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1. 发明申请

WO2009081586A1 インプリント装置およびインプリント方法审中-公开
标题翻译：印刷装置和印刷方法
公开(公告)号：WO2009081586A1
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：PCT/JP2008/003953
申请日：2008-12-25
申请人：丸善石油化学株式会社 , SCIVAX株式会社 , 高谷佳輝 , 羽島裕二 , 林田能久 , 河口宏輔 , 田中覚 , 金井彰彦 , 上原一晃
发明人：高谷佳輝 , 羽島裕二 , 林田能久 , 河口宏輔 , 田中覚 , 金井彰彦 , 上原一晃
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , B81C5/00 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/022 , B29C33/42 , B29C2035/0822 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要：　型と被成型物の間に圧力を均一に加えることができると共に、高速に昇降温することができるインプリント装置及びインプリント方法を提供する。型（１００）のパターンをフィルム状の被成型物（２００）に転写するためのインプリント装置（１）であって、型（１００）を保持するためのステージ（１１）と、被成型物（２００）と共に加圧室（１２）を構成する加圧室用筐体（１３）と、加圧室用筐体（１３）と被成型物（２００）との間を密閉する密閉手段（１４）と、加圧室用筐体（１３）と被成型物（２００）との間を開閉する開閉手段（１５）と、加圧室（１２）内の気圧を調節する加圧手段（１６）と、型（１００）と被成型物（２００）のいずれか一方又は両方を加熱するための加熱手段（１７）と、型（１００）と被成型物（２００）の間の気体を除去する脱気手段（１８）と、を具備するインプリント装置（１）。
摘要翻译：能够均匀地施加压模和被压印物之间的压力的压印装置和方法，能够高速地提高和降低物体的温度。用于将模具（100）的图案转印到待印刷的薄膜状物体（200）上的压印装置（1）具有用于保持模具（100）的阶段（11），加压室形成壳体（13））与用于打印的物体（200）一起形成加压室（12），用于在加压室形成壳体（13）和要打印的物体（200）之间关闭的关闭装置（14），开口和用于打开和关闭加压室形成壳体（13）和被压印物体（200）之间的关闭装置（15），用于调节加压室（12）中的气体压力的加压装置（16），加热装置（100）和物体（200）中的一个或两个被加压的气体去除装置（17），以及用于去除模具（100）和物体（200）之间的气体的气体去除装置（18）印迹。

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