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    • 1. 发明申请
    • TUBULAR MULTIFUNCTION SENSOR IN FLUIDS METHOD FOR PRODUCTION AND USE THEREOF
    • 管式多功能传感器在流体中,用于生产,并使用
    • WO2009100988A3
    • 2010-04-29
    • PCT/EP2009050991
    • 2009-01-29
    • LEIBNIZ INST FUER FESTKOERPERBERMUDEZ ESTEBANMEI YONGFENGSCHMIDT OLIVER G
    • BERMUDEZ ESTEBANMEI YONGFENGSCHMIDT OLIVER G
    • B81C1/00
    • B81C99/008B81B2201/0292B81C2201/038
    • The invention relates to the field of micro- and nano-technology and a multifunction sensor, of application, for example, in medicine. The aim of the invention is the production of a novel type of ferromagnetic micro-/nano-objects, which can be used as sensors in fluid flow. Said aim is achieved by means of a method, comprising a. application of a sacrificial layer to a substrate, b. application of a thin layer made of at least one ferromagnetic material to the sacrificial layer, c. selective etching of the sacrificial layer such that the thin layer rolls up and forms a micro- and/or nano- tube and then the micro- and/or nano-tube is mechanically removed from the substrate and transferred into or onto a fluid medium in an individual and controlled manner. The aim is further achieved by means of the tubular multifunction sensor produced by the above method which is made of at least one micro- or nano-tube and at least one ferromagnetic material.
    • 本发明涉及微和纳米技术领域,并涉及可用于例如在医学多功能传感器。 本发明的目的是提供一种新的类型的被用作液体传感器铁磁微/纳对象。 该目的是通过由以下组成的一个方法来实现。 在衬底上沉积牺牲层,B。 施加一薄层由至少在牺牲层上的铁磁材料,C的。 选择性地蚀刻所述牺牲层,使得薄膜卷起并形成从基板机械去除和控制上或在液体介质中的微米和/或纳米管,然后将微米和/或纳米管和被单独传送。 该目的是通过由本发明的管状多功能传感器,其包括至少一个微或纳米管和至少一个铁磁材料制成的过程进一步解决。
    • 2. 发明申请
    • RÖHRENFÖRMIGER MULTIFUNKTIONSSENSOR IN FLÜSSIGKEITEN, VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG UND VERWENDUNG
    • 管式多功能传感器在流体中,用于生产,并使用
    • WO2009100988A2
    • 2009-08-20
    • PCT/EP2009/050991
    • 2009-01-29
    • LEIBNIZ-INSTITUT FÜR FESTKÖRPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V.BERMUDEZ, EstebanMEI, YongfengSCHMIDT, Oliver G.
    • BERMUDEZ, EstebanMEI, YongfengSCHMIDT, Oliver G.
    • B81C1/00
    • B81C99/008B81B2201/0292B81C2201/038
    • Die Erfindung bezieht sich auf den Bereich der Mikro- und Nanotechnologie und betrifft einen Multifunktionssensor, der beispielsweise in der Medizin eingesetzt werden kann. Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Angabe eines neuen Typs von ferromagnetischen Mikro-/Nano-Objekten, die als Sensoren in Flüssigkeiten einsetzbar sind. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, bestehend aus a. Aufbringen einer Opferschicht auf ein Substrat, b. Aufbringen einer Dünnschicht, die aus mindestens einem ferromagnetischen Werkstoff besteht, auf die Opferschicht, c. selektives Ätzen der Opferschicht, so dass sich die Dünnschicht aufrollt und eine Mikro- und/oder Nanoröhre bildet, und dann die Mikro- und/oder Nanoröhre mechanisch vom Substrat entfernt und auf oder in ein flüssiges Medium kontrolliert und einzeln transferiert wird. Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch einen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten röhrenförmigen Multifunktionssensor, der aus mindestens einer Mikro- oder Nanoröhre und aus mindestens einem ferromagnetischen Material besteht.
    • 本发明涉及微和纳米技术领域,并涉及可用于例如在医学多功能传感器。 本发明的目的是提供一种新的类型的被用作液体传感器铁磁微/纳对象。 该目的是通过由以下组成的一个方法来实现。 在衬底上沉积牺牲层,B。 施加一薄层由至少在牺牲层上的铁磁材料,C的。 选择性地蚀刻所述牺牲层,使得薄膜卷起并形成从基板机械去除和控制上或在液体介质中的微米和/或纳米管,然后将微米和/或纳米管和被单独传送。 该目的是通过由本发明的管状多功能传感器,其包括至少一个微或纳米管和至少一个铁磁材料制成的过程进一步解决。