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    • 3. 发明申请
    • 透明導電膜の形成方法及び透明電極
    • 形成透明导电薄膜和透明电极的方法
    • WO2005059927A1
    • 2005-06-30
    • PCT/JP2004/018948
    • 2004-12-17
    • 株式会社アルバック浮島 禎之竹井 日出夫石橋 暁厚木 勉小田 正明山口 浩史
    • 浮島 禎之竹井 日出夫石橋 暁厚木 勉小田 正明山口 浩史
    • H01B13/00
    • C23C26/00G02F1/13439H05K1/092
    •    インジウム、錫、アンチモン、アルミニウム及び亜鉛から選ばれた金属の微粒子、これらの金属の2種以上の金属からなる合金の微粒子、又はこれら微粒子の混合物を含有する分散液を基材に塗布後、真空雰囲気、不活性ガス雰囲気、還元性雰囲気中で焼成し、その後、酸化性雰囲気中で焼成する。この酸化性雰囲気中での焼成後、さらに還元性雰囲気で焼成してもよい。不活性ガス雰囲気が、希ガス、二酸化炭素及び窒素から選ばれたガスの雰囲気であり、還元性雰囲気が、水素、一酸化炭素及び低級アルコールから選ばれたガスの雰囲気である。上記方法により形成された透明導電膜からなる透明電極。低温焼成で、低抵抗かつ高透過率を有する透明導電膜が形成される。
    • 在含有选自铟,锡,锑,铝和锌的金属颗粒的分散液之后,将由两种或更多种这些金属组成的合金或这种金属颗粒和金属合金颗粒的混合物的颗粒施加到基底上, 首先在真空气氛,惰性气氛或还原气氛中烧制,然后在氧化气氛中烧成。 在氧化气氛中烧成后,可以在还原气氛中进一步烧成。 惰性气体气氛是选自稀有气体,二氧化碳和氮气的气体气氛,而还原气氛是选自氢气,一氧化碳和低级醇的气体气氛。 还公开了由通过这种方法形成的透明导电膜构成的透明电极。 通过使用这种方法,可以通过低温烧制形成具有低电阻和高透射率的透明导电膜。