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1. 发明申请

WO2006133956A3 REMOVAL OF THIN STRUCTURED POLYMER LAYERS BY MEANS OF ATMOSPHERIC PLASMA 审中-公开
标题翻译：拆卸薄结构化的聚合物层大气等离子
公开(公告)号：WO2006133956A3
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/EP2006005801
申请日：2006-06-16
申请人： SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH , GABRIEL MARKUS , HANSEN SVEN , KAPITZA HANS-GEORG
发明人： GABRIEL MARKUS , HANSEN SVEN , KAPITZA HANS-GEORG
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： The invention relates to methods for forming a structure in a resist layer that is applied to a substrate by means of an imprint lithography process. According to said methods, the layer that remains in the valleys of the structure after stamping and curing the resist layer is removed under the effect of plasma at atmospheric pressure.
摘要翻译：本发明提供一种用于形成在施加到基底上的由压印光刻工艺用于联接抗蚀剂层，一个层的结构的方法的剩余冲压并且由等离子体在大气压下的作用除去在结构其余层的谷Aushörten抗蚀剂层之后。

2. 发明申请

WO2006133956A2 ENTFERNEN VON DÜNNEN STRUKTURIERTEN POLYMERSCHICHTEN DURCH ATMOSPHÄRISCHES PLASMA 审中-公开
标题翻译：拆卸薄结构化的聚合物层大气等离子
公开(公告)号：WO2006133956A2
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：PCT/EP2006/005801
申请日：2006-06-16
申请人： SÜSS MICROTEC AG , GABRIEL, Markus , HANSEN, Sven , KAPITZA, Hans-Georg
发明人： GABRIEL, Markus , HANSEN, Sven , KAPITZA, Hans-Georg
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： Die Erfindung stellt Verfahren zum Ausbilden einer Struktur in einer auf einem Substrat aufgebrachten Resistschicht durch ein Imprint-Lithographie verfahren zur Verfugung, wobei die nach dem Stempeln und Aushörten der Resistschicht in den Tälern der Struktur verbleibende Restschicht durch die Einwirkung von Plasma bei Atmosphärendruck entfernt wird.
摘要翻译：本发明提供一种用于形成在施加到基底上的由压印光刻工艺用于联接抗蚀剂层，一个层的结构的方法的剩余冲压并且由等离子体在大气压下的作用除去在结构其余层的谷Aushörten抗蚀剂层之后。

3. 发明申请

WO1998010320A1 COMPACT VIDEO MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：紧凑型视频显微镜
公开(公告)号：WO1998010320A1
公开(公告)日：1998-03-12
申请号：PCT/DE1997001932
申请日：1997-09-03
申请人： LEICA MIKROSKOPIE UND SYSTEME GMBH , KAPITZA, Hans-Georg
发明人： LEICA MIKROSKOPIE UND SYSTEME GMBH
IPC分类号： G02B21/36
CPC分类号： G02B21/24
摘要： The invention concerns a compact video microscope or video tube body (6) for all usual investigative methods. The video microscope can take the form of an enclosed microscope housing (1a) which, in addition to the optical and mechanical components, comprises one or a plurality of electronic image sensors (24), a computer (25) and a flat screen (8). It can further consist of an ocular-free microscope stand (1b) and a modular video tube body (6) which can be attached thereto or mounted thereon. The enlarged image of the object is not observed via a conventional microscope tube body with oculars, but is made accessible on a flat screen (8) as a digital image which can be observed directly by the eye. In a further embodiment, the light-optical microscopic image is displayed on a projection surface (9) directly behind the display plane of an at least partially transparent flat screen (8) and in particular enables the user to orient himself with respect to the object. For the purposes of control and electronic communication, the integrated video microscope can comprise a microphone (14), a loudspeaker (15) and a videocamera (16) directed towards the user. Images and associated data are stored in the integral digital mass storage devices (26) and can be digitally processed in the computer (25).
摘要翻译：本发明涉及一种紧凑的视频显微镜和检查的所有标准方法的视频管（6）。它可以是作为封闭壳体显微镜（1a）中进行时，除了一个或多个电子图像传感器（24）的光学和机械部件，计算机（25）和平板显示器（8）。此外，还可能的是它由okularfreien显微镜支架（1b）和附接或可附接模块化视频管（6）。所述对象的放大图像不被认为是一个典型的显微镜目镜，但在平面屏幕上（8），其通过眼直接观看访问的数字图像制成。在另一个实施方案中，还显示在投影（9）立即后面的至少部分透明的平面（8）的显示平面，特别是光光学显微镜图像使用户在所述对象的方向。用于控制和电子通信，集成视频显微镜可以包括麦克风（14），扬声器（15）和指向用户摄像机（16）。在内置的数字大容量存储设备（26）存储的图像和与它们相关联的数据，并且可以在计算机（25）进行数字处理。

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