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    • 2. 发明申请
    • 캐리어 기체에 의한 화합물 기화용 버블러
    • 用于使用载体气体的化合物蒸发的气泡
    • WO2013002567A2
    • 2013-01-03
    • PCT/KR2012/005110
    • 2012-06-28
    • (주)그랜드텍박영균이병현정태희전병주
    • 박영균이병현정태희전병주
    • C23C16/4482C23C16/4483
    • 본 발명은 반도체 웨이퍼 표면의 박막 형성을 위하여 캐리어 기체의 버블을 이용하여 화합물을 기화시키는 반도체 제조 고정용 버블러에 관한 것이다. 본 발명은 실시예로, 반응물질이 수용된 용기를 포함하는 버블러에 장착되는 것으로, 상기 용기 내부의 하부에 구비되는 플레이트, 상기 플레이트에 장착되며 외부에서 공급된 캐리어 가스를 방사상으로 분사시키는 제1산기부재, 상기 제1산기부재의 상부에 설치되며, 상승하는 캐리어 가스가 분산되어 통과하는 복수의 통과홀이 상하 관통되어 있는 제2산기부재 그리고 상기 제2산기부재의 상부에 설치되며, 상승하는 캐리어 가스가 통과하는 다공성물질로 이루어진 제3산기부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 기체에 의한 화합물 기화용 버블러를 제시한다.
    • 本发明涉及用于半导体制造的固定起泡器,其使用载气的气泡蒸发化合物,以在半导体晶片的表面上形成薄膜。 本发明的一个实施方案公开了一种用于使用具有容纳反应材料的容器的载气进行化合物蒸发的起泡器,并且包括:设置在容器底部的板; 第一空气扩散构件,其设置在所述板上,并且从外部径向喷射载体气体; 第二空气扩散构件,其设置在第一空气扩散构件的上方,并且具有垂直贯通的多个通孔,以允许上升的载气被分散和通过; 以及第三空气扩散构件,其设置在第二空气扩散构件的上方,并且由多孔材料制成,以允许载气升高。