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1. 发明申请

WO2007010851A1 真空システム及びその運転方法审中-公开
标题翻译：真空系统及其操作方法
公开(公告)号：WO2007010851A1
公开(公告)日：2007-01-25
申请号：PCT/JP2006/314056
申请日：2006-07-14
申请人：ナブテスコ株式会社 , 日本エー・エス・エム株式会社 , 田中裕之 , 安藤清
发明人：田中裕之 , 安藤清
IPC分类号： F04B37/16
CPC分类号： F04D19/046 , F04B37/14 , F04D27/00
摘要：　真空容器内で所定の処理を実行させる際に真空ポンプの回転数を適切なものにでき、省エネルギーに貢献できる真空システムを提供するため、半導体製造システム（１０）の真空ポンプ制御装置（３３）は、ガスフローモードと、プロセスチャンバ（２１）内をガスフローモードで要求される真空圧とした状態で、ＡＰＣ弁（２２）を全作動量よりも所定量少ない範囲とした目標値となるよう真空ポンプユニット（３０）の回転数を決定させるオートチューニングモードとを備え、オートチューニングモードの際に、プロセスチャンバ（２１）内をガスフローモードで要求される真空圧とした状態で真空ポンプユニット（３０）の回転数を定格回転から低減させて、ＡＰＣ弁（２２）の作動量が目標値に達したか否かを判断する手段と、達したとの判断でその際の真空ポンプユニット（３０）の回転数をガスフローモードにおける回転数として記憶する手段を有する。
摘要翻译：提供了一种真空系统，其中可以在真空室中执行规定的处理时适当地调节真空泵的转速以有助于节能。半导体制造系统（10）中的真空泵控制器（33）具有气流模式和自动调谐模式。在自动调谐模式中，确定真空泵单元（30）的旋转速度，使得APC阀（22）的操作量处于小于全操作量的范围内的目标值处理室（21）的内部处于气体流动模式所需的真空状态。真空泵控制器设置有通过将真空泵单元（30）的转速从额定转速降低到状态来判断APC阀（22）的运转量是否达到目标值的装置其中处理室（21）的内部处于气体流动模式中所需的真空中，用于在自动调谐模式下操作; 以及当判断操作量达到目标值时，用于将真空泵单元（30）的转速存储为气体流动模式中的转速的装置。

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