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1. 发明申请

WO2010047556A2 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척 审中-公开
标题翻译：单晶硅生长装置的种子切割
公开(公告)号：WO2010047556A2
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/KR2009/006151
申请日：2009-10-23
申请人： 주식회사 실트론 , 문지훈 , 김봉우 , 최일수 , 이건호 , 정승 , 김도연
发明人： 문지훈 , 김봉우 , 최일수 , 이건호 , 정승 , 김도연
IPC分类号： C30B15/32
CPC分类号： C30B15/32
摘要： 본 발명은 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척을 개시한다. 본 발명에 따른 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척은, 쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치에 구비되어, 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 시드를 결합 고정시키는 시드척에 있어서, 상부에 상승 또는 하강하는 로프가 체결되는 로프 체결부가 형성되고, 하부에 상기 시드가 수용되어 고정되는 시드 결합부가 형성된 시드척 몸체;를 포함하고, 상기 시드척 몸체에는 내부에 진공 상태를 유지한 채 일정량의 냉매를 충진시킨 후 양 끝단을 밀봉시켜 형성된 냉각 파이프가 삽입될 수 있도록 상기 시드척 몸체에 삽입홀이 형성되고, 상기 삽입홀에 상기 냉각 파이프가 결합되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 냉각수단이 마련된 시드척을 이용하여 몸체부 성장 공정 시 시드 넥부위의 온도를 저하시켜 인장강도 값을 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 대구경 실리콘 단결정 잉곳을 안전하게 성장시킬 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及单晶硅锭生长装置的种子卡盘。将本发明的种子卡盘布置在基于切克劳斯基法的单晶硅锭生长装置中，以保持用于生长单晶硅锭的种子。所述种子卡盘包括具有上部的种子卡盘体，所述上部具有与上升或下降的绳索结合的绳索接合部分，以及具有用于容纳和保持种子的种子保持部分的下部。种子卡盘体具有用于插入冷却管的孔，该冷却管具有填充有预定量的制冷剂的真空内部，并且其两端被密封。冷却管装入插入孔。本发明采用具有冷却装置的种子卡盘，以在体长生长过程中降低种子颈部区域的温度并提高拉伸强度。因此，可以安全地生长大直径单晶硅锭。

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