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1. 发明申请

WO2005097945A1 発光体と、これを用いた電子線検出器、走査型電子顕微鏡及び質量分析装置审中-公开
标题翻译： LUMINOUS BODY，使用它的电子束检测器，扫描电子显微镜和大量分析装置
公开(公告)号：WO2005097945A1
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/JP2005/006870
申请日：2005-04-07
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 内山昌一 , 高木康文 , 新垣実 , 近藤稔 , 水野到
发明人：内山昌一 , 高木康文 , 新垣実 , 近藤稔 , 水野到
IPC分类号： C09K11/62
CPC分类号： H01J37/244 , H01J49/025 , H01J2237/2443 , H01L33/502
摘要：　応答速度が速く、且つ発光強度が高い発光体と、これを用いた電子線検出器、走査型電子顕微鏡及び質量分析装置を提供する。本発明に係る発光体１０においては、基板１２の一方の面１２ａに形成された窒化物半導体層１４が電子の入射により蛍光を発すると、少なくともこの蛍光の一部は基板１２を透過し、基板の他方の面１２ｂから蛍光を出射する。この蛍光の応答速度はμｓｅｃオーダー以下である。また、この蛍光の発光強度は、従来のＰ４７蛍光体と同程度の強度が得られている。すなわち、この発光体１０は、走査型電子顕微鏡や質量分析装置への適応に十分な応答速度及び発光強度を有している。その上、キャップ層１６が窒化物半導体層１４における発光の残存率の向上に寄与するため、この発光体１０においては、高速応答及び高発光強度だけでなく、優れた残存率も実現されている。
摘要翻译：提供了具有快速响应速度和高发光度的发光体，以及使用该发光体的电子束检测器，扫描电子显微镜和质量分析装置。在发光体（10）中，当形成在基板（12）的一个表面（12a）上的氮化物半导体层（14）通过接收电子而发射荧光时，至少一部分荧光透射基板（12）并发射来自衬底的另一表面（12b）的荧光。荧光的响应速度是小音乐或以下的顺序。此外，获得的荧光的发光水平与常规P47荧光材料相似。也就是说，发光体（10）具有足够高的响应速度和发光度。此外，由于在该发光体（10）中，覆盖层（16）有助于增加氮化物半导体层（14）中的发光剩余率，所以不仅可以实现高响应速度和发光体水平，但也是优秀的剩余比例。

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