面を有する基板と、基板の主面上に形成された光導波路層とを備える。光導波路層は、クラッド部、クラッド部内に設けられ、クラッド部よりも高い屈折率を有するコア部を備え、その側面の少なくとも一部が主面の縁から所定距離だけ該主面の中央側に位置している。この構成は、光導波路層が、主面の縁を含む周辺領域に薄膜部分を有する構成を含む。このように光導波路層がその周辺に薄膜部分を有する場合、光導波路層は、主面の縁を含む基板側面と一致した側面と、該主面の縁から所定距離だけ離間した側面を有する。このような構成により、ウェハをチップ単位に切断する際に、切断される基板における主面の縁においてチッピングが生じても、基板上に形成された光導波路層の剥離が効果的に抑制される。
摘要翻译：一种具有用于有效地避免或抑制晶片被切断时光波导层的剥离的结构的光波导芯片，包括具有主平面的基板和形成在基板的主平面上的光波导层。光波导层还包括包层部分和安装在包层部分中的折射率高于包层部分的芯部分。光波导层的侧面的至少一部分从边缘到主平面的中心偏移规定的距离。通过这种结构，光波导层包含其周边区域中具有主平面边缘的薄膜部分的结构。像这样，当光波导层包括其周围的薄膜部分时，光波导层包括与包含主平面的边缘的基板的侧面相匹配的侧面，并且侧表面与主飞机。通过这种结构，当晶片以芯片为单位切断时，即使在主平面的边缘处要切断的基板上发生切屑，也可以有效地抑制在基板上形成的光波导层的剥离。

8. 发明申请

WO2004047178A1 裏面入射型ホトダイオードアレイ、その製造方法及び半導体装置审中-公开
标题翻译：背光照明光栅阵列，其制造方法和半导体器件
公开(公告)号：WO2004047178A1
公开(公告)日：2004-06-03
申请号：PCT/JP2003/014676
申请日：2003-11-18
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：柴山勝己 , 石田雅之 , 能野隆文
IPC分类号： H01L27/14
CPC分类号： H01L27/14603 , H01L27/1464 , H01L27/14683 , H01L31/02322 , H01L31/10
摘要：　第１導電型の半導体からなる半導体基板３を備え、当該半導体基板３における被検出光Ｌの入射面の反対面側に複数のホトダイオードが形成された裏面入射型ホトダイオードアレイ１であって、半導体基板３の反対面側には、複数の凹部４がアレイ状に配列して形成されており、複数の凹部４の底部４ａに第２導電型の半導体からなる第２導電型の半導体層５が形成されることにより、ホトダイオードがアレイ状に配列している。
摘要翻译：背面照明光电二极管阵列（1）包括由第一导电类型的半导体构成的半导体衬底（3），其中被感测的光（L）入射到半导体衬底（3）的一侧，并且多个的光电二极管形成在基板（3）的另一侧。在半导体基板（3）的另一侧，形成多个凹部（4）的阵列，由第二导电型的半导体构成的第二导电型的半导体区域（5）为形成在每个凹部（4）的底部（4a）中，从而形成光电二极管阵列。

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