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1. 发明申请

WO2004057291A1 DIFFERENZDRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：差压传感器
公开(公告)号：WO2004057291A1
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/EP2003/013891
申请日：2003-12-08
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG , BURCZYK, Dietfried , SCHWABE, Friedrich , VELTEN, Thomas , GESSNER, Thomas , HILLER, Karla , ZICHNER, Norbert , KURTH, Steffen , WIEMER, Maik
发明人： BURCZYK, Dietfried , SCHWABE, Friedrich , VELTEN, Thomas , GESSNER, Thomas , HILLER, Karla , ZICHNER, Norbert , KURTH, Steffen , WIEMER, Maik
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L13/025 , G01L9/0072
摘要： Es ist ein hochgenauen langzeitstabilen Differenzdruck-sensor vorgesehen, mit einer zwischen einem ersten und einem zweiten Grundkörper (3, 5) angeordneten druck-empfindlichen elektrisch leitfähigen Membran (1), auf deren erste Seite im Betrieb ein durch eine Bohrung (13) im ersten Grundkörper (3) hindurch zugeführter erster Druck (p1) einwirkt und auf deren zweite Seite im Betrieb ein durch eine Bohrung (13) im zweiten Grundkörper (5) hindurch zugeführter zweiter Druck (p2) einwirkt, bei dem der erste und der zweite Grundkörper (3, 5) jeweils eine membran-zugewandte und eine membran-abgewandte elektrisch leitfähige Ebene (7, 9) aufweisen, die durch eine Isolationsschicht (11) voneinander getrennt sind, bei dem in den membran-zugewandten Ebenen (7) mindestens ein bis zur Isolationsschicht (11) führender Graben (14, 16, 33) vorgesehen ist, der einen als Elektrode (17, 35) dienenden innenliegenden von der Membran (1) beabstandeten Teil der jeweiligen membran-zugewandten Ebene (7) elektrisch von einem äußeren Teil (15) der membran-zugewandten Ebene (7) und der damit verbundenen Membran (1) isoliert, bei dem die Elektroden (17, 35) gegenüber der membran-abgewandten Ebenen (9) des zugehörigen Grundkörpers (3, 5) elektrisch isoliert sind, und bei dem jede Elektrode (17, 35) zusammen mit der Membran (1) jeweils einen Kondensator bildet, dessen Kapazität ein Maß für einen einwirkenden Differenzdruck ist.
摘要翻译：它是提供一种高精度的长期稳定的差动压力传感器，第一和第二基体之间配置有（3，5）的压敏导电性膜（1），在第一页上在操作中，通过在所述第一孔（13）基体（3）通过其供给第一压力（P1）作用和操作过程中，其第二侧，通过在该第二基体的孔（13）（5）通过其供给第二压力（P2）作用，其特征在于，所述第一和第二基体（ 3，5）每一个都具有膜 - 面向且从导电层（7背向隔膜，9），其（通过绝缘层11）彼此，其中（在饰面隔膜平面7）的至少一个到所分离的设置绝缘层（11），从而导致沟槽（14，16，33）其中（a作为内部服务的膜（1）的间隔面对7位的各振动板的一部分的电极（17，35））电（由外部分（15）的膜 - 面层7）和（1）中分离的相关膜，其中，所述电极（17，35）相对于所述膜 - 远平面（9）相关联的基体（3 ，5）电绝缘，并且其中，每个电极（17，35）与所述膜片（1）一起各自形成一个电容器，其电容是所施加的差压的测量。

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