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1. 发明申请

WO2004030005A1 MICROCOMMUTATEURS A ACTUATION ELECTROSTATIQUE A FAIBLE TEMPS DE REPONSE ET A COMMUTATION DE PUISSANCE ET PROCEDE DE REALISATION ASSOCIE 审中-公开
标题翻译：静电启动低响应时间功率开关微动开关
公开(公告)号：WO2004030005A1
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/FR2003/002835
申请日：2003-09-26
申请人： THALES , ZIAEI, Afshin , DEAN, Thierry , POLIZZI, Jean-Philippe
发明人： ZIAEI, Afshin , DEAN, Thierry , POLIZZI, Jean-Philippe
IPC分类号： H01H1/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01G5/16
摘要： Le domaine de l'invention est celui des microsystèmes (encore appelé MEMS, acronyme anglo-saxon pour Micro Electro Mechanical Systems) de type microcommutateurs à actuation électrostatique utilisés en électronique pour réaliser des fonctions d'interrupteurs ou de commutateurs, notamment dans le domaine des hyperfréquences pour la téléphonie mobile et les radars. L'objet de l'invention est d'améliorer les performances du commutateur en diminuant le temps de réponse du dispositif et en augmentant les puissances radio ou hyper-fréquences supportées tout en conservant des tensions de commutation faibles. Ces performances améliorées sont obtenues en utilisant des membranes épaisses et en disposant entre ladite membrane et l'électrode associée un matériau à forte permittivité relative. Le commutateur est obtenu par un procédé de réalisation original, la membrane étant réalisée sur un substrat indépendant, puis assemblée sur le substrat de base du commutateur. Des exemples de procédé de réalisation de dispositifs selon l'invention avec les matériaux utilisables, les géométries possibles et les différentes étapes de réalisation sont donnés.
摘要翻译：本发明涉及微系统微机电系统（MEMS），即用于电子设备中的静电致动微型开关，以便执行切换功能或换向功能，特别是涉及用于移动电话和雷达的超频。本发明的目的是通过减少所述装置的响应时间以及通过增加无线电功率或承受的超频而同时保持开关电压较低来提高开关的性能。所述改进的性能通过使用厚膜和通过在膜和相关电极之间设置相对较高介电常数的材料来获得。该开关是根据原始生产方法获得的。膜以独立结构制造，然后组装在所述开关的基底基板上。本发明公开了用于生产本发明装置的方法的各种实例，即所使用的材料，其可能的几何形状和不同的生产阶段。

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