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    • 1. 发明申请
    • PIEZOAKTOR MIT EINEM MEHRLAGENAUFBAU UND EIN VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    • 与制造多层结构和工艺压电致动器
    • WO2010108710A1
    • 2010-09-30
    • PCT/EP2010/050926
    • 2010-01-27
    • ROBERT BOSCH GMBHGEBHARD, MichaelSCHLEGL, Nicole
    • GEBHARD, MichaelSCHLEGL, Nicole
    • H01L41/083H01L41/24
    • H01L41/083H01L41/187H01L41/257
    • Es wird ein Piezoaktor und eine Herstellungsverfahren für den Piezoaktor mit einem Mehrlagenaufbau aus Piezoelementen (2) vorgeschlagen, die jeweils aus sinterbaren Piezolagen (3) bestehen, die zwischen Innenelektroden (4, 5) eingefasst sind und die in Richtung des Lagenaufbaus und der Wirkrichtung des Piezoaktors (1) über Außenelektroden (6,7) abwechselnd mit einer unterschiedlichen Polarität einer elektrischen Spannung beaufschlagt sind. Der Piezoaktor (1) mit den Piezolagen weist mit durch äußeren Druck während einer Polarisierung vorausgerichtete Domänen auf, wobei die Polarisierung durch Beaufschlagung der Piezolagen (3) mit einem elektrischen Feld bei hohen Temperaturen oberhalb der Curie-Temperatur durchgeführt wird und durch Abkühlen unter weiterer Beaufschlagung durch das elektrische Feld und des Druckes wird die Ausrichtung der Domänen eingefroren.
    • 公开了一种压电致动器和用于与压电元件的多层结构(2)的压电致动器的制造方法中,分别由烧结的压电体层的(3),其是在内部电极之间(4,5)收,并在该层结构的方向和的作用方向 通过外部电极(6,7)的压电致动器(1)交替地与不同极性的电电压的加压。 具有压电体层的压电致动器(1)具有与由外部压力时的极化域预对准,偏振通过(3)在高温下高于居里温度的电场进行的压电体层的应用,并通过与进一步冲击冷却 通过电场和压力,畴的取向将被冻结。