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1. 发明申请

WO2009121540A1 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES LEITER-NICHTLEITER-ÜBERGANGS 审中-公开
标题翻译：用于生产执行董事NOT过渡
公开(公告)号：WO2009121540A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/EP2009/002299
申请日：2009-03-30
申请人： RHEINISCH-WESTFÄLISCH-TECHNISCHE HOCHSCHULE AACHEN , JUSTUS-LIEBIG-UNIVERSITÄT GIESSEN , TECHNISCHE UNIVERSITÄT CAROLO-WILHELMINA ZU BRAUNSCHWEIG , MARTIN, Manfred , DE SOUZA, Roger , SAMUELIS, Dominik , VALOV, Ilia , JANEK, Jürgen , BÖRGER, Alexander , BECKER, Klaus-Dieter , SCHMIDT, Peter , NAGARAJAN, Lakshmi
发明人： MARTIN, Manfred , DE SOUZA, Roger , SAMUELIS, Dominik , VALOV, Ilia , JANEK, Jürgen , BÖRGER, Alexander , BECKER, Klaus-Dieter , SCHMIDT, Peter , NAGARAJAN, Lakshmi
IPC分类号： G11B7/0045 , G11B7/242
CPC分类号： G11B7/00454 , G11B7/243 , G11B2007/2431 , G11B2007/2432
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines Leiter-Nichtleiter-Übergangs auf einem Substrat (1), bei dem das Substrat (1) eine nichtleitende Metalloxidschicht (2) umfasst, bei dem die nichtleitende Metalloxidschicht (2) aus metastabilem amorphem nichtstöchiometrischen Metall-Oxid (2) gebildet ist und lokal erwärmt wird, wobei der lokal erwärmte Bereich zu einem stabilen nichtleitenden stöchiometrischen Metalloxid (4) kristallisiert, um den herum die Metallkonzentration im amorphen nichtstöchiometrischen Metall-Oxid zunimmt, insbesondere einen leitenden Bereich (5) bildet. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Speichermedium zum Speichern digitaler Informationen umfassend ein insbesondere rundes rotierbares Substrat (1) und eine daran angeordnete Schicht (2) zur Aufnahme digitaler Informationen, bei dem die Schicht (2) ausgebildet ist durch ein nichtleitendes amorphes nichtstöchiometrisches Metalloxid, welches durch lokale Erwärmung, insbesondere mit einem fokussierten Laserstrahl (3a, 3b) oder einem Elektronenstrahl oder einem Strompuls, am Ort der lokalen Erwärmung in einen Bereich (4) aus kristallisiertem nichtleitendem stöchiometrischem Metalloxid überführbar ist, der durch eine erhöhte Metallkonzentration, insbesondere amorphes leitendes nichtstöchiometrisches Metalloxid (5) umgeben ist. Die Erfindung betrifft ebenso ein Verfahren zur Erzeugung einer amorphen nichtleitenden nichtstöchiometrischen Metalloxid-Schicht auf einem Substrat (1), bei dem die nichtstöchiometrische Metalloxid-Schicht (2) von einem Target desgleichen in stöchiometrischer Form vorliegenden Metalloxids abgetragen und auf das Substrat abgeschieden wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在衬底（1），在制造导体 - 绝缘体结，其中所述衬底（1）的非导电性金属氧化物层（2），其中，所述非导电性的金属氧化物层（2）亚稳非晶态的非化学计量的金属氧化物的（2）被形成并且被局部加热，其中，所述局部加热区域，以一个稳定的非导电性化学计量的金属（4）结晶围绕在无定形非化学计量的金属氧化物的增加中的金属浓度，特别地，形成导电部分（5）。本发明还涉及一种存储介质，用于存储包括一个特定的圆旋转的衬底（1）的数字信息，并设置在其上层（2），用于接收数字信息，其中，所述层（2）由非导电性的无定形非化学计量的金属氧化物形成局部加热，特别是在一个区域中的聚焦的激光束（3a，图3b），或电子束或电流脉冲，在局部加热的部位（4）的结晶的非导电性化学计量的金属氧化物是转让的，导电的金属的浓度增加，特别是无定形的非化学计量的金属氧化物（5）包围。本发明还涉及一种方法，用于在衬底（1），其中，从目标的非化学计量的金属氧化物层（2）同样地被烧蚀以化学计量形式的金属氧化物，和沉积在衬底上上生产无定形的非导电的非化学计量的金属氧化物层。

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