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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SOLARZELLE
    • 用于生产太阳能电池
    • WO2013007622A1
    • 2013-01-17
    • PCT/EP2012/063221
    • 2012-07-06
    • SCHOTT Solar AGLIPPERT, LotharFIEDLER, Markus
    • LIPPERT, LotharFIEDLER, Markus
    • H01L31/0224H01L31/068H01L31/18
    • H01L31/022425H01L31/02167H01L31/02168Y02E10/50
    • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Solarzelle umfassend zumindest die Verfahrensschritte: Bereitstellen eines Halbleitersubstrats mit pn-Übergang, Abscheiden mittels PECVD von zumindest einer frontseitig verlaufenden dielektrischen Schicht mit in dieser durch Laserabtrag erzeugten Öffnungen und lichtinduziertes Abscheiden von elektrisch leitendem Material in den Öffnungen zur Bildung eines Frontseitenkontakts. Um ohne negative Beeinflussung des Wirkungsgrads der Solarzelle mittels lichtinduzierten galvanischen Abscheidens den Front- oder Vorderseitenkontakt oder Abschnitt von diesen auszubilden, wird vorgeschlagen, dass auf der Vorderseite der Solarzelle im PECVD-Verfahren zwei dielektrische Schichten bei einer Temperatur T mit 200 °C ≤ T ≤ 500 °C abgeschieden werden.
    • 本发明涉及一种用于制造包括至少以下步骤的太阳能电池:用提供具有在此通过激光烧蚀的开口和在所述导电材料的光诱导沉积生成至少一个前侧电介质层的pn结,沉积通过PECVD来的半导体衬底 开口以形成前接触。 以形成没有通过的光诱导电沉积前或前侧接触,或它们的一部分,建议装置产生不利的太阳能电池的效率的影响,关于在PECVD过程中的太阳能电池的前侧,在与温度T两个介电层200°C = T = 500℃下沉积。