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    • 2. 发明申请
    • 光学素子及びその製造方法
    • 光学元件及其制造方法
    • WO2005109042A1
    • 2005-11-17
    • PCT/JP2005/008436
    • 2005-05-09
    • 松下電器産業株式会社田中 康弘梅谷 誠山口 博史吉川 智延林 克彦
    • 田中 康弘梅谷 誠山口 博史吉川 智延林 克彦
    • G02B1/11
    • G02B1/118G02B3/0018G02B3/0031G02B3/0056G02B5/1809G02F2201/38Y10T428/24405
    •  本発明の目的は、開口率の低下及びノイズの増加が改善された構造体、素子及び光学素子、並びにこれらを簡易に低コストで効率的に製造する方法を提供することである。本発明は、基材(1)上に形成された、所定形状の構造単位を有する樹脂パターン(A)(3)と、樹脂パターン(A)(3)の表面に形成され、使用光線の波長領域以下のピッチで配列した所定形状の微細構造単位を有する樹脂パターン(B)(5)とを備えた構造体、並びに基材(1)上に樹脂層(2)を形成し、該樹脂層(2)に露光現像処理を施して所定形状の構造単位を有する樹脂パターン(A)(3)を形成する工程(i)、及び樹脂パターン(A)(3)の表面に露光現像処理を施し、使用光線の波長領域以下のピッチで配列した所定形状の微細構造単位を有する樹脂パターン(B)(5)を形成する工程(ii)を順次行うことを特徴とする、構造体の製造方法に関する。
    • 提供了抑制开口率恶化和噪声增加的结构,元件和光学元件,并且提供了一种以低成本容易且有效地制造它们的方法。 该结构设置有形成在基材(1)上并具有规定形状的结构单元的树脂图案(A)(3)和树脂图案(B)(5) 树脂图案(A)(3)的表面,并且具有规定形状并且以所使用的或更低的波长范围的间距排列的精细结构单元。 在制造该结构的方法中,依次进行方法(i)和方法(ii)。 在工序(i)中,在基材(1)上形成树脂层(2),对树脂层(2)和具有结构单元的树脂图案(A)(3)进行曝光/显影处理 形成规定形状。 在工序(ii)中,对树脂图案(A)(3)的表面和具有规定形状的细微结构单元的树脂图案(B)(5)进行曝光/显影处理 以所使用的或较低的光的波长范围的间距排列。
    • 4. 发明申请
    • 反射防止構造体を有する光学素子、および反射防止構造体を有する光学素子の製造方法
    • 具有抗反射结构的光学装置及其制造方法
    • WO2005040864A1
    • 2005-05-06
    • PCT/JP2004/016147
    • 2004-10-29
    • 松下電器産業株式会社梅谷 誠清水 義之山本 義春山形 道弘田中 康弘山口 博史
    • 梅谷 誠清水 義之山本 義春山形 道弘田中 康弘山口 博史
    • G02B1/11
    • G02B5/003C03B11/082C03B11/086C03B2215/10C03B2215/17C03B2215/412C03C15/00C03C17/06Y02P40/57
    •  大面積に亘って、パターンずれの発生しない、高精度な反射防止構造体を有する光学素子を繰り返し成形することのできる反射防止構造体を有する光学素子の製造方法を提供する。石英ガラス基板の表面に、直径0.15μmの円柱状のCrマスクをピッチ0.15μmで形成する。円柱状のCrマスクが形成された石英ガラス基板を、RFドライエッチング装置の中に入れ、CHF 3 +O 2  ガスを用いて、石英ガラス基板の表面をエッチングし、石英ガラス基板の表面に、ピッチ0.15μm、高さ0.15μmの円錐形状の反射防止構造体を形成する。円錐形状の反射防止構造体が形成された石英ガラス基板の表面(プレス面)に、表面保護のためのIr−Rh合金膜を0.05μmの厚みで形成し、反射防止構造体成形用型を作製する。反射防止構造体成形用型を用いて、離型のための炭素(C)の微粒子を含む離型剤が塗布された光学材料(クラウン系の硼珪酸ガラス)をプレス成形し、冷却せずに反射防止構造体成形用型をプレス成形した光学材料から離型させる。プレス成形した光学材料を冷却した後、離型剤を除去する。
    • 可以重复形成具有抗反射结构的光学器件的制造方法,其中可以重复地形成具有在宽范围内没有图案偏离的高精度抗反射结构的光学器件。 在石英玻璃基板的表面上设置0.15μm直径的柱状Cr掩模,间距为0.15μm。 将设置有柱状Cr掩模的石英玻璃基板放置在RF干式蚀刻装置中,用CHF 3 + O 2气体蚀刻石英玻璃基板的表面,由此在其上形成0.15μm间距0.15μm高度的锥形抗反射结构 石英玻璃基板表面。 设置有石英玻璃基板的圆锥形抗反射结构(压制表面)的表面设置有用于表面保护的0.05μm厚的Ir-Rh合金膜,从而获得用于抗反射结构形成的模具。 使用包含用于脱模的碳(C)微粒的脱模剂涂覆的光学材料(冠状硼硅酸盐玻璃)通过使用用于抗反射结构形成的模具进行压制成型,并且在不冷却的情况下,将用于抗反射结构形成的模具从 压模光学材料。 将压制成型的光学材料冷却,并从中去除脱模剂。
    • 6. 发明申请
    • 光学部材
    • 光学会员
    • WO2007142186A1
    • 2007-12-13
    • PCT/JP2007/061283
    • 2007-06-04
    • 松下電器産業株式会社山田 和宏田中 康弘山形 道弘林 克彦石丸 和彦吉川 智延
    • 山田 和宏田中 康弘山形 道弘林 克彦石丸 和彦吉川 智延
    • G02B1/11G02B5/02
    • G02B1/118G02B3/02G02B3/08
    •  本発明は、光学部材に関し、特に、反射防止凹凸構造が形成された少なくともひとつの面を有する光学部材に関する。  回折光の発生及び反射が十分に抑制されており、且つ製造容易な構造を有する光学部材を提供する。  レンズ1の第1レンズ面(10)には錐体状凸部(12)が規則的に複数配列されてなる反射防止凹凸構造(11)が形成されている。反射防止凹凸構造(11)は錐体状凸部(12)の周期以上の波長の光の反射を抑制するものである。反射防止凹凸構造(11)は、第1レンズ面(10)内において、錐体状凸部(12)の周期及び/又は高さが相互に異なる領域が存在するように構成されている。
    • 本发明涉及一种光学构件,特别是具有至少一个表面的光学构件,因此形成防反射不均匀结构。 提供一种具有容易制造的结构的光学部件,其充分抑制衍射光的产生和反射。 在透镜(1)的第一透镜表面(10)上形成有多个锥形突出部(12)规则排列的反射防止不均匀结构(11)。 防反射不均匀结构(11)抑制具有与锥形突出部(12)的间距相当的波长的光的反射或更长。 反射防止不均匀结构(11)被构造为使得锥形突出部分(12)的间距和/或高度交替变化的区域存在于第一透镜表面(10)内。