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    • 2. 发明申请
    • インゴット切断装置および切断方法
    • 切割设备和切割方法
    • WO2009087723A1
    • 2009-07-16
    • PCT/JP2008/003828
    • 2008-12-18
    • 信越半導体株式会社西野英彦角田繁春
    • 西野英彦角田繁春
    • B28D7/04B28D5/04H01L21/304B24B27/06C30B35/00
    • B28D5/045B24B27/06B24B27/0675B28D5/0082
    •  本発明は、インゴット切断装置において、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する前記切断テーブルの隙間の位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのインゴット支えパッドと、前記インゴット支えパッドを下方から上昇させて前記インゴットに密着させるためのパッド上昇機構とを有するものであることを特徴とするインゴット切断装置である。これにより、切断テーブルの隙間部分の段差に影響を受けず、インゴットの切り終わり部分の欠けを防止することで、前記切断テーブルの調整のためのメンテナンスをなくし、製品歩留りを向上させることができるインゴット切断装置およびそれを用いた切断方法が提供される。  
    • 公开了一种锭切割装置,其特征在于至少包括锭支撑垫,用于在切割台的间隙的位置处从下方支撑锭的切割结束部分,用于用刀片切割锭,以及垫提升机构, 将铸锭支撑垫从下方提升为与锭紧密接触。 因此,在不受切割台的间隙部分的影响的情况下,锭切割装置防止锭的切割部分破裂,从而能够提高生产成品率,同时省去了调整 切割台。 还公开了使用锭切割装置的切割方法。
    • 3. 发明申请
    • バンドソー切断装置および切断方法
    • 带锯切割装置和切割方法
    • WO2009081524A1
    • 2009-07-02
    • PCT/JP2008/003543
    • 2008-12-01
    • 信越半導体株式会社西野英彦角田繁春
    • 西野英彦角田繁春
    • B28D5/04B24B27/06B26D1/54H01L21/304
    • B28D5/045B23D55/005B28D5/0076
    •  本発明は、ブレード砥粒部とブレード台金で構成されるエンドレスベルト状のブレードがプーリー間に張設され、前記ブレードに対しクーラントを噴出するクーラント噴出し口を有した一対の静圧パッドが前記プーリー間に前記ブレードを通過させるように所定の間隔を開けて対向して設置され、前記プーリーの回転により周回駆動される前記ブレードによりインゴットを切断するバンドソー切断装置であって、前記静圧パッドのクーラント噴出し口の位置は前記ブレードのブレード砥粒部側に偏倚されて配設されているものであることを特徴とするバンドソー切断装置である。これにより、切断中のブレード台金の全体の振動を安定的に抑えることによって、パッドの交換頻度を少なくすることができ、また、インゴットの切断中に突発的に発生するインゴットの切断面の粗さ不良を減少させることができるバンドソー切断装置および切断方法が提供される。
    • 公开了一种带锯切割装置,其中由叶片磨粒部分和叶片基部构成的环形带叶片在滑轮之间张紧,并且其中一对具有用于将冷却剂注入的冷却剂注入口的静压垫 叶片以这样的预定间隔设置在滑轮之间以使叶片通过,从而通过由滑轮的旋转沿周向驱动的叶片切割锭,以及用于带锯切割装置的切割方法。 该装置的特征在于,静压垫的冷却剂注入口的位置偏移到叶片的刀片磨粒部分的侧面。 结果,可以稳定地抑制切割操作期间的叶片基座的整个振动,从而降低用于更换垫的频率,并且减少在锭被切割时突然发生的粗晶锭面的缺陷。