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1. 发明申请

WO2007046281A1 成膜材料供給装置审中-公开
标题翻译：电影成型材料供应设备
公开(公告)号：WO2007046281A1
公开(公告)日：2007-04-26
申请号：PCT/JP2006/320303
申请日：2006-10-11
申请人：株式会社アルバック , 飯島栄一 , 藤原明弘 , 増田行男
发明人：飯島栄一 , 藤原明弘 , 増田行男
IPC分类号： C23C14/24 , H01J9/02 , H01J11/02
CPC分类号： C23C14/246 , H01J9/02
摘要：　３個以上のリングハースに対しても均等に成膜材料を供給することができること。　長期間の連続運転に耐える多量の成膜材料を収容する成膜材料供給室から供給される成膜材料を成膜室内のリングハース上で蒸発させて上方を移送される基板に膜を形成させる真空蒸着装置において、前記リングハースは前記移送される基板の幅方向に３個以上並設されていて、少なくとも両端のリングハースを除く中間のリングハースには、前記成膜材料の供給量を調節可能な電磁振動フィーダにより供給することを特徴とする。
摘要翻译：本发明提供一种成膜材料供给装置，其能够将成膜材料均匀地供给到三个以上的环形炉床。成膜材料供给装置是一种真空气相沉积装置，其中从成膜材料供应室供应的成膜材料能够长时间耐受连续操作的大量成膜材料，在成膜室内的环形炉床上蒸发以在基底上形成转移到炉床上的膜。成膜材料供给装置的特征在于，三个以上的环形炉床在要被转印的基板的宽度方向上并列，并且在至少两个端部环形炉床中的中间的炉壁中，成膜材料由电磁振动给料器，其可以调节供应的成膜材料的量。

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