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1. 发明申请

WO2010011088A2 솔라셀 패널 제조장치 및 제조방법 审中-公开
标题翻译：装置和方法制造太阳能电池板
公开(公告)号：WO2010011088A2
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：PCT/KR2009/004090
申请日：2009-07-23
申请人： (주)미래컴퍼니 , 백광수 , 강현구 , 이병국 , 김병겸
发明人： 백광수 , 강현구 , 이병국 , 김병겸
IPC分类号： H01L31/042
CPC分类号： H01L31/206 , B23K26/14 , B23K26/142 , H01L31/046 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 솔라셀 패널 제조장치 및 제조방법이 개시된다. 복수의 에어 분사구가 형성되어 로딩되는 기판을 부상시키는 지지 테이블과, 지지 테이블의 상부에 위치하며, 기판에 레이저를 조사하는 레이저 가공부와, 지지 테이블의 하부에 위치하며, 레이저에 의해 기판으로부터 발생하는 파티클을 수집하는 석션부를 포함하는 솔라셀 패널 제조장치는, 솔라셀 패널을 지지 테이블 상에 부상시켜 로딩 및 이송함으로써 기판이 테이블에 물리적으로 접촉하지 않아 증착층의 스크래치(scratch)나 데미지(damage) 등의 손상을 미연에 방지할 수 있고, 증착층이 아래를 향하도록 기판을 로딩하고 그 상부에서 레이저를 조사하고 그 하부에서 파티클을 석션함으로써 레이저 식각에 의해 발생하는 파티클을 효과적으로 제거하여 패턴 간의 쇼트가 발생하지 않고 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
摘要翻译：公开了一种用于制造太阳能电池板的装置和方法。太阳能电池板制造装置包括：支撑台，其中形成有多个空气喷射口以提升装载的基板;激光处理单元，其被放置在支撑台的上部并将激光照射在基板上; 单元，其放置在支撑台的下部，并且通过激光收集从基板产生的颗粒。太阳能电池板制造装置将太阳能电池板提升到支撑台，以便加载和转移它，从而通过防止基板和工作台之间的物理接触，可以预先防止对沉积层的划伤或损坏。由于太阳能电池板制造装置将沉积层面向下的基板负载，并且在其顶部照射激光并吸附其底部的颗粒，因此不会发生图案之间的短路，并且由于有效去除由激光蚀刻引起的颗粒。

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