会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES GASLASERSYSTEMS
    • 一种用于操作气体激光器系统
    • WO2005032758A1
    • 2005-04-14
    • PCT/EP2004/050555
    • 2004-04-16
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTKILTHAU, AlexanderMAYER, Hans, JürgenMITZINNECK, Petra
    • KILTHAU, AlexanderMAYER, Hans, JürgenMITZINNECK, Petra
    • B23K26/38
    • B23K26/0622B23K26/382
    • Beim Betrieb eines Gaslasersystems, insbesondere mit einem CO 2 -Laser, werden jeweils vorgegebene Pulsfolgen (LPF1, LPF2, LPF3) in einer Arbeitsphase (APH1, APH2, APH3) auf einen bestimmten Bearbeitungspunkt eines Substrats gelenkt, und danach wird die Laserablenkung in einer Sprungphase (SPH1, SPH2) auf einen nächsten Arbeitspunkt verstellt. Um wegen ungleicher Abstände zwischen den Bearbeitungspunkten und entsprechend ungleich langer Sprungphasen eine unterschiedliche Abkühlung des Laserresonators und damit unterschiedliche Lochqualitäten bei dem vom Laser gebohrten Löchern zu vermeiden, wird eine Hochfrequenz-Pumpenergie (RF) auch während der Sprungphasen (SPH1, SPH2) intermittierend an den Laserresonator angelegt, so dass das Energieniveau in dem Resonator auf annähernd der gleichen Höhe gehalten wird wie während der Arbeitsphasen (APH1, APH2, APH3).
    • 在气体激光系统,特别是与CO 2激光器的操作中,在一个工作阶段分别是预定的脉冲序列(LPF1,LPF2,LPF3)(APH1,APH2,aph3)引导到处理衬底的特定点,并且此后,所述激光的偏转(在步骤相 SPH1,SPH2)调整到下一个操作点。 为了避免由于在加工点和相应的不等长跳相激光腔的不同的冷却,因此不同的孔质量之间不等的距离的由激光孔钻孔,高频泵浦能量(RF)在该跳转相(SPH1,SPH2)间歇地向 施加的激光谐振器,使得在谐振器以大致相同的水平的能量电平被保持为工作相(APH1,APH2,aph3)期间。