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1. 发明申请

WO2008111335A1 真空ポンプ防振構造とその構造を備えた真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵和真空泵结构的振动验证结构
公开(公告)号：WO2008111335A1
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：PCT/JP2008/051493
申请日：2008-01-31
申请人：エドワーズ株式会社 , 深美英夫 , 坂口祐幸 , 江野沢秀樹
发明人：深美英夫 , 坂口祐幸 , 江野沢秀樹
IPC分类号： F16F15/04 , F04B37/16 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04 , F04D19/042 , F04D29/601 , F04D29/668 , F16F15/04
摘要：【課題】真空ポンプの運転に伴う真空装置の微振動の低減を図るのに好適な真空ポンプ防振構造を提供する。【解決手段】メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、メカニカルダンパＤは、大気と真空の境界を維持する筒状のベローズ２と、ベローズ２の両端に取り付けたフランジ部３Ａ、３Ｂと、その両端のフランジ部間に介在させた筒状の振動減衰部材４とを備え、一方のフランジ部３ＡがチャンバＣに接続し、他方のフランジ部３Ｂが真空ポンプＰの吸気口部ＰＳに接続されるものとする。そして、フランジ部３Ｂと振動減衰部材４との間には低摩擦部材５を介在させ、この低摩擦部材５を介してフランジ部３Ｂと振動減衰部材４とが振動のエネルギーによって相対的に真空ポンプ径方向にずれる自由度を備えるものとする。
摘要翻译： [问题]真空泵的防振结构，该结构适于减少由真空泵的操作引起的真空装置的微振动。解决问题的手段真空泵（P）的防振结构经由机械阻尼器（D）与真空装置（M）的室（C）连接。机械阻尼器（D）具有用于保持大气和真空之间的边界的管状波纹管（2），固定在波纹管（2）两端的凸缘部分（3A，3B）和管状振动阻尼件（4）放置在两端的凸缘部分之间。一个凸缘部分（3A）连接到腔室（C），另一个凸缘部分（3B）连接到真空泵（P）的吸气口（PS）。低摩擦构件（5）被放置在凸缘部分（3B）和减振构件（4）之间。防振结构具有凸缘部（3B）和减振部件（4）在真空泵的径向方向上通过振动能相对位移的位移自由度。

2. 发明申请

WO2009011042A1 防振ダンパ审中-公开
标题翻译：振动阻尼器
公开(公告)号：WO2009011042A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/JP2007/064154
申请日：2007-07-18
申请人：エドワーズ株式会社 , 深美英夫 , 坂口祐幸 , 江野沢秀樹
发明人：深美英夫 , 坂口祐幸 , 江野沢秀樹
IPC分类号： F16F15/04
CPC分类号： F16F15/085 , F04C2270/12
摘要：　真空ポンプの揺れを適切に抑制することを目的とする。　防振ダンパ４０は、ターボ分子ポンプ１で発生した振動を吸収する目的だけでなく、真空容器５０で発生した振動によるターボ分子ポンプ１への影響を低減させる。防振ダンパ４０は、フランジ４１、４２、弾性部材４３、ベローズ４４、金属カラー４５を備えている。弾性部材４３は、ゴム製の円筒部材であり、振動を減衰させる機能を有すると共に、真空引きの力に耐え得る十分な強度を備えている。ベローズ４４は、ステンレス鋼などによって形成された、ひだ状の連続断面を有する肉薄の管であり真空と大気の境界を形成する。金属カラー４５は、ステンレス鋼で形成された円筒状の部材であり、ベローズ４４と弾性部材４３との間に挿入されている。金属カラー４５は、ベローズ４４や弾性部材４３のラジアル方向への変形を抑制するための変形抑制手段として機能する。
摘要翻译：适当地抑制真空泵的摇摆。防振阻尼器（40）不仅用于吸收由涡轮分子泵（1）产生的振动，而且通过在真空容器（50）中产生的振动来减小对涡轮分子泵（1）的影响。防振阻尼器（40）包括凸缘（41,42），弹性构件（43），波纹管（44）和金属套环（45）。弹性构件（43）是橡胶的圆柱形构件，不仅具有减震功能，而且具有足以承受任何真空拉拔力的强度。波纹管（44）是一种细管，折叠的连续横截面为不锈钢等，并构成真空和大气之间的边界。金属环（45）是不锈钢的圆柱形构件，并且插入在波纹管（44）和弹性构件（43）之间。金属轴环（45）用作抑制波纹管（44）和弹性部件（43）的径向方向上的任何变形的变形抑制装置。

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