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    • 1. 发明申请
    • 有機EL素子の製造方法
    • 生产有机EL元件的方法
    • WO2009122885A1
    • 2009-10-08
    • PCT/JP2009/054945
    • 2009-03-13
    • 富士電機ホールディングス株式会社牧野 亮平
    • 牧野 亮平
    • H05B33/10H01L51/50H05B33/24
    • H01L51/5265H05B33/10H05B33/24
    •  本発明の有機EL素子の製造方法は、基板上に、第1電極、有機EL層、および第2電極をこの順に含む有機EL発光部を形成する第(1)工程と、ハーフミラーおよび透明層からなる半透過性積層体を形成する第(2)工程とを含み、第(2)工程が、(i)金属材料を堆積させて、金属層を形成する段階、および(ii)該金属層をドライプロセスで酸化して、金属酸化物からなる透明層と、金属からなるハーフミラーとを形成する段階を含む。本発明によれば、金属層をドライプロセスで酸化することで、極薄状かつ連続的な膜として、ハーフミラーを好適に形成することができる。このため、有機EL発光層を挟んで反対側の面に形成される反射電極との間で、高度なマイクロキャビティー共振効果を発現することで、所望の光の増強効果等が得られ、ひいては高精細かつ視認性に優れる有機EL素子を得ることができる。
    • 本发明公开了一种有机EL元件的制造方法,其特征在于,包括:在基板上依次形成包括第一电极,有机EL层和第二电极的有机EL发光部的第一工序,形成半透明性的第二工序 层叠体由半透明反射镜和透明层形成。 第二步包括:(i)沉积金属材料以形成金属层的阶段,以及(ii)通过干法处理金属层的阶段,以形成由金属氧化物和半反射镜形成的透明层 的金属。 根据上述结构,通过干法对金属层的氧化可以实现作为非常薄且连续的膜形成良好的半反射镜。 这导致在半反射镜和形成在与半反射镜相对的一侧的有机EL发光层的表面上形成的反射电极之间的高水平的微腔谐振效应的发展,从而例如期望的光增强效果 并且可以提供可以实现高清晰度和优异的可视性的有机EL元件。