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1. 发明申请

WO2003036700A1 マイクロ波プラズマ処理装置、マイクロ波プラズマ処理方法及びマイクロ波給電装置审中-公开
标题翻译：用于微波等离子体处理的装置和方法以及微波电源装置
公开(公告)号：WO2003036700A1
公开(公告)日：2003-05-01
申请号：PCT/JP2002/010847
申请日：2002-10-18
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 後藤尚久 , 大見忠弘 , 平山昌樹 , 後藤哲也
发明人：後藤尚久 , 大見忠弘 , 平山昌樹 , 後藤哲也
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32229 , H01J37/32192
摘要： A microwave plasma processing device, comprising a processing container (12), a microwave generator (24), a wave guide tube (22) for guiding microwave from the microwave generator (24), and a microwave radiating member (19) for radiating the microwave having a wave length shortened by a wave−slowing plate (18) into a space inside the processing container, the wave guide tube (22) further comprising a single microwave output opening (22a) located at the position thereof corresponding to the center portion of the microwave radiating member (19).
摘要翻译：一种微波等离子体处理装置，包括处理容器（12），微波发生器（24），用于引导来自微波发生器（24）的微波的波导管（22），以及微波辐射构件（19）具有由波浪减速板（18）缩短为波长的波长的微波加工成处理容器内的空间，波导管（22）还包括位于其对应于中心部分的位置的单个微波输出开口（22a）的微波辐射构件（19）。

2. 发明申请

WO2006009281A1 プラズマ処理装置および方法、並びにフラットパネルディスプレイ装置の製造方法审中-公开
标题翻译：等离子体处理装置和方法以及平板显示装置的制造方法
公开(公告)号：WO2006009281A1
公开(公告)日：2006-01-26
申请号：PCT/JP2005/013587
申请日：2005-07-25
申请人：国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 後藤尚久 , 大見忠弘 , 後藤哲也 , 森本保
发明人：後藤尚久 , 大見忠弘 , 後藤哲也 , 森本保
IPC分类号： H05H1/46 , C23C16/511
CPC分类号： H01J37/32192 , H01J37/3222 , H05H1/46
摘要：　分配器（３０）は、導波管スロットアンテナ（１０Ａ～１０Ｈ）の幅方向（Ｄ２）に延びる給電用導波管と、導波管スロットアンテナ（１０Ａ～１０Ｈ）の放射用導波管と給電用導波管とを連通する給電用導波管の壁面に形成された開口（１２）とを有する。この分配器では、導波管スロットアンテナの放射用導波管の幅の総和と同じ長さの給電用導波管を用いればよいので、アンテナアレーを構成する導波管スロットアンテナの数を増やして開口面積を大きくしても、装置構成が複雑化かつ大型化することはない。
摘要翻译：分配器（30）包括在波导缝隙天线（10A至10H）的宽度方向（D2）延伸的电源波导和形成在电源波导的壁中的开口（12），其将波导槽的照射波导天线（10A至10H）与电源波导。在该分配器中，可以使用长度与波导缝隙天线的照射波导的宽度的总和相同的电源波导。因此，即使当构成天线阵列的波导缝隙天线的数量增加并且开口面积增加时，器件配置也不会复杂或增加。

3. 发明申请

WO2005088763A1 分配器および方法、プラズマ処理装置および方法、並びに、ＬＣＤの製造方法审中-公开
标题翻译：分布和分配方法，等离子体处理系统和方法以及制造液晶的方法
公开(公告)号：WO2005088763A1
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：PCT/JP2004/003086
申请日：2004-03-10
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 後藤尚久 , 久我宣裕 , 廣江昭彦
发明人：大見忠弘 , 後藤尚久 , 久我宣裕 , 廣江昭彦
IPC分类号： H01P5/12
CPC分类号： H01J37/32229 , H01J37/32192
摘要：分配器（３０）は、マイクロ波発振器（２０）に接続される方形導波管（３１）と、狭壁（４１Ｂ）に開口（４３）が複数形成された方形導波管（４１）とを有している。方形導波管（３１）の管内は中空であり、方形導波管（４１）の管内には、比誘電率εｒの遅波材（５３）が配置されている。これら２つの方形導波管（３１，４１）の狭壁（３１Ａ，４１Ａ）を接触させ、その狭壁（３１Ａ，４１Ａ）に両導波管（３１，４１）を連通させる連通孔（３２）を形成する。これにより、たとえ連通孔（３２）の幅を狭くしても、両導波管（３１，４１）の接続部において管幅は狭くならないので、接続部を通過可能な周波数帯域の狭帯域化が抑制される。その結果、分配器（３０）に入力される電磁波の周波数が変動したときに生じる反射損失が小さくなる。
摘要翻译：包括与微波振荡器（20）连接的方波导（31）的分配器（30）和具有制成在窄壁（41B）中的多个开口的方波导41。方波导（31）是中空的，并且具有介电常数εr的波延迟构件（53）设置在方波导（41）中。触摸这两个方波导（31,41）的窄壁（31A，41A），并通过窄壁（31A，41A）形成用于互连两个波导（31,41）的孔（32）。由于即使互连孔（32）较窄，波纹管（31,41）的宽度也不会变窄，因此能够防止能够通过接头的频带变窄。因此，当进入分配器（30）的电磁波的频率变化时，反射损失减小。

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