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1. 发明申请

WO1980000346A1 APPARATUS FOR FORMING ORGANIC POLYMER THIN FILM UTILIZING PLASMA 审中-公开
标题翻译：用于形成有机聚合物薄膜利用等离子体的装置
公开(公告)号：WO1980000346A1
公开(公告)日：1980-03-06
申请号：PCT/JP1979000193
申请日：1979-07-25
申请人： TOKYO SHIBAURA DENKI KK , AKAI Y , HIROSE M
发明人： TOKYO SHIBAURA DENKI KK
IPC分类号： C08F02/52
CPC分类号： C08F2/52 , B01J19/126 , B01J2219/0894
摘要： An apparatus for forming an organic polymer thin film not to be decomposed or deteriorated, by effectively polymerizing a polymerizable organic compound monomer onto a base plate under the use of plasma. This apparatus comprises a reactor (10) retaining a base plate (12), a microwave discharge tube (20) for feeding into the reactor (10) a carrier gas activated by microwave discharge, activating microwave-generating means (30) equipped with cavity resonator (31) for microwave discharge, means for feeding said carrier gas into microwave discharge tube (20), and means for feeding said polymerizable organic compound monomer into reactor (10). A plasma-forming zone (24) does not reach and is completely separated from reactor (10). The base plate having formed thereon the organic polymer thin film obtained by means of this apparatus is utilized as photo sensors, temperature sensors, optical filters, etc.
摘要翻译：通过使用等离子体将聚合性有机化合物单体有效聚合到基板上，形成不会分解或劣化的有机聚合物薄膜的装置。该装置包括：保持基板（12）的反应器（10）;用于将通过微波放电激活的载气馈入反应器（10）的微波放电管（20），启动装有空腔的微波产生装置（30）用于微波放电的谐振器（31），用于将所述载气进料到微波放电管（20）中的装置，以及用于将所述可聚合有机化合物单体进料到反应器（10）中的装置。等离子体形成区（24）没有到达并且完全与反应器（10）分离。其上形成有通过该装置获得的有机聚合物薄膜的基板用作光传感器，温度传感器，滤光器等

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