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    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG UND VERMESSUNG VON FORMABWEICHUNGEN UND WELLIGKEITEN AN ROTATIONSSYMMETRISCHEN TEILEN
    • 确定和形态的变化和波动的测量方法和设备旋转对称部分
    • WO2007112872A1
    • 2007-10-11
    • PCT/EP2007/002622
    • 2007-03-24
    • INNOVENT E.V.HERTZSCH, AlbrechtKRÖGER. Knut
    • HERTZSCH, AlbrechtKRÖGER. Knut
    • G01B11/30G01B11/27
    • G01B11/2408
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung und Vermessung von Formabweichungen und Wenigkeiten an rotationssymmetrischen Teilen. Die Aufgabe, eine solche Lösung anzugeben, die mit einem geringen Messaufwand und hoher Stabilität gegenüber störenden Umwelteinflüssen schnell Formabweichungen und Welligkeiten quantitativ, unabhängig vom optischen Zustand der zu untersuchenden Oberflächen, erfasst und bewertet wird dadurch gelöst, dass alles reflektierte Messlicht mittels eines positionsempfindlichen Empfängers detektiert und für jeden detektierten Oberflächenbereich des Prüfteils positionsbezogen zumindest über eine vollständige Umdrehung des Prüfteils aufgezeichnet und gespeichert wird, anschließend eine Tiefpassfilterung der so gewonnenen Messwerte vorgenommen wird, um allein durch die Exzentrizität des Prüfteils bedingte Reflexionsstrahlauslenkungen zu bestimmen und danach eine Interpolation der zuvor gewonnenen Messwerte in der Weise vorgenommen wird, dass zu den äquidistanten Winkelschrittweiten (Θ) jeweils die exzentrischen Neigungswinkelverschiebungen (dΦ e ) addiert und mit einem äquidistanten Winkelraster interpoliert werden und anschließend die so gewonnene Messkurve einer Fourieranalyse unterworfen wird, die unmittelbar die dominante Welligkeit anzeigt und/oder eine Hochpassfilterung der nach c) gewonnenen Messkurve der normierten Reflexionssignale vorgenommen wird, die die um die Exzentrizität bereinigte Formabweichung des Prüfteils anzeigt.
    • 本发明涉及一种方法和用于旋转对称部件的形状的偏差的测定和测量以及Wenigkeiten的装置。 的目的是提供这样一种解决方案,快速形成的偏差和波动是定量地独立于测试表面,记录和低测量成本和高稳定性针对这样来实现干扰环境影响评估的光学状态的所有反射由位置敏感接收机来检测测量光 和用于基于所述检查位置的每个检测到的表面区域中的至少记录在测试的一个完整旋转,并通过由此获得的测量值的低通滤波存储的,其次是由仅由试验片的偏心率来确定相关Reflexionsstrahlauslenkungen,然后先前获得的测量值的内插 的方式制成,该等距角增量(T)的倾斜移位的各偏心角(DF ë)加入,并用 等距角度网格进行内插,然后由此获得的傅里叶分析进行跟踪,直接指示进行的主导波纹和/或高通滤波的归一化反射信号的根据c)得到的迹线的,这表明在试验片的形状的偏心偏差的调整。