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    • 5. 发明申请
    • 光導波路の製造方法
    • 制造光指导的方法
    • WO2008035658A1
    • 2008-03-27
    • PCT/JP2007/068049
    • 2007-09-18
    • 日立化成工業株式会社山口 正利柴田 智章牧野 竜也落合 雅美高崎 俊彦高橋 敦之
    • 山口 正利柴田 智章牧野 竜也落合 雅美高崎 俊彦高橋 敦之
    • G02B6/13
    • G02B6/1221G02B6/138
    •  基材上に形成されたクラッド層形成用樹脂を硬化して下部クラッド層を形成する工程、該下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを積層してコア層を形成する工程、該コア層を露光現像してコアパターンを形成する工程、および該コアパターンを埋め込むように形成されたクラッド層形成用樹脂を硬化して、上部クラッド層を形成する工程を有する光導波路の製造方法であって、該コア層を形成する工程が、(1)ロールラミネータを用いて、下部クラッド層上にコア層形成用樹脂フィルムを仮貼りする工程と、(2)該仮貼りされたコア層形成用樹脂フィルムを減圧雰囲気下で加熱圧着する工程とを有することを特徴とする光導波路の製造方法である。均一なコアを有する光導波路を生産性良く製造する方法を提供することができる。
    • 一种制造导光体的方法,包括使叠层在基材上的包覆层形成树脂硬化从而形成下包层的步骤; 将核心层形成树脂膜叠加在下敷层上,从而形成芯层; 对芯层进行曝光/显影,从而形成芯图案; 并且硬化设置成埋入所述芯图案的覆层形成树脂,从而形成上覆层,其特征在于,所述芯层形成步骤包括以下操作:(1)将所述芯层形成树脂膜暂时地附接到所述下包层 (2)在真空气氛中进行临时附着的芯层形成用树脂膜的热压接合。 因此,可以提供以高生产率制造具有均匀芯的光导的方法。