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    • 6. 发明申请
    • 엘이디 제조 장치
    • LED生产设备
    • WO2013009000A2
    • 2013-01-17
    • PCT/KR2012/003874
    • 2012-05-17
    • 송기훈
    • 송기훈
    • H01L21/205
    • C23C16/4584C23C16/4586C23C16/46H01L21/67109H01L21/67303
    • 본 발명은 엘이디(LED)를 제조하는데 사용되는 금속 유기물 증착법인 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 장비에 관한 것으로, 챔버(Chamber)와, 상기 챔버의 내측 중앙에 배치되면서 웨이퍼가 안착 되는 보트, 상기 보트를 시계 방향이나 반 시계 방향으로 회전시키기 위한 구동 수단, 상기 챔버 내부로 반응 가스나 소스를 공급하는 반응 부재 공급 수단, 및 상기 챔버 내부에 흐르는 가스를 챔버 바깥으로 배출시키는 가스 배출수단을 구비한다. 또한, 상기 보트는 일정한 높이 간격을 사이에 두고 적치되면서 상단면에 웨이퍼를 안착시키기 위한 웨이퍼 홀더가 갖추어진 2개 이상의 플레이트와, 상기 보트의 높이 방향으로 곧게 세워져 다수 개의 플레이트들을 고정시키고 고주파 전류를 공급하는 2개 이상의 지주, 상기 최하부에 위치한 플레이트 밑에 소정 높이 간격을 사이에 두고 깔리면서 지주에 고정되는 베이스판으로 이루어질 수 있고, 상기 구동 수단은 모터축의 상단이 챔버의 하단면을 관통한 다음, 베이스판의 밑면 중앙에 고정되는 구동 모터로 이루어짐이 바람직하다. 또한, 상기 플레이트는 세라믹 재질로 이루어진 외부 플레이트와, 상기 외부 플레이트의 상단면에 겹쳐지면서 실리콘 카바이드(SiC)나 텅스텐 재질로 이루어지고 상단면에 오목하게 들어간 웨이퍼 홀더가 구비된 윗면 플레이트로 이루어질 수 있고, 상기 외부 플레이트의 내부에는 똬리 형태로 감겨 진 원형 고주파 가열 히터가 삽입된다. 또, 제1 전극과 제 2 전극을 마주보는 베이스판의 밑면에는 제 1 전극 및 제 2 전극과 맞닿는 제 1 브러쉬와 제 2 브러쉬가 돌출된다. 또, 상기 제 1 지주와 제 2 지주는 제 1·2 브러쉬로부터 전달된 고주파 전류를 제 1 지주와 제2 지주를 거쳐 똬리 형태로 감겨 진 원형 고주파 가열 히터로 전달한다. 또, 상기 베이스판과 챔버 밑면 사이에 는 챔버 밑면에 고정되고 중앙이 모터축에 의해 관통된 상태에서 제 1·2 브러쉬와 맞닿아 상기 제 1·2 브러쉬를 통해 원형 고주파 가열 히터로 고주파 전류를 공급하는 전극 세퍼레이터(Seperator)가 장착된다. 이때, 상기 전극 세퍼레이터(Seperator)의 상단면에는 원 형태로 이루어지고 고주파 전류가 공급되며 제 1 브러쉬와 맞닿는 제 1 전극과, 상기 제 1 전극의 회전 반경보다 크거나 작은 원 형태로 이루어져 상기 제 1 전극과 접촉되지 않고 고주파 전류가 공급되며 제 2 브러쉬와 맞닿는 제 2 전극이 설치된다.
    • 本发明涉及一种用于制造LED的金属 - 有机气相沉积方法的MOCVD(金属有机化学气相沉积)装置,其中该装置设有:一个室; 设置在所述室的内部的中间并在其上搁置晶片的船; 用于使船只沿顺时针方向或逆时针方向旋转的驱动装置; 反应构件供给装置,其中反应气体或源被供应到室中; 以及用于将在室内流动的气体排出到室的外部的气体排出装置。 此外,船可以包括:至少两个在其间以预定高度间隔堆叠的板,并且配备有用于允许晶片搁置在其上表面上的晶片保持器; 至少两个在船的高度方向上直立站立的道具,并且适于固定多个板并提供高频电流; 以及底板,其固定在道具上,同时桥接在最下面定位的板下方,其间具有预定的高度间隔; 并且优选地,驱动装置包括驱动电动机,其中电动机轴的上端穿过室的下表面,然后固定到底板的底表面的中心。 此外,板可以包括:包含陶瓷材料的外板; 和位于所述外板上表面上方的顶面板,包括碳化硅(SiC)或钨材料,并且设置有上表面以凹形方式凹陷的晶片保持器; 并且插入到外板中时,存在卷绕成线圈状的圆形高频加热加热器。 此外,第一电刷和第二电刷接触第一电极和第二电极从基板的底表面突出,其面向第一电极和第二电极。 此外,第一支架和第二支架将已经从第一和第二电刷经由第一支架和第二支架传送的高频电流传递到卷绕成线圈形状的圆形高频加热器 。 而且,安装在基板和腔室底面之间的电极分离器固定在腔室的底面,并通过马达轴在其中心穿透,在该状态下,它接触第一和第二刷子并且供应 高频电流通过第一和第二刷到圆形高频加热器。 这里,安装在电极分离器的上表面上有:构成圆形的第一电极,供给高频电流并接触第一电刷; 以及第二电极,其构成为大于或小于所述第一电极的旋转半径的圆形,并且与所述第一电极不接触地提供高频电流并且接触所述第二电刷。