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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MIKROSTRUKTUR
    • 用于生产微结构
    • WO2003052364A1
    • 2003-06-26
    • PCT/EP2002/014192
    • 2002-12-12
    • INFINEON TECHNOLOGIES AGEICKHOFF, MartinKOLB, StefanWITTMANN, Reinhard
    • EICKHOFF, MartinKOLB, StefanWITTMANN, Reinhard
    • G01J5/20
    • B81C1/00944G01J5/20G01P15/0802
    • Verfahren zum Herstellen einer MikrostrukturEin Verfahren zum Herstellen einer Mikrostruktur mit einem Substrat (1) und einer bezüglich des Substrats (1) beweglichen Struktur ist geschaffen. Auf einer Rohstruktur, die das Substrat (1), eine Opferschicht (2) auf dem Substrat (1) und eine Strukturschicht (3) umfaßt, wobei die Opferschicht (2) zwischen der Strukturschicht (3) und dem Substrat (1) angeordnet ist, wird ein Abstandhalter (7) zwischen die Strukturschicht (3) und das Substrat (1) eingebracht. Das Material des Abstandhalters (7) besteht aus einem anderen Material als die Opferschicht (2), wobei das Material des Abstandhalters (7) trockenätzbar ist. Nach dem Einbringen des Abstandhalters (7) wird die Opferschicht (2) entfernt, so daß der Abstandhalter (7) teilweise verbleibt. Daraufhin wird der Abstandhalter (7) mittels einer Trockenätzung entfernt.
    • 提供了一种制造一种制造具有衬底(1)和一个相对于所述衬底(1)可移动的结构的微细结构体的方法MikrostrukturEin的方法。 包括在生坯结构在于,衬底(1)中,牺牲基板(1)和结构层(3),其中,所述牺牲层的结构层(3)和所述基板(1)之间设置(2)层(2) 中,结构层(3)和所述基板(1)之间的间隔件(7)被引入。 间隔件(7)的材料是由不同的材料比牺牲层(2),其中,所述间隔件(7)的材料是trockenätzbar的。 引入间隔件(7)的后,将牺牲层(2)被去除,这样,间隔件(7)保持部分。 此后,间隔件(7)通过干式蚀刻除去。
    • 3. 发明申请
    • INVERTER SYSTEM AND CONTROL METHOD
    • 逆变器系统和控制方法
    • WO2009003959A2
    • 2009-01-08
    • PCT/EP2008058317
    • 2008-06-27
    • ENASYS GMBHKOLB STEFANMOELCK JOAQUINEICHERT CHRISTIAN
    • KOLB STEFANMOELCK JOAQUINEICHERT CHRISTIAN
    • H02M7/493H02M7/49H02M7/5395H02M2001/0064H02M2007/53876
    • The invention relates to an inverter arrangement comprising a direct-current terminal to which a direct current can be applied, a load terminal for connecting a load, a plurality of parallel-mounted inverters comprising inlets which are together coupled to the direct-current terminal and outlets which are together coupled to the load terminal by means of at least one inductance, and a control device for controlling the inverters according to a reference vector of a higher-order control or regulating unit. The control device is designed to control the inverters in such a way that the output voltage on the load terminal assumes a defined state, from a number of different states, according to the reference vector of a higher-order control or regulating unit. At least some states of the output voltage can be obtained by a number of different combinations of operating states of the inverters, and the control device selects, for each state of the output voltage, the combination of operating states of the inverters from the number of different combinations, a desired criteria being met as optimally as possible.
    • 本申请涉及具有到其上施加直流电压,一个负载端子用于连接负载,多个具有其输入会同直流电压端子并联连接的逆变器,其输出通过一个或多个电感器被共同耦合到所述负载终端的直流端子的逆变器装置,和 控制装置,用于响应所述逆变器的用于控制到上级的控制的一个命令向量或调节单元。 所述控制器被配置成控制所述逆变器,使得在负载端的输出电压从一个数量根据主控制或调节单元的目标矢量不同的状态,其中,至少通过多个逆变器的操作状态的不同组合来实现输出电压的某些状态占有一定的状态 并且所述控制装置是用于将输出电压中选择从不同的组合的数目,其中所期望的标准是满足最佳操作逆变器的状态的该组合的每个状态。