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    • 2. 发明申请
    • エピタキシャル成長用テンプレートの作製方法及び窒化物半導体装置
    • 生产用于外源生长和氮化物半导体器件的模板的方法
    • WO2011155010A1
    • 2011-12-15
    • PCT/JP2010/059589
    • 2010-06-07
    • 創光科学株式会社金 明姫
    • 金 明姫
    • H01L21/205C30B25/18H01L33/32H01S5/323
    • H01L21/0243C30B25/183C30B29/403H01L21/0242H01L21/02458H01L21/02502H01L21/0254H01L21/0262H01L21/02639H01L21/0265H01L33/007H01S2304/12
    •  凸部頂部が平坦で所定の平面視パターンとなるように凹凸加工されたサファイア(0001)基板面に、凸部頂部のエッジ部を除く平坦面上にC+軸配向したAlN層が成長するようにC軸配向制御を行って、凹部に新たな凹部が形成されるように初期AlN層をエピタキシャル成長させ、初期AlN層上に、横方向成長法を用いてAlN(0001)層からなる第1ELO層をエピタキシャル成長させ、新たな凹部の上方に位置する凹部上方領域が、初期AlN層の凸部上面から横方向成長した第1ELO層によって完全に覆われる前に、第1ELO層の成長を停止し、第1ELO層上に、横方向成長法を用いてAl x Ga 1-x N(0001)層(1>x>0)からなる第2ELO層をエピタキシャル成長させ、第1ELO層の上面から横方向成長した前記第2ELO層によって凹部上方領域を完全に覆う。
    • 公开了一种生产用于外延生长的模板的方法,包括以下步骤:在不规则加工的蓝宝石(0001)衬底表面上执行突起的顶部水平并且由所述工作产生规定的平面视图图案 C轴取向控制,使得C +取向的AlN层在突起的顶部的表面上生长,除了所述顶部的边缘部分外,并外延生长初始AlN层,使得新的凹陷部分 形成在凹陷部分; 采用外延横向过度生长,使得还包含AlN(0001)层的第一ELO层在初始AlN层上外延生长; 停止在位于新的凹陷部分的上部的凹陷部分的上部区域之前通过外延横向过度生长从初始AlN层的突起的顶部生长的第一ELO层的生长 ,被第一ELO层完全覆盖; 采用外延横向过度生长,使得还包括Al x Ga 1-x N(0001)层(使得1> x> 0)的第二ELO层在第一ELO层上外延生长; 并且通过从第一ELO层的上表面通过外延横向生长生长的第二ELO层完全覆盖凹陷部分的上部区域。