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1. 发明申请

WO2007148640A1 基板処理システムおよび動作検証方法审中-公开
标题翻译：基板处理系统和操作验证方法
公开(公告)号：WO2007148640A1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/JP2007/062205
申请日：2007-06-18
申请人：株式会社日立国際電気 , 山口英人 , 城宝泰宏 , 松田充弘 , 小山良崇
发明人：山口英人 , 城宝泰宏 , 松田充弘 , 小山良崇
IPC分类号： H01L21/02 , G05B19/418 , G06Q50/00 , H01L21/027
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B23/0235 , G05B2219/32196 , G05B2219/45031 , H01L21/67276 , Y02P90/14 , Y02P90/18 , Y02P90/22
摘要：半導体製造装置における主コントローラの負担を大きくすること無く、かつ自動的に半導体製造装置の各種の部品の動作検証を行うことができる基板処理システムを提供するために、本発明の基板処理システムは、稼動中の半導体製造装置１の検証用データは、ネットワーク６を介して、主コントローラ５、データ収集補助コンピュータ２及びデータ収集用コンピュータ３によってオンラインで分担収集し、検証用コンピュータ４によって一括的に動作状態が検証する。
摘要翻译：一种基板处理系统，其不会增加对半导体制造装置的主控制器的负担并且用于自动验证半导体制造装置的各种部件的操作。在该基板处理系统中，由主控制器（5），数据采集辅助计算机（2）和数据采集计算机（3）以共享方式收集用于操作半导体制造装置（1）的验证数据，线路通过网络（6），并且验证计算机（4）一次验证所有操作状态。

2. 发明申请

WO2007122902A1 基板処理装置の管理方法审中-公开
标题翻译：基板处理设备管理方法
公开(公告)号：WO2007122902A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/JP2007/054866
申请日：2007-03-12
申请人：株式会社日立国際電気 , 城宝泰宏
发明人：城宝泰宏
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H05K13/00
CPC分类号： G05B19/4183 , G05B2219/13 , G05B2219/31396 , G05B2219/31457 , G05B2219/45031 , Y02P90/10
摘要：　遠隔地にいる保守担当者が基板処理装置の状態変化をリアルタイムに監視する際に、通信コストを圧縮し、管理場所の制約を緩和する。　集中管理装置により、基板処理装置から基板処理装置を構成する部品毎に所定の間隔でデータを収集し、部品毎に設定された所定のタイミングが来たら、収集した収集データと、各部品の属性情報、メンテナンス情報、及び予め設定されている各部品の状態判定情報を含む制御情報と、に基づいて各部品の状態を判定し、判定結果に基づいて収集データを間引きしたデータを加工して加工データを作成し、判定結果と加工データとを含む管理情報を端末装置に送信する。
摘要翻译：当远端的维护人员实时监控基板处理装置的状态变化时，可以降低通信成本并减轻管理场所的收缩。通过集中管理装置，从基板处理装置对构成基板处理装置的各部分以规定间隔收集数据。当为每个部分设定了预定的定时时，根据收集的数据和包括关于每个部分的属性信息和维护信息的控制信息以及关于每个部分的预设状态判断信息来判断每个部分的状态。根据判断结果，对收集到的数据进行稀疏得到的数据进行处理，生成处理后的数据。将包括判定结果和处理后的数据的管理信息发送到终端装置。

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